一种大尺寸靶材机械加工装置的制造方法

文档序号:10045147阅读:356来源:国知局
一种大尺寸靶材机械加工装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于靶材机械加工装置技术领域,特别涉及一种大尺寸靶材机械加工
目.ο
【背景技术】
[0002]目前大尺寸靶材在平板显示、太阳能领域应用广泛。以TFT为代表的大尺寸靶材多采用高纯材料,该类材料特点为材料硬度低、厚度薄,形状尺寸变化大,加工后零件表面不允许存在任何磕碰划伤;加工中零件的装夹面小,造成装夹不牢固等问题。如图1所示的一种现有的靶材加工方式,加工时需要对零件上下面和外形进行加工,故将加工步骤分为两道工序:首序:铣一侧平面;需要人工找平垫铁,因为有多块垫铁,所以必须以首块垫铁为基准,找正其他垫铁与基准垫铁平齐。二序:翻转零件,铣另一侧平面和外形,铣削前需要再次找正零件加工基准。应用中受人为因素影响较大。为解决上述问题,急需设计一套工装,可以灵活的适应不同零件的装夹,同时工装能够提供足够的夹紧力防止另加在加工中发生移动。
【实用新型内容】
[0003]针对现有技术不足,本实用新型提供了一种大尺寸靶材机械加工装置。
[0004]—种大尺寸靶材机械加工装置,该加工装置中的一体式真空吸盘1、定位块2、夹紧块3安装在底座4上,其中,底座4内部为中空结构,两端设有开口,其顶部设有一体式真空吸盘1,且一体式真空吸盘1上表面与底座4上表面持平;定位块2上设有定位稍2-1,2至多个定位块2固定在底座4内部,使定位稍2-1分别靠近一体式真空吸盘1的一长边和一短边,且同一方向上的多个定位稍2-1对齐在同一条直线上,启动时,定位稍2-1上升伸出底座4表面,关闭时,定位稍2-1下降沉于底座4表面以下;夹紧块3上设有夹紧稍3-1,夹紧稍3-1的顶部为平面结构,且夹紧稍3-1能够前进夹紧工件5,也能够后退松开工件5,1至多个夹紧块3固定在底座4顶部,靠近一体式真空吸盘1的另一长边,且多个夹紧块3对齐在同一条直线上;
[0005]该加工装置配置三套辅助气动装置,气动装置与加工装置之间采用气管连接,其中气动装置一控制定位稍2-1的上升和下降,气动装置二控制夹紧稍3-1的前进和后退,气动装置三控制一体式真空吸盘1的启动和关闭。
[0006]优选的,底座4上设有两组夹紧块3的安装孔位,第二组安装孔位相对于第一组安装孔位向后错开。加工宽度较小的工件5时,将1至多个夹紧块3安装在前面一组安装孔位上;加工宽度较大的工件5时,将1至多个夹紧块3安装在后面一组安装孔位上。
[0007]一体式真空吸盘1包括但不限于2000mmX 180mm和2300mmX 200mm两种型号。
[0008]优选的,一体式真空吸盘1上设有柔性装置。柔性装置可以是但不限于软橡胶0型密封圈。
[0009]与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:
[0010]本实用新型所提供的一种大尺寸靶材机械加工装置增加了一体式真空吸盘,一体式真空吸盘上的柔性装置有效降低了靶材工件加工过程中的磕碰划伤,获得了更好的零件表面质量。对一体式真空吸盘进行了合理选型以及夹紧块前后位置的调整可以实现不同长度和宽度工件的加工。对定位块、夹紧块进行了合理布局及设计,保证工件在加工中定位准确可靠且不发生干涉。该大尺寸靶材机械加工装置结构简单,可加工不同长度和宽度的靶材工件,根据所需加工的工件尺寸快速定位并夹紧在加工装置上,多道工序可在同一加工装置上完成,减少了专用加工装置数量,降低了加工成本。
【附图说明】
[0011 ] 图1为一种现有靶材机械加工方式示意图;
