一种激光功率调节机构的制作方法

本实用新型属于精密加工技术领域，尤其涉及一种激光功率调节机构。

背景技术：

目前，在高端激光微加工领域，比如蓝宝石晶圆和玻璃晶圆以及硅晶圆激光切割领域，在进行激光加工时，对激光功率的精确性和稳定性有非常高的要求，在不同位置加工时对激光的功率需求不一样，而激光器本身的功率调节速度较慢，且频繁调节激光功率降低了激光器出光功率的稳定性，满足不了加工要求。

为了克服高端激光微加工时功率的调整速度慢以及频繁调节功率对激光器带来的功率不稳定以上提及的问题，满足快速调节功率的需求，需要研制出一种激光功率调节机构。

技术实现要素：

本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种激光功率调节机构，以解决现有技术中存在的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种激光功率调节机构，包括安装座以及位于所述安装座上的调节组件；所述调节组件包括驱动马达、由所述驱动马达驱动的旋转轴以及位于所述旋转轴端部的旋转半波片，所述旋转轴为中空结构体，所述旋转轴通过同步带结构与所述驱动马达连接，所述旋转轴通过轴承组与所述安装座连接，所述旋转半波片通过波片固定座与所述同步带结构连接，所述旋转半波片与所述旋转轴呈同轴设置。

本实用新型一个较佳实施例中，所述同步带结构包括主动带轮、从动带轮以及用于传动的同步皮带，所述主动带轮位于所述驱动马达上，所述从动带轮与所述旋转轴相连，所述同步皮带将所述主动带轮与所述从动带轮连接。

本实用新型一个较佳实施例中，所述波片固定座位于所述从动带轮上，所述旋转半波片安装于所述波片固定座上。

本实用新型一个较佳实施例中，所述轴承组包括内压圈、垫圈、压紧轴承以及外压圈，所述轴承组与所述安装座配合。

本实用新型一个较佳实施例中，所述压紧轴承位于所述安装座内。

本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

本实用新型在安装座与调节组件的配合作用下，调节组件包括驱动马达、旋转轴与旋转半波片，通过驱动马达驱动旋转半波片进行转动，改变激光出射的偏振方向，改变了偏振方向后的激光透过率被改变，从而达到激光功率调节的目的，本实用新型结构简单，稳定性强，使用方便，应用前景较为广阔。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；

图1为本实用新型优选实施例的整体结构示意图；

图2为本实用新型优选实施例的剖视图；

图中：1、安装座；2、调节组件；21、驱动马达；22、旋转轴；23、旋转半波片；3、同步带结构；31、主动带轮；32、从动带轮；33、同步皮带；4、轴承组；41、内压圈；42、垫圈；43、压紧轴承；44、外压圈；5、波片固定座。

具体实施方式

现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1与图2所示，一种激光功率调节机构，包括安装座1以及位于安装座1上的调节组件2；调节组件2包括驱动马达21、由驱动马达21驱动的旋转轴22以及位于旋转轴22端部的旋转半波片23，旋转轴22为中空结构体，旋转轴22通过同步带结构3与驱动马达21连接，旋转轴22通过轴承组4与安装座1连接，旋转半波片23通过波片固定座5与同步带结构3连接，旋转半波片23与旋转轴22呈同轴设置。

在本实施例中，旋转半波片23安装在波片固定座5内，激光垂直入射穿过旋转轴22的中空结构与旋转半波片23，当驱动马达21通过同步带结构3驱动旋转轴22进行转动时，改变了激光的入射角度，实现了功率的调节，激光入射后，通过旋转半波片23，改变了激光出射的偏振方向，改变偏振方向后的激光透过率也将改变，从而实现了对激光功率的调节。

具体地，同步带结构3包括主动带轮31、从动带轮32以及用于传动的同步皮带33，主动带轮31位于驱动马达21上，从动带轮32与旋转轴22相连，同步皮带33将主动带轮31与从动带轮32连接，由同步带结构3实现旋转轴22与旋转半波片23的转动。

具体而言，波片固定座5位于从动带轮32上，旋转半波片23安装于波片固定座5上。

在本实施例中，轴承组4包括内压圈41、垫圈42、压紧轴承43以及外压圈44，轴承组4与安装座1配合，压紧轴承43的存在，能够保证旋转轴22进行稳定的转动，而内压圈41、垫圈42与外压圈44的存在，能够对压紧轴承43进行有效地固定。

具体地，压紧轴承43位于安装座1内。

总而言之，本实用新型在安装座1与调节组件2的配合作用下，调节组件2包括驱动马达21、旋转轴22与旋转半波片23，通过驱动马达21驱动旋转半波片23进行转动，改变激光出射的偏振方向，改变了偏振方向后的激光透过率被改变，从而达到激光功率调节的目的，本实用新型结构简单，稳定性强，使用方便，应用前景较为广阔。

以上依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。

技术特征：

1.一种激光功率调节机构，其特征在于，包括安装座以及位于所述安装座上的调节组件；所述调节组件包括驱动马达、由所述驱动马达驱动的旋转轴以及位于所述旋转轴端部的旋转半波片，所述旋转轴为中空结构体，所述旋转轴通过同步带结构与所述驱动马达连接，所述旋转轴通过轴承组与所述安装座连接，所述旋转半波片通过波片固定座与所述同步带结构连接，所述旋转半波片与所述旋转轴呈同轴设置。

2.根据权利要求1所述的一种激光功率调节机构，其特征在于，所述同步带结构包括主动带轮、从动带轮以及用于传动的同步皮带，所述主动带轮位于所述驱动马达上，所述从动带轮与所述旋转轴相连，所述同步皮带将所述主动带轮与所述从动带轮连接。

3.根据权利要求2所述的一种激光功率调节机构，其特征在于，所述波片固定座位于所述从动带轮上，所述旋转半波片安装于所述波片固定座上。

4.根据权利要求1所述的一种激光功率调节机构，其特征在于，所述轴承组包括内压圈、垫圈、压紧轴承以及外压圈，所述轴承组与所述安装座配合。

5.根据权利要求4所述的一种激光功率调节机构，其特征在于，所述压紧轴承位于所述安装座内。

技术总结
本实用新型公开了一种激光功率调节机构，包括安装座以及位于所述安装座上的调节组件；所述调节组件包括驱动马达、由所述驱动马达驱动的旋转轴以及位于所述旋转轴端部的旋转半波片，所述旋转轴为中空结构体，所述旋转轴通过同步带结构与所述驱动马达连接，所述旋转轴通过轴承组与所述安装座连接，所述旋转半波片通过波片固定座与所述同步带结构连接，所述旋转半波片与所述旋转轴呈同轴设置。本实用新型通过驱动马达驱动旋转半波片进行转动，改变激光出射的偏振方向，改变了偏振方向后的激光透过率被改变，从而达到激光功率调节的目的，本实用新型结构简单，稳定性强，使用方便，应用前景较为广阔。

技术研发人员：胡剑
受保护的技术使用者：苏州汉立光电科技有限公司
技术研发日：2020.10.14
技术公布日：2021.08.03