用于覆铜陶瓷基板的激光切割机工作台的制作方法

本发明属于覆铜陶瓷基板的切割技术领域，特别涉及一种用于覆铜陶瓷基板的激光切割机工作台。

背景技术：

覆铜陶瓷基板(DBC基板)是使用DBC(Direct Bond Copper)技术将铜箔直接烧结在陶瓷表面而制成的一种电子基础材料。覆铜陶瓷基板具有极好的热循环性、形状稳定、刚性好、导热率高、可靠性高，覆铜面可以刻蚀出各种图形的特点，并且它是一种无污染、无公害的绿色产品，使用温度相当广泛，可以从-55℃～850℃，热膨胀系数接近于硅，其应用领域十分广泛：可用于半导体致冷器、电子加热器，大功率电力半导体模块，功率控制电路、功率混合电路、智能功率组件，高频开关电源、固态继电器，汽车电子、航天航空及军用电子组件，太阳能电池板组件，电讯专用交换机、接收系统，激光等多项工业电子领域。

覆铜陶瓷基板(DBC基板)在制备过程中，需要将蚀刻好图形的产品进行激光切割,分割成单枚产品。为了减轻设备工作负载及降低成本，激光机上放置待切割产品的工作平台底板通常是用轻质金属材料(如铝金属等),见图1。轻质金属材料虽然重量轻，但硬度低，不耐磨。而DBC基板基体材料为氧化铝陶瓷,硬度高。切割时DBC基板放入工作平台底板及取下时，氧化铝陶瓷与底板会接触产生摩擦。当长时间摩擦后,轻质的工作平台底板表面产生摩损：表面凹凸不平。当产品放入工作平台底板后，也呈现凹凸不平状态，使得切割时激光焦距不一致。造成产品切缝深度深浅不一致，破损不良增加。

技术实现要素：

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于覆铜陶瓷基板的激光切割机工作台。本发明通过在轻质的工作平台底板表面设置一层盖板(硬质耐磨薄板)，使氧化铝陶瓷只与盖板接触，由于盖板硬度高，不易磨损，保证了工作平台底板平面度不发生变化，提高了切割产品的良率。

为了达到上述目的，本发明提供了一种用于覆铜陶瓷基板的激光切割机工作台，包括：工作台和工作台底板，所述工作台上设有工作台底板，所述工作台底板上设有底板吸气孔；还包括盖板，所述盖板设于所述工作台底板的表面，所述工作台底板上设有底板沉孔，所述盖板上设有与所述底板吸气孔相同布置的盖板吸气孔以及与所述底板沉孔连接的盖板沉孔。

所述工作台底板与盖板的长宽尺寸相同。

所述底板沉孔内设有螺纹。

所述盖板的厚度为1.0mm-5.0mm，优选的厚度为1.0mm～3.0mm。

所述盖板的材质为不锈钢、钽、钼或氧化铝陶瓷。

本发明的有益效果是：

(1)通过在轻质的工作平台底板表面设置一层硬质耐磨薄板，提高了工作平台底板耐磨性，保持其平面度，使得切割时激光焦距不发生变化。同时又保持了轻质工作平台重量轻特点；

(2)硬质簿板通过镙钉与轻质的工作平台底板连接，可方便的进行定期更换，保持工作平台底板长期平整；

(3)为保证在切割过程中，减少氧化铝陶瓷与工作平台底板表面磨损，通过保持工作平台底板及待切割产品的平整度，来保证激光焦距的一致性，使产品切缝深度深浅一致，提高切割产品的良率。

附图说明

图1为现有的激光切割机工作台结构示意图；

图2为本发明的盖板结构示意图；

图3为本发明的工作台和工作台底板结构示意图；

图4为本发明的激光切割机工作台结构示意图。

其中：

1-工作台 2-工作台底板 21-底板吸气孔 22-底板沉孔

3-盖板 31-盖板吸气孔 32-盖板沉孔 4-螺钉

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本发明做进一步说明。

实施例1：

如图2-4所示的一种用于覆铜陶瓷基板的激光切割机工作台，包括：工作台1、工作台底板2和盖板3。

工作台1上设有工作台底板2，工作台底板2上设有底板吸气孔21。

盖板3设于工作台底板2的表面，工作台底板2上设有底板沉孔22，盖板3上设有与底板吸气孔21相同布置的盖板吸气孔31，保证吸气量不发生变化，以及盖板3上设有与底板沉孔22连接的盖板沉孔32。

工作台底板2与盖板3的长宽尺寸相同。

底板沉孔22内设有螺纹，盖板3与工作台底板2通过螺钉4连接。

盖板3的厚度为2.0mm。

盖板3的材质为不锈钢、钽、钼或氧化铝陶瓷。

以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。