[0012]图2为本实用新型一种大尺寸靶材机械加工装置示意图;
[0013]图3为本实用新型一种大尺寸靶材机械加工装置沿A-A线的剖面图;
[0014]图4为本实用新型一种大尺寸靶材机械加工装置的底座示意图;
[0015]图5为本实用新型一种大尺寸靶材机械加工装置的夹紧块示意图;
[0016]图6为本实用新型一种大尺寸靶材机械加工装置的定位块示意图;
[0017]图7为实施例1 一种大尺寸靶材机械加工装置靶材加工示意图;
[0018]图8为实施例2 —种大尺寸靶材机械加工装置靶材加工示意图。
[0019]标号说明:1_ 一体式真空吸盘;2_定位块;2-1-定位稍;3_夹紧块;3-1_夹紧稍;4-底座;5_工件。
【具体实施方式】
[0020]下面的实施例可以使本专业技术人员更全面的理解本实用新型,但不以任何方式限制本实用新型。
[0021]如图1所示,本实用新型一种大尺寸靶材机械加工装置包括底座4、定位块2、夹紧块3和一体式真空吸盘1,以及气动装置。如图4所示,底座4上设有两组夹紧块3的安装孔位,第二组安装孔位相对于第一组安装孔位向后错开20mm。通过计算获得工件5在加工时切向力F为119N,真空度P为0.95Kg,一体式真空吸盘1面积S最小为2000mmX 180mm = 3600cm2。通过吸力W计算公式W = 10.13.P.S/101得出吸力最小值ffnin= 10.13X0.95X3600/101 = 343.0N,安全系数最小值 K _= W_/F = 343.0/119 =
2.88,满足安全系数>2.5的要求。可见,该加工装置安全可靠。
[0022]该大尺寸靶材机械加工装置配置三套辅助气动装置,气动装置与大尺寸靶材机械加工装置之间采用气管连接,其中气动装置一用于控制定位稍2-1的上升和下降,气动装置二控制夹紧稍3-1的前进和后退,气动装置三控制一体式真空吸盘1的启动和关闭。
[0023]通过调整夹紧块3的前后位置以及选择不同尺寸的一体式真空吸盘1,该加工装置可用于不同尺寸和形状的靶材工件5装夹,并在同一加工装置上实现多工序加工。因加工时需要对工件5上下面和外形进行加工,故将加工步骤分为两道工序:首序,铣一侧平面;二序,翻转零件,铣另一侧平面和外形。具体如下:
[0024]首序:粗铣上平面
[0025]开启气动装置一,定位稍2-1升起后,将工件5吊运至加工装置上靠近定位稍2-1。启动气动装置二,夹紧稍3-1将工件5夹紧后(如图7所示),开始铣削平面。也可以启动底座4上的一体式真空吸盘1,增加夹紧力。
[0026]二序:精铣下平面以及侧边
[0027]如图8所示,工件5安装步骤同首序,工件5夹紧后开启一体式真空吸盘1将工件5牢固的吸附在加工装置上,然后关闭气动装置一,使定位稍2-1下沉,高度低于底座4表面,同时关闭气动装置二,使夹紧稍3-1后退留出空隙保证刀具安全通过。
[0028]实施例1 2300_X 190mm、2300_X 210mm革巴材薄板加工
[0029]加工2300mmX 190mm靶材薄板时,夹紧块3安装在前面一组安装孔位上,选择尺寸为2000mmX 180mm的一体式真空吸盘1,只需要靶材薄板靠紧各定位稍2_1后用夹紧稍3_1夹紧即可进行首序加工,铣下平面和四个侧边时,只需翻转靶材薄板,定位稍2-1定位,夹紧稍3-1夹紧后,开启一体式真空吸盘1,将靶材薄板吸紧后,关闭气动装置一使定位稍2-1沉于底座4表面之下,同时关闭气动装置二,使夹紧稍3-1后退留出空隙保证刀具安全通过即可进行二序的加工。加工的切向力F为119N,真空度P为0.95Kg。通过吸力W计算公式W = 343.0N,安全系数K = W/F = 2.88,满足安全系数>2.5。
