焊接平台的加热板及焊接平台的制作方法、焊接平台的制作方法
【专利摘要】一种焊接平台的加热板及焊接平台的制作方法、焊接平台，其中，焊接平台，用于焊接靶材与背板，包括：底座，所述底座具有支撑面；位于所述支撑面的至少两个加热板，相邻的加热板之间具有间隔。本发明提供的焊接平台使操作人员操作叉车臂伸入所述间隔，在间隔处从下面支撑起大型靶材组件，实现大型溅射靶材组件从焊接平台搬离，而且，不会对大型溅射靶材组件造成损伤。
【专利说明】焊接平台的加热板及焊接平台的制作方法、焊接平台
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种焊接平台的加热板及焊接平台的制作方法、焊接平台。
【背景技术】
[0002]半导体工业中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材及具有一定强度的背板焊接而成。现有技术中，采用焊接平台实现靶材与背板的焊接。焊接平台由底座和设置于底座上的加热板组成，而且，加热板一体成型。
[0003]随着半导体技术的发展，靶材尺寸也越来越大。将由大型溅射靶材与大型背板焊接而成的大型溅射靶材组件搬离焊接平台时，搬离难度系数很大、靶材组件容易受损，且容易给操作人员带来安全隐患。另外，形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率较低。因此现有技术的焊接平台不能满足长期稳定的批量焊接大型溅射靶材与大型背板的需要。
【发明内容】
[0004]本发明解决的问题是将大型溅射靶材组件搬离焊接平台时，搬离难度系数很大、靶材组件容易受损，且容易给操作人员带来安全隐患。另外，形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率较低。
[0005]为解决上述问题，本发明提供一种焊接平台的加热板的制作方法，包括:
[0006]提供加热板坯料，所述加热板坯料为铝合金板；
[0007]对所述铝合金板进行酸蚀处理；
[0008]对所述酸蚀处理后的铝合金板进行第一次清洗；
[0009]对所述第一次清洗后的铝合金板进行碱蚀处理；
[0010]对所述碱蚀处理后的铝合金板进行第二次清洗；
[0011]对所述第二次清洗后的铝合金板进行中和处理；
[0012]对所述中和处理后的铝合金板进行第三次清洗；
[0013]对所述第三次清洗后的铝合金板进行氧化处理，在所述铝合金板的表面形成氧化膜。
[0014]可选的，所述氧化处理的工艺条件为:
[0015]将所述第三次清洗后的铝合金板放入电解槽中，所述电解槽中含有含量为160?180g/l的仏504和含量为5?15g/l的Al离子；设置所述电解槽的电流密度为130?150A/m2，设置所述电解槽的电压为14?18V，设置所述电解槽的温度为19?21°C。
[0016]可选的，形成氧化膜之后，所述氧化膜层内具有孔隙；
[0017]对所述第三次清洗后的铝合金板进行氧化处理之后，还包括下列步骤:
[0018]对所述氧化处理后的铝合金板进行第四次清洗；
[0019]所述第四次清洗后，对所述孔隙进行封孔处理；
[0020]对所述封孔处理后的铝合金板进行第五次清洗。
[0021]可选的，所述封孔处理的工艺条件为:
[0022]将所述第四次清洗后的铝合金板放入含有0.8?1.2g/l的Ni离子，含有0.35?
0.6g/l的氟离子的溶液中，所述溶液的PH值为5.6?6.5，所述溶液的温度为20?30°C。
[0023]可选的，所述酸蚀处理步骤之前还包括下列步骤:对所述铝合金板进行脱脂处理，以提高所述铝合金板的表面活化能。
[0024]可选的，对所述氧化处理后的铝合金板进行第四次清洗的步骤之后，对所述孔隙进行封孔处理的步骤之前，还包括下列步骤:
[0025]对所述第四次清洗的铝合金板进行着色处理；
[0026]对所述着色处理的铝合金板进行第六次清洗。
[0027]可选的，所述着色处理的工艺条件为:
[0028]将所述第四次清洗后的铝合金板放入电解槽中，所述电解槽的槽液中含有含量为7?10g/l的SnSO4、含量为20?30g/l的NiSO4、含量为15?20g/l的H2SO4 ;设置所述电解槽的电压为14?18V，设置所述电解槽的温度为15?25°C，所述槽液的PH值为0.6?
