一种新型激光束修补机工作台的制作方法

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1.本实用新型属于掩模制版技术领域，特别涉及一种新型激光束修补机工作台。


背景技术：

2.掩模是在一个石英基材上以铬膜所构成之集成电路设计图案，其目的为了将设计出的集成电路图案利用掩模投影微缩转移至晶圆上，在掩模生产制造过程中，缺陷修补是一道重要工序，尤其是当集成电路工艺发展到7纳米技术节点时，随着图形特征尺寸越来越小，图形复杂多样，对缺陷要求越来越严格，若掩模版上存在缺陷，经光刻等工艺流程处理，缺陷就被复刻到圆片上，最终造成集成电路开、短路异常，使芯片良率降低，如果不修补，报废处理，不但增加生产成本，而且影响产品交期。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型激光束修补机工作台，通过放置槽与l形限位条能够对不同型号的掩膜版进行限位，再通过底部设置的伺服电机对掩膜版进行微调，使显示图像更加清晰，提高精准性。
4.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：
5.一种新型激光束修补机工作台，包括放置平台，所述放置平台的顶部开设有放置槽，所述放置槽的四角均固定连接有三角支撑板，所述放置槽的底部固定连接有四个l形限位条，所述放置槽的底部位于四个l形限位条之间设有三个支撑顶针，所述放置槽的外部镂空。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述放置平台的底部设有三个伺服电机，所述伺服电机的输出端与支撑顶针螺纹连接。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述放置平台的外部设有控制器，该控制器设有一号拨动开关、二号拨动开关和微调旋钮，控制器与三个伺服电机电性连接。
8.本实用新型的有益效果：本装置操作简单方便，通过放置槽与l形限位条能够对不同型号的掩膜版进行限位，再通过底部设置的伺服电机对掩膜版进行微调，使显示图像更加清晰，提高精准性。
附图说明：
9.为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。
10.图1为本实用新型的立体结构示意图；
11.图2为本实用新型的剖视结构示意图。
12.图中：1、放置平台；2、l形限位条；3、放置槽；4、三角支撑板；5、支撑顶针；6、伺服电机；7、一号拨动开关；8、二号拨动开关；9、微调旋钮。
具体实施方式：
13.实施例1
14.如图1所示，本具体实施方式采用以下技术方案：一种新型激光束修补机工作台，包括放置平台 1，放置平台1的顶部开设有放置槽 3，放置槽3的四角均固定连接有三角支撑板4，放置槽3的底部固定连接有四个l形限位条2；
15.在l形限位条2之间可放置5英寸需修补的掩模版，在放置槽3内部的三角支撑板4上可放置6英寸需修补的掩模版，实现工作台灵活修补的目的，在需要对掩膜版进行取出更换时，可从四周镂空的槽中对掩膜版进行抓取，方便操作，避免需要撬动取料。
16.实施例2
17.如图2所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
18.放置槽3的底部位于四个l形限位条2之间设有三个支撑顶针5，放置槽3的外部镂空，放置平台1的底部设有三个伺服电机6，伺服电机6的输出端与支撑顶针5螺纹连接，放置平台1的外部设有控制器，该控制器设有一号拨动开关7、二号拨动开关8和微调旋钮9，控制器与三个伺服电机6电性连接。
19.通过控制器控制放置平台1底部的伺服电机6，同时驱动三支支撑顶针5以相同速度升高到一号拨动开关7设定的初始高度，修补产品掩模版完全脱离掩模版放置平台1的三角支撑板4修补工作完成后，开始执行下料，打开二号拨动开关8同时驱动三支支撑顶针5以相同的速度下降到已经设定好的初始位置，修补产品掩模版完全坐落在掩模版放置平台1的三角支撑板4上，寻找需要修补产品掩膜版参考点时，出现影像不清晰，则可以微调单独控制伺服电机6的微调旋钮9下调节参考点附近的支撑顶针5使产品的参考点成像清晰，依次单独调节产品表面三个参考点附近的支撑顶针5上下位置，使得三个参考点成像都清晰。
20.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种新型激光束修补机工作台，其特征在于，包括放置平台(1)，所述放置平台(1)的顶部开设有放置槽(3)，所述放置槽(3)的四角均固定连接有三角支撑板(4)，所述放置槽(3)的底部固定连接有四个l形限位条(2)，所述放置槽(3)的底部位于四个l形限位条(2)之间设有三个支撑顶针(5)，所述放置槽(3)的外部镂空。2.根据权利要求1所述的一种新型激光束修补机工作台，其特征在于：所述放置平台(1)的底部设有三个伺服电机(6)，所述伺服电机(6)的输出端与支撑顶针(5)螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种新型激光束修补机工作台，其特征在于：所述放置平台(1)的外部设有控制器，控制器设有一号拨动开关(7)、二号拨动开关(8)和微调旋钮(9)，控制器与三个伺服电机(6)电性连接。

技术总结
本实用新型公开了一种新型激光束修补机工作台，包括放置平台，放置平台的顶部开设有放置槽，放置槽的四角均固定连接有三角支撑板，放置槽的底部固定连接有四个L形限位条，放置槽的底部位于四个L形限位条之间设有三个支撑顶针，放置槽的外部镂空，本实用新型的有益效果：本装置操作简单方便，通过放置槽与L形限位条能够对不同型号的掩膜版进行限位，再通过底部设置的伺服电机对掩膜版进行微调，使显示图像更加清晰，提高精准性。提高精准性。提高精准性。


技术研发人员：华卫群 尤春 刘维维 薛文卿
受保护的技术使用者：无锡中微掩模电子有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/8/30