[0030]加工2300mmX 210mm靶材薄板时,只需将夹紧块3安装在后面的一组安装孔位上,选择尺寸为2300mmX 200mm的一体式真空吸盘1,其余步骤与2300mmX 190mm革E材薄板加工方式相同。加工的切向力F为119N,真空度P为0.95Kgo通过吸力W计算公式W = 438.3N,安全系数K = W/F = 3.68,满足安全系数>2.5。
【主权项】
1.一种大尺寸靶材机械加工装置,其特征在于,该加工装置中的一体式真空吸盘(1)、定位块(2)、夹紧块(3)安装在底座(4)上,其中,所述底座(4)内部为中空结构,两端设有开口,其顶部设有一体式真空吸盘(1),且一体式真空吸盘(1)上表面与底座(4)上表面持平;所述定位块(2)上设有定位稍(2-1),2至多个定位块(2)固定在底座(4)内部,使定位稍(2-1)分别靠近一体式真空吸盘(1)的一长边和一短边,且同一方向上的多个定位稍(2-1)对齐在同一条直线上,启动时,定位稍(2-1)上升伸出底座(4)表面,关闭时,定位稍(2-1)下降沉于底座⑷表面以下;所述夹紧块(3)上设有夹紧稍(3-1),夹紧稍(3-1)的顶部为平面结构,且夹紧稍(3-1)能够前进夹紧工件(5),也能够后退松开工件(5),1至多个夹紧块(3)固定在底座(4)顶部,靠近一体式真空吸盘(1)的另一长边,且多个夹紧块(3)对齐在同一条直线上; 该加工装置配置三套辅助气动装置,气动装置与加工装置之间采用气管连接,其中气动装置一控制定位稍(2-1)的上升和下降,气动装置二控制夹紧稍(3-1)的前进和后退,气动装置三控制一体式真空吸盘(1)的启动和关闭。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸靶材机械加工装置,其特征在于,所述底座(4)上设有两组夹紧块(3)的安装孔位,第二组安装孔位相对于第一组安装孔位向后错开。3.根据权利要求1所述的一种大尺寸靶材机械加工装置,其特征在于,所述一体式真空吸盘(1)包括2000mmXI80mm和2300mmX 200mm两种型号。4.根据权利要求1所述的一种大尺寸靶材机械加工装置,其特征在于,所述一体式真空吸盘(1)上设有柔性装置。5.根据权利要求4所述的一种大尺寸靶材机械加工装置,其特征在于,所述柔性装置为软橡胶0型密封圈。
【专利摘要】本实用新型涉及一种大尺寸靶材机械加工装置。该加工装置中的一体式真空吸盘(1)、定位块(2)、夹紧块(3)安装在底座(4)上。首序加工:开启气动装置一,定位稍(2-1)升起后,将工件吊运至加工装置上靠近定位稍(2-1),启动气动装置二,夹紧稍(3-1)将工件夹紧后,开始铣削平面;二序加工:工件安装步骤同首序,工件夹紧后开启一体式真空吸盘(1)将工件牢固的吸附在加工装置上,然后关闭气动装置一使定位稍(2-1)下沉于底座4表面以下,同时关闭气动装置二使夹紧稍(3-1)后退留出空隙保证刀具安全通过,精铣下平面以及侧边。该加工装置可以实现不同长度和宽度工件的多道加工工序在同一加工装置上完成。
【IPC分类】B23Q3/08
【公开号】CN204954431
【申请号】CN201520706899
【发明人】刘志杰, 王兴权, 万小勇, 徐学礼, 于海洋, 罗俊锋, 高岩, 曾浩
【申请人】有研亿金新材料有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年9月11日
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