1.0,所述着色时间为20s?15min。
[0029]可选的，所述酸蚀处理的工艺条件为:
[0030]将铝合金板放入浓度为30?35g/l的NH4HF4溶液中；所述溶液温度为35?40°C，所述溶液的PH值为2.9?3.2，所述酸蚀时间为3?5min。
[0031]可选的，所述碱蚀处理的工艺条件为:
[0032]将所述第一次清洗后的铝合金板放入质量百分比浓度为3.5?9%的NaOH溶液中；所述溶液温度为50?70°C，所述溶液中铝离子的含量为30?80g/l，所述碱蚀时间为3 ?1min0
[0033]可选的，所述清洗为水洗。
[0034]与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点:
[0035]对焊接平台的加热板进行酸蚀处理、碱蚀处理，可以消除加热板的挤压纹，使得加热板表面达到平整。对焊接平台的加热板进行中和处理是为了将加热板表面多余的碱去除，防止加热板表面多余的碱与后续氧化处理中的铝离子发生反应，从而影响后续的氧化处理的效果。对加热板进行氧化处理是为了在经过中和处理的、平整的加热板表面形成组织结构均匀的氧化膜，该氧化膜可以提高加热板的硬度、耐腐蚀度、从而可以防止加热板在加热过程中发生变形，进而提高在该加热板上焊接形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率。
[0036]为解决上述问题，本发明还提供一种焊接平台的制作方法，包括:
[0037]利用上述方法形成加热板；
[0038]提供底座，所述底座具有支撑面，将至少两个所述加热板安装在所述支撑面上形成所述焊接平台，相邻的所述加热板之间具有间隔。
[0039]与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点:
[0040]采用本技术方案的方法形成的焊接平台，该焊接平台的加热板经过酸蚀处理、碱蚀处理，可以消除加热板的挤压纹，使得加热板表面达到平整。对焊接平台的加热板进行中和处理是为了将加热板表面多余的碱去除，防止加热板表面多余的碱与后续氧化处理中的铝离子发生反应，从而影响后续的氧化处理的效果。对加热板进行氧化处理是为了在经过中和处理的、平整的加热板表面形成组织结构均匀的氧化膜，该氧化膜可以提高加热板的硬度、耐腐蚀度、从而可以防止加热板在加热过程中发生变形，从而提高在该加热板上焊接形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率。
[0041]另外，体积越小的加热板在受热的过程中越不容易变形，将至少两个所述加热板安装在所述支撑面上形成所述焊接平台，相对于现有技术，每一个加热板的体积有所减小，当大型溅射靶材与大型背板进行焊接时，焊接热量不容易使得加热板的表面发生变形而形成凸起，从而减小加热板的变形率，进而提高了在该加热板上焊接形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率。
[0042]再者，在相邻的加热板之间设置有间隔，可以方便操作人员操作叉车臂伸入，然后操作人员可以继续操作叉车臂，使得叉车臂从下面支撑起所述大型溅射靶材组件并使得大型溅射靶材组件完全移至叉车臂上，接着，大型溅射靶材组件可以跟随所述叉车臂的移动而移动，从而实现大型溅射靶材组件从焊接平台的搬离。整个过程中，由于叉车臂伸入所述间隔，在间隔处从下面支撑起大型靶材组件，因此，不会对大型溅射靶材组件造成损伤。
[0043]为解决上述问题，本发明还提供一种焊接平台，包括
[0044]底座，所述底座具有支撑面；
[0045]位于所述支撑面的至少两个加热板，所述加热板利用如权利要求1?10所述方法形成，相邻的加热板之间具有间隔。
[0046]可选的，还包括:所述加热板的表面覆盖有导热绝缘布。
[0047]与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点:
