专利名称：激光器的调节装置的制作方法
技术领域：
激光器的调节装置
技术领域：
本实用新型涉及一种激光器的调节装置，尤其涉及一种适于变真空条件下稳定工作的激光器的调节装置。
背景技术：
激光器在对钢板切割、焊接、熔覆等技术领域有着广泛的用途，尤其是在钣金切割 领域。激光器中谐振腔的作用是选择某一频率和方向的光进行放大同时抑制其他频率和方 向的光。谐振腔分为直腔和折叠腔两种类型，其主要构件为光桥、折反镜架、前尾镜调节装 置。由于激光器功率模式的稳定依赖于各部件的稳定，因此所述前尾镜调节装置的可调性 及稳定性会影响激光器的调节难易度和精确度，同时对激光器的模式、功率、机床加工系统 的光路、切割的稳定性有决定性的作用。目前的轴快流气体激光器前尾镜调节装置如图1和图2所示，谐振腔端板110、调 节座120、镜座130依次连接，调节座120上设有穿过谐振腔端板110的固定螺钉140，该固 定螺钉140与所述调节座120之间设置螺旋弹簧150。调节座120与谐振腔端板110之间 设有密封圈160，调节座120与谐振腔端板110之间通过千分尺170进行调节。由于螺旋弹簧150的回复力较小，在密封圈160弹力的反作用下，螺旋弹簧150的 回复力常起不到消除螺纹反向间隙的作用。在对谐振腔进行抽真空时由于真空力与弹簧消 除间隙的力的方向不一致，易造成激光器功率及模式的不稳定。此外，由于千分尺170导程为0. 5mm，在应用于光腔长3米左右、低功率的激光器 中，其精度尚可达到要求；但当应用于折叠腔，尤其是光腔长度可达7m、8m的三折腔、四折 腔中，0. 5mm的调节精度显然不足了。
实用新型内容基于此，有必要针对传统技术中螺旋弹簧的回复力常起不到消除螺纹反向间隙的 缺陷，提供一种能够消除螺纹反向间隙的激光器前尾镜的调节装置。—种激光器的调节装置，该调节装置固定在激光器的谐振腔端板上，其包括与谐 振腔端板固定连接的调节座，其中，还包括连接该调节座与所述谐振腔端板的螺栓，以及设 置在该螺栓与所述调节座之间的碟形弹簧，且该碟形弹簧设置在所述调节座远离所述谐振 腔端板的一侧。在优选的实施方式中，所述调节座与所述谐振腔端板之间设置密封圈。在优选的实施方式中，所述密封圈的硬度小于50邵氏硬度、压缩量介于15%与 20%之间。在优选的实施方式中，该调节座与所述谐振腔端板通过一导程差螺纹组件连接。在优选的实施方式中，所述导程差螺纹组件包括穿过所述谐振腔端板与调节座 的螺杆及由内至外依次套设在所述螺杆上的差牙套、加长牙套和调节螺母。在优选的实施方式中，所述导程差螺纹组件还包括锁紧螺母，所述锁紧螺母包括第一锁紧螺母和第二锁紧螺母，所述第一锁紧螺母位于谐振腔端板与调节座相反的一侧， 第二锁紧螺母位于谐振腔端板与调节座相邻的一侧并收容在谐振腔端板的螺母收容腔内。在优选的实施方式中，所述差牙套和加长牙套位于所述螺杆与调节座之间，所述调节螺母和调节座与谐振腔端板相反的一侧抵接。在优选的实施方式中，所述谐振腔端板上固定设置定位块，所述调节座上靠近所 述谐振腔端板的一侧开设与所述定位块形状相适合的定位孔。在优选的实施方式中，所述定位块是球面定位块。在优选的实施方式中，所述螺栓依次穿过所述碟形弹簧、调节座、定位块及谐振腔 端板。上述激光器的调节装置在连接调节座与谐振腔端板的螺栓上设置了碟形弹簧，碟 形弹簧具有刚度大、缓冲吸振能力强、以小变形承受大载荷以及大范围的非线性特性；而 且，由于碟形弹簧设置在调节座远离谐振腔端板的一侧，碟形弹簧的回复力与谐振腔抽真 空时所受的负压方向一致，使得碟形弹簧能在消除螺纹间隙的同时，起到很好的固定作用。
图1是传统的激光器前尾镜调节装置的结构示意图；图2是图1的右视图；图3是本实用新型一较佳实施方式的激光器的调节装置的结构示意图；图4是图3的右视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述。本实施例中的激光器的调节装置，如图3和图4所示，包括谐振腔端板210、调节 座220、导程差螺纹组件240、定位块250、螺栓260、碟形弹簧270及密封圈280。谐振腔端 板210与调节座220通过螺栓260固定连接，碟形弹簧270设置在螺栓260与调节座220 之间，并设置在调节座220远离谐振腔端板210的一侧。碟形弹簧270具有刚度大、缓冲吸 振能力强、以小变形承受大载荷以及大范围的非线性特性，而且，由于碟形弹簧270设置在 调节座220远离谐振腔端板210的一侧，碟形弹簧270的回复力与谐振腔抽真空时所受的 负压方向一致，使得碟形弹簧270能在消除螺纹间隙的同时，起到很好的固定作用。谐振腔端板210上固定设置定位块250，调节座220上靠近谐振腔端板210的一侧 开设与定位块250形状相适合的定位孔211。定位块250和定位孔211配合起到定点的作 用。作为优选，定位块250是球面定位块。螺栓260依次穿过碟形弹簧270、调节座220、定 位块250及谐振腔端板210。调节座220与谐振腔端板210之间设置密封圈280，该密封圈280的硬度小于50 邵氏硬度、压缩量介于15%和20%之间。