一种微细槽加工装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种微细槽加工装置，包括进给机构、振动机构、脉冲电源和工作台，所述的振动机构下端固定设置有电极夹具，所述的电极夹具下端固定设置有电极刀片，所述的工作台上端设置有夹紧装置，所述的脉冲电源一极通过导线连接电极刀片，另一极通过导线连接夹紧装置，所述的工作台上方设置有清洗喷嘴，所述的工作台内侧设置有油箱，所述的油箱一侧通过柱塞油泵连接沉淀箱，所述的沉淀箱后端通过管道连接清洗喷嘴。本实用新型能够解决微细有槽孔结构的单件或者小批量快速加工问题。
【专利说明】—种微细槽加工装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微细槽加工装置，属于电子机械生产设备领域。
【背景技术】
[0002]微细加工方式十分丰富，涉及各种现代特种加工、高能束加工等方式，主要分为分离加工、接合加工和变形加工等，微细加工技术适合于微细槽孔的加工，效果很好，目前主要应用于大规模和超大规模集成电路的加工制作，微细加工技术适用于特种新型器件、电子零件和电子装置的制造及机械零件和装置的制造及表面分析、材料改性等方面，其大规模、大批量生产时的成本相对低廉，但由于其生产过程通常要求在无尘等高要求的环境下进行光刻和LIGA过程中需要的掩膜制作工艺复杂，制造周期长，无法满足单件或小批量快速生产的需求，且成本十分高昂，因此在对普通零件进行微细槽孔加工时无法应用。为实现对微细不通槽孔的单件或小批量加工，需要开发出一种新型的简易加工设备，该设备应易于操作，经济实用。
实用新型内容
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种简单实用的微细槽加工装置。
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为:一种微细槽加工装置，包括进给机构、振动机构、脉冲电源和工作台，所述的振动机构下端固定设置有电极夹具，所述的电极夹具下端固定设置有电极刀片，所述的工作台上端设置有夹紧装置，所述的脉冲电源一极通过导线连接电极刀片，另一极通过导线连接夹紧装置，所述的工作台上方设置有清洗喷嘴，所述的工作台内侧设置有油箱，所述的油箱一侧通过柱塞油泵连接沉淀箱，所述的沉淀箱后端通过管道连接清洗喷嘴。
[0005]所述的振动机构内设置有电磁线圈和起振块，所述的电磁线圈通过导线连接脉冲电源。
[0006]所述的沉淀箱与清洗喷嘴之间设置有精过滤器。
[0007]所述的电极刀片为紫铜电极刀片。
[0008]所述的进给机构通过进给电机驱动。
[0009]本实用新型具有以下优点:
[0010]I)标准微槽孔制作精度高；
[0011]2)满足任意方向、任意长度、任意宽度的加工要求，且加工深度一致；
[0012]3)低电压加工确保操作人员安全；
[0013]4)操作简单，加工过程易于控制；
[0014]5)单件或者小批量加工成本低可靠性高工作稳定。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型结构示意图。[0016]图中:1、进给机构；2、振动机构；3、脉冲电源；4、工作台；5、电极夹具；6、电极刀片；7、夹紧装置；8、清洗喷嘴；9、油箱；10、柱塞油泵；11、沉淀箱；12、精过滤器；13、电磁线圈；14、起振块；15、进给电机。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图，并结合实施例，对本实用新型做进一步的说明。
[0018]如图1所示，本实施例的一种微细槽加工装置，包括进给机构1、振动机构2、脉冲电源3和工作台4，所述的振动机构2下端固定设置有电极夹具5，所述的电极夹具5下端固定设置有电极刀片6，所述的工作台4上端设置有夹紧装置7，所述的脉冲电源3 —极通过导线连接电极刀片6，另一极通过导线连接夹紧装置7，所述的工作台4上方设置有清洗喷嘴8，所述的工作台4内侧设置有油箱9，所述的油箱9 一侧通过柱塞油泵10连接沉淀箱11，所述的沉淀箱11后端通过管道连接清洗喷嘴8。
[0019]所述的振动机构2内设置有电磁线圈13和起振块14，所述的电磁线圈13通过导线连接脉冲电源3。
[0020]所述的沉淀箱11与清洗喷嘴8之间设置有精过滤器12。
[0021]所述的电极刀片6为紫铜电极刀片。
[0022]所述的进给机构I通过进给电机15驱动。
[0023]当电磁线圈13中通过脉冲电源3时，电磁线圈13在脉冲电源3的作用下产生相应频率的交变磁场，交变磁场对铁磁性的起振块14产生交变的电磁力作用，使起振块14以特定的频率振动，起振振动由振动机构2传递到电极夹具5及其上面安装的电极刀片6上，电极振动系统产生的振动为电极刀片6和工件之间的引弧提供必要条件，阻止因长时间的短路而发生烧坏电极刀片6，脉冲电源3为电极刀片6和零件之间持续地提供需要的脉冲电压，产生脉冲放电电弧，清洗喷嘴8喷油为电火花放电处提供一定的绝缘介质，以保证加工的顺利进行，同时油液冲刷可带走反应热及废屑以保证加工质量。电极的装夹比较简单，可以根据不同的加工场合安排不同的装夹方案，且更换简单可靠。
【权利要求】
1.一种微细槽加工装置，其特征在于:包括进给机构(I)、振动机构(2)、脉冲电源(3)和工作台(4)，所述的振动机构(2)下端固定设置有电极夹具(5)，所述的电极夹具(5)下端固定设置有电极刀片(6)，所述的工作台(4)上端设置有夹紧装置(7)，所述的脉冲电源(3)一极通过导线连接电极刀片(6)，另一极通过导线连接夹紧装置(7)，所述的工作台(4)上方设置有清洗喷嘴(8)，所述的工作台(4)内侧设置有油箱(9)，所述的油箱(9) 一侧通过柱塞油泵(10 )连接沉淀箱(11)，所述的沉淀箱(11)后端通过管道连接清洗喷嘴(8 )。
2.根据权利要求1所述的一种微细槽加工装置，其特征在于:所述的振动机构(2)内设置有电磁线圈(13)和起振块(14)，所述的电磁线圈(13)通过导线连接脉冲电源(3)。
3.根据权利要求1所述的一种微细槽加工装置，其特征在于:所述的沉淀箱(11)与清洗喷嘴(8 )之间设置有精过滤器(12)。
4.根据权利要求1所述的一种微细槽加工装置，其特征在于:所述的电极刀片(6)为紫铜电极刀片。
5.根据权利要求1所述的一种微细槽加工装置，其特征在于:所述的进给机构(I)通过进给电机(15)驱动。
【文档编号】B23H1/00GK203817551SQ201420113591
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2014年3月13日 优先权日:2014年3月13日
【发明者】梁作军 申请人:嵊州市隆盛电子有限公司