[0048]本发明的技术方案操作人员可以操作叉车臂伸入所述间隔，然后继续操作叉车臂，使得叉车臂从下面支撑起所述大型溅射靶材组件并使得大型溅射靶材组件完全移至叉车臂上，接着，大型溅射靶材组件可以跟随所述叉车臂的移动而移动，从而实现大型溅射靶材组件从焊接平台的搬离。整个过程中，由于叉车臂伸入所述间隔，在间隔处从下面支撑起大型靶材组件，因此，不会对大型溅射靶材组件造成损伤。
[0049]本发明的技术方案中，体积越小的加热板在受热的过程中越不容易变形，位于所述支撑面的至少两个加热板，相对于现有技术，每一个加热板的体积有所减小，当大型溅射靶材与大型背板进行焊接时，焊接热量不容易使得加热板的表面发生变形而形成凸起，从而减小加热板的变形率，进而提高了在该加热板上焊接形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率。
【专利附图】
【附图说明】
[0050]图1是现有技术中的焊接平台的立体结构示意图；
[0051]图2是本发明具体实施例的焊接平台的立体结构示意图。
【具体实施方式】
[0052]将大型溅射靶材组件搬离焊接平台时，搬离难度系数很大、靶材组件容易受损，且容易给操作人员带来安全隐患的原因为:
[0053]焊接完成后，操作人员需要采用人力将焊接形成的大型溅射靶材组件搬离焊接平台。相对于大型溅射靶材、大型背板这两个单件来说，焊接形成的大型溅射靶材组件的体积和重量都有明显增加，其中重量达到240?260公斤，如果直接采用人力，根本无法实现大型溅射靶材组件的转移。如果采用大型机械设备将大型溅射靶材组件的上半部分固定并从焊接平台转移，一方面成本较高，另一方面，大型机械设备容易对大型溅射靶材组件造成损伤。因此，操作人员将大型溅射靶材组件搬离焊接平台时，搬离难度系数很大、靶材组件容易受损，而且，焊接完成后的大型溅射靶材组件的温度较高，如果采用人力去搬运，容易烫伤操作人员，给操作人员带来安全性隐患。
[0054]另外，形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率较低的原因为:参考图1，焊接平台10的加热板11 一体成型而成，当加热大型溅射靶材时，由于加热板11的体积比较大,容易受热不均匀，因此，在加热板表面容易发生变形而不再平整，形成较大的凸起部分，该变形处会使放置在大型靶材或大型背板上的焊料分布不均匀，从而影响在该加热板11上焊接形成的靶材组件的焊接结合率。
[0055]再者，加热板为铝合金板，在受热的过程中，铝合金板由于自身材料本身的缺陷，也很容易发生受热变形现象，在变形处同样会使放置在大型靶材或大型背板上的焊料分布不均匀，从而影响在该加热板11上焊接形成的靶材组件的焊接结合率。
[0056]为此，本发明提供了一种焊接平台，用于焊接靶材与背板。下面结合附图对本发明的【具体实施方式】做详细的说明。
[0057]图2是本发明的焊接平台焊接大型溅射靶材与大型背板时的立体结构示意图。参考图2，焊接平台20包括:
[0058]底座21，所述底座21具有支撑面211;
[0059]位于所述支撑面211的至少两个加热板22，相邻的加热板22之间具有间隔23。
[0060]大型溅射靶材与大型背板放置在加热板22上实现焊接。当焊接完成后，形成大型溅射靶材组件，操作人员只需简单操作叉车上的控制按钮就可以实现大型溅射靶材组件从焊接平台的搬离。具体过程如下:操作人员操作叉车臂伸入所述间隔23，然后继续操作叉车臂，使得叉车臂从下面支撑起所述大型溅射靶材组件并使得大型溅射靶材组件完全移至叉车臂上，接着，大型溅射靶材组件可以跟随所述叉车臂的移动而移动，从而实现大型溅射靶材组件从焊接平台20的搬离。整个过程中，由于叉车臂伸入所述间隔23，在间隔23处从下面支撑起大型靶材组件，因此，不会对大型溅射靶材组件造成损伤。
