一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备的制造方法

文档序号:9387948阅读:629来源:国知局
一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备。
【背景技术】
[0002]目前,如图1所示,激光发生器可以具体包括激光管01 (laser tube)、分束器02 (Beam Splitter)、反射片03以及能量监测单元04。具体的,在激光管01内,氣气、氖气、氦气等气体组成的混合气体在高压下放电产生光子,形成激光束,激光束从激光管01透过后到达分束器02,经过分束器02后形成两束激光。
[0003]一般,如图2所示,分束器02为一个高透过率镜片,例如,其透过率为98 %,反射率为2 %,这样,98%的激光束透过分束器02后,经过一系列光学变换后形成线性光源,该线性光源可以对非晶硅进行扫描退火;而2%的激光束反射至反射片03,最终到达能量监测单元04,能量监测单元04可以将该2%的激光束作为反馈量生成反馈控制信号,以便操作人员根据反馈控制信号及时调整激光管01内发出的激光束的能量。
[0004]在使用一段时间后,分束器02可能会受到污染,进而导致分束器02的透过率降低,使得透过的激光束能量降低,与激光管01形成的激光束形成内外能量差;同时,由于经过受污染的分束器02,使得透过的激光束的均一性变差。

【发明内容】

[0005]本发明的实施例提供一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备,可一定程度减少分束器受到污染的几率,提高经过分束器后激光束的均一性。
[0006]为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:
[0007]—方面,本发明的实施例提供一种分束器,包括透过区域和反射区域,所述透过区域为通孔,所述反射区域设置于所述通孔的外围,其中,
[0008]所述通孔,用于透射接收到的第一激光束;
[0009]所述反射区域,用于反射接收到的第一激光束。
[0010]进一步地,所述第一激光束包括能量集中的第一区域和能量发散的第二区域;其中,
[0011]所述通孔沿所述第一激光束的方向的投影,位于所述第一区域沿所述第一激光束的方向的投影内。
[0012]进一步地,所述通孔沿所述第一激光束的方向的投影,与所述第一区域沿所述第一激光束的方向的投影完全重叠。
[0013]进一步地,所述通孔为矩形。
[0014]进一步地,所述反射区域设置有高反射镜片。
[0015]进一步地,所述高反射镜片包括反射基板,以及覆盖于所述反射基板上的反射膜。
[0016]另一方面,本发明的实施例提供一种激光发生器,包括上述任一所述的分束器。
[0017]进一步地,所述激光发生器还包括:激光管、反射片以及能量监测单元,其中,
[0018]所述激光管,用于生成第一激光束,并将所述第一激光束发射至所述分束器;
[0019]所述分束器,用于接收所述第一激光束,并且,通过所述分束器的通孔,第一激光束被透射接收以形成第二激光束;以及,通过所述分束器的反射区域,第一激光束被反射接收以形成第三激光束;
[0020]所述反射片,用于改变所述第三激光束的传输方向,以使得所述第三激光束发射至所述能量监测单元;
[0021]所述能量监测单元,用于检测所述第三激光束的能量,并根据所述第三激光束的能量生成反馈控制信号。
[0022]另一方面,本发明的实施例提供一种准分子激光退火设备,包括上述任一所述的激光发生器。
[0023]本发明的实施例提供一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备,该分束器具体包括透过区域和反射区域,具体的,该透过区域为通孔,该反射区域设置于该通孔的外围,其中,该通孔,用于透射接收到的第一激光束;该反射区域,用于反射接收到的第一激光束。这样一来,在第一激光束中,经过分束器的通孔的激光直接可以透射过分束器,形成第二激光束,无需像现有技术中,第一激光束需要经过高透过率镜片后形成第二激光束,避免了第一激光束经过高透过率镜片所带来的衰减,以及由于高透过率镜片受到污染而导致透过的第二激光束的均一性变差的问题,可一定程度减少分束器受到污染的几率,提高经过分束器后激光束的均一性。
【附图说明】
[0024]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为现有技术中激光发生器的结构示意图;