该设计能够防止密封圈280的弹力小于碟形弹簧 270的回复力，从而完全消除螺纹间隙的问题。该调节座220与谐振腔端板210通过导程差螺纹组件240连接。导程差螺纹组件 240包括穿过谐振腔端板210与调节座220的螺杆241、差牙套242、加长牙套243、调节螺 母244和锁紧螺母。锁紧螺母包括第一锁紧螺母245和第二锁紧螺母246，其中第一锁紧螺母245位于谐振腔端板210与调节座220相反的一侧，第二锁紧螺母246位于谐振腔端板210与调节座220相邻的一侧并收容在谐振腔端板210的螺母收容腔212内。第一锁紧螺 母245和第二锁紧螺母246分别位于谐振腔端板210的两侧，将螺杆241固定在谐振腔端 板210上。第一锁紧螺母和第二锁紧螺母都可以为一个或多个螺母。差牙套242、加长牙套243和调节螺母244由内至外依次套设在螺杆241上，差牙 套242和加长牙套243位于螺杆241与调节座220之间，调节螺母244和调节座220与谐 振腔端板210相反的一侧抵接。导程差螺纹组件240的内外导程之差是是可选的，例如导 程之差为0. 25mm时，其调节精度即为0. 25mm，调节每圈即为0. 25mm，调节精度有了明显的 提高，而且其调节精度还可以选择不同的导程差螺纹组件。调节时，球面定位块250起到定点的作用。粗调时，松开锁紧螺母245，调节螺杆 241使调节座220与谐振腔端板210的间距等高，锁紧锁紧螺母245。精调时，调节差牙套 242，在内外牙距1. 25mm和1. 5mm差的条件下，调节每圈0. 25mm，精度是千分尺0. 5mm每圈 的两倍，而且因为是粗牙在进行多次调节也不会损坏；加长牙套243起到加大调节范围的 作用。另可根据力的大小调节碟形弹簧270的压缩量。以上仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因 此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来 说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新 型的保护范围。
权利要求一种激光器的调节装置，该调节装置固定在激光器的谐振腔端板上，其包括与谐振腔端板固定连接的调节座，其特征在于，还包括连接该调节座与所述谐振腔端板的螺栓，以及设置在该螺栓与所述调节座之间的碟形弹簧，且该碟形弹簧设置在所述调节座远离所述谐振腔端板的一侧。
2.根据权利要求1所述的激光器的调节装置，其特征在于，所述调节座与所述谐振腔 端板之间设置密封圈。
3.根据权利要求2所述的激光器的调节装置，其特征在于，所述密封圈的硬度小于50 邵氏硬度、压缩量介于15%与20%之间。
4.根据权利要求1所述的激光器的调节装置，其特征在于，该调节座与所述谐振腔端 板通过的导程差螺纹组件连接。
5.根据权利要求4所述的激光器的调节装置，其特征在于，所述导程差螺纹组件包括 穿过所述谐振腔端板与调节座的螺杆及由内至外依次套设在所述螺杆上的差牙套、加长牙 套和调节螺母。
6.根据权利要求5所述的激光器的调节装置，其特征在于，所述导程差螺纹组件还包 括锁紧螺母，所述锁紧螺母包括第一锁紧螺母和第二锁紧螺母，所述第一锁紧螺母位于谐 振腔端板与调节座相反的一侧，第二锁紧螺母位于谐振腔端板与调节座相邻的一侧并收容 在谐振腔端板的螺母收容腔内。
7.根据权利要求5所述的激光器的调节装置，其特征在于，所述差牙套和加长牙套位 于所述螺杆与调节座之间，所述调节螺母和调节座与谐振腔端板相反的一侧抵接。
8.根据权利要求1所述的激光器的调节装置，其特征在于，所述谐振腔端板上固定设 置定位块，所述调节座上靠近所述谐振腔端板的一侧开设与所述定位块形状相适合的定位 孔。
9.根据权利要求8所述的激光器的调节装置，其特征在于，所述定位块是球面定位块。
10.根据权利要求8所述的激光器的调节装置，其特征在于，所述螺栓依次穿过所述碟 形弹簧、调节座、定位块及谐振腔端板。
专利摘要本实用新型公开了一种激光器的调节装置，包括与谐振腔端板固定连接的调节座，其中，还包括连接该调节座与所述谐振腔端板的螺栓，以及设置在该螺栓与所述调节座之间的碟形弹簧，且该碟形弹簧设置在所述调节座远离所述谐振腔端板的一侧。本实用新型的激光器的调节装置，在连接调节座与谐振腔端板的螺栓上设置了碟形弹簧，碟形弹簧具有刚度大、缓冲吸振能力强、以小变形承受大载荷以及大范围的非线性特性；而且，由于碟形弹簧设置在调节座远离谐振腔端板的一侧，碟形弹簧的回复力与谐振腔抽真空时所受的负压方向一致，使得碟形弹簧能在消除螺纹间隙的同时，起到很好的固定作用。
文档编号B23K26/42GK201552385SQ20092026059
公开日2010年8月18日 申请日期2009年11月20日 优先权日2009年11月20日
发明者刘昌军, 卢洪湖, 田社斌, 肖鹏, 高云峰 申请人:深圳市大族激光科技股份有限公司