[0061]再者，体积越小的加热板在受热的过程中越不容易变形，位于所述支撑面211的至少两个加热板，相对于现有技术，每一个加热板的体积都有所减小，当大型溅射靶材与大型背板进行焊接时，焊接热量不容易使得加热板的表面发生变形而形成凸起，从而减小加热板的变形率，进而提高了在该加热板上焊接形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率。
[0062]本实施例中，底座21为矩形，底座21的上表面为支撑面211，对待焊接的大型溅射靶材和大型背板起支撑作用。底座的侧壁212设置有操作台(图未示)，操作台具有参数控制按钮，用来控制焊接平台20的焊接温度等参数。
[0063]其他实施例中，底座21不限于矩形，也可以为圆柱形。
[0064]加热板22，平铺于支撑面211上。本实施例中，加热板的材料为铝合金。加热板22分为三块。这三块加热板22呈直线排列，并且大小相等。其他实施例中，这三块加热板也可以大小不等。本实施例中，相邻的加热板22之间具有间隔23，本实施例中所述间隔23有两个，本实施例中，这两个间隔23的宽度相等，都为W。其他实施例中，这两个间隔23的宽度也可以不相等。
[0065]大型溅射靶材和大型背板放置在加热板22上进行焊接的。本实施例中，大型溅射靶材与大型背板都是长方体。大型溅射靶材与大型背板的长度方向与加热板22的长度方向一致。并且大型溅射靶材与大型背板在长度方向的中心线与位于中间的加热板在长度方向的中心线重合。本实施例的加热板22可以实现若干个大型溅射靶材和若干个大型背板的焊接。
[0066]间隔23的宽度W与叉车臂的宽度有关，即，间隔23的宽度W需要保证叉车臂顺畅的伸入其中，并且在伸入所述间隔23的过程中对加热板22的侧壁不会造成磕伤、碰伤或划伤。间隔23的宽度W还与加热板上大型背板或大型溅射靶材的材料有关，而且，间隔23的宽度W不能够太大，否则会影响加热板22之间的热传导，防止大型溅射靶材或大型背板受热不均匀，在间隔23位置处的焊料熔化效果不好，从而影响大型溅射靶材与大型背板的焊接结合率。
[0067]本实施例中，间隔23的宽度至少比叉车臂的宽度大3?4mm。目的为防止叉车臂插入间隔23时左右晃动而损伤加热板的侧壁。因此，间隔23的宽度W不能太小，如果太小，叉车臂无法伸入间隔23中，或者对组成间隔23的加热板的侧壁造成损伤；间隔23的宽度也不能太大，如果太大，加热板上的热量无法间隔23处传导，从而使大型溅射靶材与大型背板受热不均匀，焊接形成的大型溅射靶材组件也容易变形并且焊接结合率不高。
[0068]因此，具体来说，间隔23的宽度大小与待焊接大型溅射靶材、大型背板的材料、体积、加热板的体积均有关。例如:
[0069]当待焊接大型靶材为铝或钥时，待焊接大型靶材的长度为2299mm?2301mm、宽度为189mm?190mm、高度为15.5mm?16.5mm时，大型背板的材料为铜时，背板长度为2049mm?2351mm、背板宽度为209_?211mm、背板高度为15.5mm?16.5mm时，当加热板的体积相等时，加热板的材料为铝合金时，加热板的长度为1160?1200mm，宽度为780?820时，这时间隔23的宽度为18mm?24臟。
[0070]需要说明的是，在加热板上可以放置I?3个由铝或钥作为大型溅射靶材、铜作为大型背板的大型溅射靶材组件。
[0071]本实施例中，每块加热板表面覆盖有导热绝缘布。该导热绝缘布耐高温并且导热效果比较好。该导热绝缘布的作用为:(1)焊接过程中，导热绝缘布将多余的焊料与加热板进行隔离，防止多余的焊料与加热板反应，从而对多余的焊料进行回收。(2)导热绝缘布对加热板进行包裹，防止叉车臂伸入所述间隔时，对加热板表面造成刮伤等损伤。
[0072]其他实施例中，也可以不在加热板上设置有导热绝缘布，也能实施本发明。
[0073]本实施例中，上述焊接平台的形成方法如下:
[0074]执行步骤S1:提供加热板；
[0075]执行步骤S2:提供底座，所述底座具有支撑面，将至少两个所述加热板安装在所述支撑面上形成所述平台。
