用于引导供体基底的边缘区域中的裂纹的方法与流程

文档序号:13985036阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种用于从供体基底(2)分离固体片(1)的方法。该方法在此包括下述步骤:借助于激光射束(12)在供体基底(2)的内部产生改性部(10),其中通过改性部(10)预设剥离区域,沿着所述剥离区域从供体基底(2)分离固体子层(1),和将供体基底(2)的材料从沿着供体基底(2)的环周方向延伸的表面(4)开始朝向供体基底(2)的中央(Z)的方向去除,尤其以产生环绕的凹部(6)。

技术研发人员:马尔科·斯沃博达;克里斯蒂安·拜尔;弗朗茨·席林;扬·黎克特
受保护的技术使用者:西尔特克特拉有限责任公司
技术研发日:2016.06.23
技术公布日:2018.03.20
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