[0026]图2为现有技术中分束器的结构示意图;
[0027]图3为本发明的实施例提供的一种分束器的结构示意图一;
[0028]图4为本发明的实施例提供的一种分束器的原理示意图一;
[0029]图5为本发明的实施例提供的第一激光束的结构示意图;
[0030]图6为本发明的实施例提供的一种分束器的原理示意图二 ;
[0031]图7为本发明的实施例提供的一种激光发生器的结构示意图。
【具体实施方式】
[0032]以下描述中,为了说明而不是为了限定,提出了诸如特定系统结构、接口、技术之类的具体细节,以便透彻理解本发明。然而,本领域的技术人员应当清楚,在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本发明。在其它情况中,省略对众所周知的装置、电路以及方法的详细说明,以免不必要的细节妨碍本发明的描述。
[0033]另外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
[0034]本发明的实施例提供一种分束器100,如图3所示,该分束器100包括透过区域和反射区域11,具体的,该透过区域为通孔12,该反射区域11设置于该通孔12的外围。
[0035]具体的,如图4所示,该透过区域,用于透射接收到的第一激光束101,形成第二激光束102 ;该反射区域11,用于反射接收到的第一激光束101,使其形成第三激光束103。
[0036]这样一来,在第一激光束101中,经过分束器100的通孔12的激光直接可以透射过分束器100,形成第二激光束102,无需像现有技术中,需要经过高透过率镜片透射激光管生成的激光束,因此,可以避免经过高透过率镜片后对激光束能量带来的衰减,以及由于高透过率镜片受到污染而导致透射后的形成的激光束的均一性变差的问题,而透射过分束器100的第二激光束102经过后续一系列光学变换后可作为线性光源,对非晶硅进行退火扫描工艺,由于第二激光束102的均一性较好,因此可提高后续退火扫描工艺中的工艺效果O
[0037]同时,由于设置在通孔12外围的反射区域11可反射一部分第一激光束101,使其形成第三激光束103,以保证后续激光发生器将第三激光束103作为反馈量生成反馈控制信号,以便操作人员根据反馈控制信号及时调整激光发生器内发出的第一激光束101的能量。
[0038]具体的,如图5所示,激光发生器内激光管生成的第一激光束101具体包括能量集中的第一区域21和能量发散的第二区域22,通常,位于第一激光束101中心位置的激光能量较为集中,激光的均一性较好,位于第一激光束101四周位置的激光能量逐渐发散。
[0039]因此,为了提高第二激光束102的均一性,如图6所示,可以设置该通孔12沿第一激光束101的方向的投影,位于该第一区域21沿第一激光束101的方向的投影内。这样,从通孔12透射出的第二激光束102的均一性较好。
[0040]进一步地,为了最大程度的获取均一性较好的第二激光束102,仍如图6所示,可以设置该通孔12沿第一激光束101的方向的投影,与该第一区域21沿第一激光束101的方向的投影完全重叠。
[0041]进一步地,激光发生器内激光管生成的第一激光束101的截面通常为矩形,例如,该第一激光束101的截面大小为12mm*36mm。因此,该通孔12可以设置为矩形,同时,该矩形通孔12沿第一激光束101的方向的投影,与该第一区域21沿第一激光束101的方向的投影完全重叠。
[0042]这样一来,从该矩形通孔12透射出的第二激光束102为第一激光束101中能量较为集中且能量最大化的激光,因此,透射出的第二激光束102的均一性较好,能量较高。
[0043]并且,由于第一激光束101可以直接透过该矩形通孔12,不需经过可能受到污染的高透过率镜片,因此,形成的第二激光束102不会受到污染,避免了由于经过高透过率镜片而导致形成的第二激光束102的衰减量增加,以及均一性变差等问题。
[0044]另外,设置在该通孔12外围的反射区域11可以具体可以为高反射镜片。
[0045]其中,该高反射镜片具体可以包括反射基板,以及覆盖于反射基板上的反射膜,该反射膜可以增加高反射镜片的反射率,进而减小形成第三激光束103时的衰减量。
[0046]进一步地,本发明的实施例提供一种激光发生器200,包括上述任一种分束器100。
[0047]示例性的,如图7所示,该激光发生器200具体可以包括:激光管31、分束器100、反射片32以及能量监测单元33。
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