[0076]下面详细说明本实施例中的焊接平台的形成方法。
[0077]首先，执行步骤SI，提供加热板。
[0078]本实施例中，提供加热板的方法为:提供加热板坯料，所述加热板坯料的材料为铝合金，在所述加热板坯料表面形成氧化膜，形成加热板。
[0079]本实施例中，铝合金板为长方体，其他实施例中，也可以为正方体或圆柱体。
[0080]接着，在所述加热板坯料表面形成氧化膜，形成加热板，所述氧化膜致密，组织结构均匀，硬度较大，防止加热板受热变形；
[0081]本实施例中，在所述加热板坯料表面形成氧化膜的具体方法如下:
[0082]执行步骤S101，对铝合金板进行脱脂处理。所述脱脂处理的目的是有效清除铝合金表面的各种油污和自然氧化膜，以提高铝合金的表面活化能。
[0083]本实施例中，脱脂处理是在脱脂槽中进行的，所述脱脂槽内的溶液由脱脂剂和水组成，所述脱脂剂的组成成分为:磷酸:200?250g/l、十二烷基硫酸钠:30?50g/l、聚乙二醇:10?30g/l、二乙二醇单丁醚:10?30g/l、氢氧化钾:10?30g/l、铬酸:50?10g/1、柠檬酸钠:30?80g/l。水的体积根据脱脂槽的体积来确定。
[0084]采用本实施例中的脱脂剂对铝合金板进行脱脂处理，不仅可以清洗掉铝合金板表面的各种油污和氧化膜，而且还不会出现过去除现象，即产生大量的气体和黑污。本实施例中的脱脂剂还容易水洗去除，而且还低泡沫，从而避免脱脂槽内因泡沫太多而造成溢流。
[0085]其他实施例中，也可以不进行脱脂处理，也属于本发明的保护范围。
[0086]接着，执行步骤S102，对脱脂后的铝合金板进行酸蚀处理。
[0087]本实施例中，所述酸蚀处理的工艺条件为:
[0088]将铝合金板放入浓度为30?35g/l的NH4HF4溶液中；所述溶液温度为35?40°C，所述溶液的PH值为2.9?3.2，所述酸蚀时间为3?5min。
[0089]本实施例中，NH4HF4溶液与铝合金板接触的极短时间内迅速反应生成络合物，这种络合物具有一定的稠度，容易粘附在铝基体表面，形成一种保护膜。此保护膜凸处较薄，在凹处较厚。使厚薄处接触的酸蚀液几率不同，凹凸处的溶解速度不同，最终达到消除挤压纹、平整表面的目的，使得铝合金板表面细腻、均匀、色泽柔和。
[0090]因此，如果不按照上述条件进行酸蚀处理，例如NH4HF4溶液的含量太大、溶液温度太高、溶液的PH值太大、酸蚀时间过长，都容易对铝合金板进行过酸蚀，出现挤压纹更深等现象。如果NH4HF4溶液的含量太小、溶液温度太低、溶液的PH值太小、酸蚀时间过短，达不到对铝合金板进行消除挤压纹、平整表面目的。后续在铝合金板上则无法形成氧化膜。
[0091]接着，执行步骤S103，对所述酸蚀处理后的铝合金板进行第一次清洗。
[0092]所述第一次清洗为水洗，第一次清洗的目的是防止酸蚀步骤中的酸离子残留在铝合金板表面，影响碱蚀处理操作。具体为本领域熟知技术，在此不再赘述。
[0093]接着，执行步骤S104，对所述第一次清洗后的铝合金板进行碱蚀处理。
[0094]本实施例中，碱蚀的工艺条件为:将所述第一次清洗后的铝合金板放入质量百分比浓度为3.5?9%的NaOH溶液中；所述溶液温度为50?70°C，所述溶液中铝离子的含量为30?80g/l,所述碱蚀时间为3?1min。
[0095]氢氧化钠与铝发生反应，消除铝合金板的挤压纹和划痕，使铝合金板表面平整。氢氧化钠浓度过低、溶液温度过低、碱蚀时间过短都难以消除铝合金板的挤压纹和划痕。氢氧化钠浓度过高，溶液温度过高、碱蚀时间过长，则在铝合金板表面会产生过腐蚀。
[0096]接着，执行步骤S105，对所述碱蚀处理后的铝合金板进行第二次清洗；
[0097]所述第二次清洗为水洗，第二次清洗的目的是防止碱蚀步骤中的过多的碱离子残留在铝合金板表面，使得中和处理操作的难度加大。具体为本领域熟知技术，在此不再赘述。
[0098]接着，执行步骤S106，对所述第二次清洗后的铝合金板进行中和处理。
[0099]将所述第二次清洗后的铝合金板放入质量百分比浓度为20?40%的HNO3溶液中；所述中和处理的时间为I?3min。对焊接平台的加热板进行中和处理是为了将加热板表面多余的碱去除，防止加热板表面多余的碱与后续氧化处理中的铝离子发生反应，从而影响后续的氧化处理的效果。
[0100]接着，执行步骤S107，对所述中和处理后的铝合金板进行第三次清洗。
[0101]所述第三次清洗为水洗，第三次清洗的目的是防止中和步骤中的酸离子残留在铝合金板表面，影响后续的氧化处理步骤。具体为本领域熟知技术，在此不再赘述。
[0102]接着，执行步骤S108，对所述第三次清洗后的铝合金板进行氧化处理，在所述铝合金的表面形成氧化膜。
[0103]具体过程如下:将所述第三次清洗后的铝合金板放入电解槽中，所述电解槽中含有含量为160?180g/l的H2SO4和含量为5?15g/l的Al离子；设置所述电解槽的电流密度为130?150A/m2，设置所述电解槽的电压为14?18V，设置所述电解槽的温度为19?21。。。
[0104]铝在硫酸电解液中，阴极上发生氢离子还原反应，生成氢气。阳极上生成氧，进而与铝作用形成无水氧化铝薄膜。
[0105]上述条件范围要严格控制。根据上述条件形成的氧化膜组织结构均匀致密，耐腐蚀性强，并且具有较高的硬度。在铝合金板上形成组织结构均匀致密的氧化膜，可以防止铝合金板受热变形。
[0106]接着，执行步骤S109，对所述氧化处理后的铝合金板进行第四次清洗。
[0107]所述第四次清洗为水洗，具体为本领域熟知技术，在此不再赘述。
[0108]需要说明的是，按照上述步骤形成的氧化膜内具有微小孔隙，该微小孔隙对所述氧化膜的致密度略有影响。更进一步，为了得到致密度、硬度和组织结构更加均匀的氧化膜，还需要进行下列步骤操作:
[0109]执行步骤S110，对所述孔隙进行封孔处理。
[0110]本实施例中，封孔处理的工艺条件为:将所述第四次清洗后的铝合金板放入封孔液中，所述封孔液含有0.8?1.2g/l的Ni离子，含有0.35?0.6g/l的氟离子的溶液中，所述溶液的PH值为5.6?6.5，所述溶液的温度为20?30°C。
[0111]本实施例中，采用上述封孔液进行封孔的原理为:一方面，氧化膜是带正电荷的，为阳极，浸入封孔液后负电性很强的F对氧化膜起电中和作用，有利于Ni2+向所述孔隙内扩散和水解。另一方面，F与氧化膜作用而发生溶解，生成氟铝络合物导致孔内铝离子积累和PH升高，Ni2+、AlF63'0H—作用生成Ni (OH)2Ul (OH) 3混合物沉积。再者，与Al2O3反应生成的Al3+产生水合Al (H2O)63+，其浓度达到一定值时离子间发生缔合水解浓缩，最后转化为稳定相A100H (Al2O3X因此，封闭剂中有机物与Al3+可形成有保护作用的化学转化膜。从而使得铝合金表面的氧化膜更加致密、硬度更好、组织结构更加均匀。
[0112]接着，执行步骤S111，对所述封孔处理后的铝合金板进行第五次清洗。
[0113]所述第五次清洗为水洗，具体为本领域熟知技术，在此不再赘述。
[0114]因此上述条件范围要严格控制。否则不会得到致密度、硬度更佳和组织结构更加均匀的氧化膜。
[0115]当然，在其他实施例中，也可以对所述孔隙不进行封孔处理，也能实施本发明。
[0116]本实施例中，为了获得外观较好的加热板，对所述氧化处理后的铝合金板进行第四次清洗的步骤之后，对所述孔隙进行封孔处理的步骤之前还需要进行下列操作:
[0117]执行步骤S112，对所述第四次清洗后的铝合金板进行着色处理。
[0118]将所述第四次清洗后的铝合金板放入电解槽中，所述电解槽的槽液中含有含量为7?10g/l的SnS04、含量为20?30g/l的NiS04、含量为15?20g/l的H2SO4中；设置所述电解槽的电压为14?18V，设置所述电解槽的温度为15?25°C，所述槽液的PH值为0.6?1.0,所述着色时间为20s?15min。
[0119]本实施例的着色是通过电解把金属盐溶液的金属离子沉积在所述氧化膜的孔隙底部，光线射到金属离子上时发生漫散散，而使氧化膜呈颜色。
[0120]接着，执行步骤S113，对所述着色处理后的铝合金板进行第六次清洗；
[0121]所述第六次清洗为水洗，具体为本领域熟知技术，在此不再赘述。
[0122]其他实施例中，也可以不进行着色处理。
[0123]因此，本实施例中，对加热板坯料进行步骤SlOl至步骤S113的处理之后，形成加热板，所述加热板的表面具有氧化膜，该氧化膜具有极好的致密度、硬度、并且组织结构均匀、美观。因此，该加热板作为焊接平台的加热板时，焊接过程产生热量不会使得该加热板发生形变，从而可以进一步提高靶材组件的焊接结合率。
[0124]执行完步骤SI后，执行步骤S2，提供底座，所述底座具有支撑面，将至少两个所述加热板安装在所述支撑面上形成所述焊接平台，相邻的所述加热板之间具有间隔。
[0125]需要说明的是，本实施例中，将至少两个所述加热板安装在所述支撑面上形成所述焊接平台之前，还需要在加热板上设置加热设备。例如，本实施例中，可以在加热板内部设置加热管。
[0126]所述底座的侧面具有操作台，所述操作台具有控制按钮，例如，控制加热板的温度。
[0127]将至少两个加热板安装在底座形成所述平台为本领域熟知技术，在此不再赘述。
[0128]采用本技术方案的方法形成的焊接平台，该焊接平台的加热板经过酸蚀处理、碱蚀处理，可以消除加热板的挤压纹，使得加热板表面达到平整。对焊接平台的加热板进行中和处理是为了将加热板表面多余的碱去除，防止加热板表面多余的碱与后续氧化处理中的铝离子发生反应，从而影响后续的氧化处理的效果。对加热板进行氧化处理是为了在经过中和处理的、平整的加热板表面形成组织结构均匀的氧化膜，该氧化膜可以提高加热板的硬度、耐腐蚀度、从而可以防止加热板在加热过程中发生变形，从而提高在该加热板上焊接形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率。
[0129]另外，体积越小的加热板在受热的过程中越不容易变形，将至少两个所述加热板安装在所述支撑面上形成所述焊接平台，相对于现有技术，每一个加热板的体积有所减小，当大型溅射靶材与大型背板进行焊接时，焊接热量不容易使得加热板的表面发生变形而形成凸起，从而减小加热板的变形率，进而提高了在该加热板上焊接形成的大型溅射靶材组件的焊接结合率。
[0130]再者，在相邻的加热板之间设置有间隔，可以方便操作人员操作叉车臂伸入，然后操作人员可以继续操作叉车臂，使得叉车臂从下面支撑起所述大型溅射靶材组件并使得大型溅射靶材组件完全移至叉车臂上，接着，大型溅射靶材组件可以跟随所述叉车臂的移动而移动，从而实现大型溅射靶材组件从焊接平台的搬离。整个过程中，由于叉车臂伸入所述间隔，在间隔处从下面支撑起大型靶材组件，因此，不会对大型溅射靶材组件造成损伤。
[0131]虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
【权利要求】
1.一种焊接平台的加热板的制作方法，其特征在于，包括: 提供加热板还料，所述加热板还料为招合金板； 对所述铝合金板进行酸蚀处理； 对所述酸蚀处理后的铝合金板进行第一次清洗； 对所述第一次清洗后的铝合金板进行碱蚀处理； 对所述碱蚀处理后的铝合金板进行第二次清洗； 对所述第二次清洗后的铝合金板进行中和处理； 对所述中和处理后的铝合金板进行第三次清洗； 对所述第三次清洗后的铝合金板进行氧化处理，在所述铝合金板的表面形成氧化膜。
2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述氧化处理的工艺条件为: 将所述第三次清洗后的铝合金板放入电解槽中，所述电解槽中含有含量为160?180g/l的H2SO4和含量为5?15g/l的Al离子；设置所述电解槽的电流密度为130?150A/m2，设置所述电解槽的电压为14?18V，设置所述电解槽的温度为19?21°C。
3.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成氧化膜之后，所述氧化膜层内具有孔隙； 对所述第三次清洗后的铝合金板进行氧化处理之后，还包括下列步骤: 对所述氧化处理后的铝合金板进行第四次清洗； 所述第四次清洗后，对所述孔隙进行封孔处理； 对所述封孔处理后的铝合金板进行第五次清洗。
4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述封孔处理的工艺条件为: 将所述第四次清洗后的铝合金板放入含有0.8?1.2g/l的Ni离子，含有0.35?0.6g/I的氟离子的溶液中，所述溶液的PH值为5.6?6.5，所述溶液的温度为20?30°C。
5.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述酸蚀处理步骤之前还包括下列步骤:对所述铝合金板进行脱脂处理，以提高所述铝合金板的表面活化能。
6.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，对所述氧化处理后的铝合金板进行第四次清洗的步骤之后，对所述孔隙进行封孔处理的步骤之前，还包括下列步骤: 对所述第四次清洗的铝合金板进行着色处理； 对所述着色处理的铝合金板进行第六次清洗。
7.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述着色处理的工艺条件为: 将所述第四次清洗后的铝合金板放入电解槽中，所述电解槽的槽液中含有含量为7?10g/l的SnSO4、含量为20?30g/l的NiSO4、含量为15?20g/l的H2SO4 ;设置所述电解槽的电压为14?18V，设置所述电解槽的温度为15?25°C，所述槽液的PH值为0.6?1.0，所述着色时间为20s?15min。
8.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述酸蚀处理的工艺条件为: 将铝合金板放入浓度为30?35g/l的NH4HF4溶液中；所述溶液温度为35?40°C，所述溶液的PH值为2.9?3.2，所述酸蚀时间为3?5min。
9.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述碱蚀处理的工艺条件为: 将所述第一次清洗后的铝合金板放入质量百分比浓度为3.5?9%的NaOH溶液中；所述溶液温度为50?70°C，所述溶液中铝离子的含量为30?80g/l，所述碱蚀时间为3?1min0
10.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述清洗为水洗。
11.一种焊接平台的制作方法，用于焊接靶材与背板，其特征在于，包括: 利用权利要求1?10任一项所述的方法形成加热板； 提供底座，所述底座具有支撑面，将至少两个所述加热板安装在所述支撑面上形成所述焊接平台，相邻的所述加热板之间具有间隔。
12.—种焊接平台，用于焊接靶材与背板，其特征在于，包括: 底座，所述底座具有支撑面； 位于所述支撑面的至少两个加热板，所述加热板利用如权利要求1?10所述方法形成，相邻的加热板之间具有间隔。
13.如权利要求12所述的焊接平台，其特征在于，还包括:所述加热板的表面覆盖有导热绝缘布。
【文档编号】B23K37/00GK104416307SQ201310398803
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2013年9月3日 优先权日:2013年9月3日
【发明者】姚力军, 相原俊夫, 大岩一彦, 潘杰, 王学泽, 李健成 申请人:宁波江丰电子材料股份有限公司