X轴方向的精密位移平台的制作方法

文档序号:10866695阅读:510来源:国知局
X轴方向的精密位移平台的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种X轴方向的精密位移平台,包括上盖、下盖、滚珠组件、挡片和紧固螺丝组件;滚珠组件包括滚珠和保持架,滚珠均匀间隔容置在保持架上,上盖与下盖组合后,围合有圆柱形空腔,滚珠组件容置在圆柱形空腔内,且上盖在滚珠组件的作用下相对下盖运动,下盖上还设置有测微头支架,测微头固定在测微头支架上。本实用新型通过保持架内的滚珠在光滑的圆柱形空腔内滚动来实现平台的X方向直线位移;且在下盖上安装测微头来实现精密位移距离,使精确度更高,本实用新型的紧固螺丝组件起到锁紧装置的作用,实现上盖与下盖间的具体定位,设计简单且巧妙。
【专利说明】
X轴方向的精密位移平台
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种平面位移的工作台,尤其涉及一种X轴方向的精密位移平台。
【背景技术】
[0002]随着电子信息、生物工程、纳米技术等相关高端领域的发展,精密加工与测量技术的重要性日益凸显,而精密加工与测量技术又依赖于精密加工与精密测量设备,精密加工与精密测量设备的性能直接影响加工与测量的质量,高精度,高分辨率,大行程,高响应速度在精密测量仪器中至关重要。精密工作台是精密测量、精密加工、微型装配、半导体光刻和纳米技术的基础。随着科学技术的发展,在一些精密系统中需要更加灵活并可以多方向工作的精密工作台,以实现多功能化。
【实用新型内容】
[0003]针对上述技术中存在的不足之处,本实用新型提供一种X轴方向的精密位移平台,精度高,摩擦力小。
[0004]为实现上述目的,本实用新型提供一种X轴方向的精密位移平台,包括上盖、下盖、滚珠组件、挡片和紧固螺丝组件;所述滚珠组件包括滚珠和保持架,所述滚珠均匀间隔容置在保持架上,上盖与下盖组合后,围合有圆柱形空腔,所述滚珠组件容置在圆柱形空腔内,且上盖在滚珠组件的作用下相对下盖运动,所述下盖上还设置有测微头支架,所述测微头固定在测微头支架上。
[0005]其中,所述滚珠组件具有两对,分别为第一滚珠组件和第二滚珠组件,所述上盖与下盖组合后,其左右两边分别围合有第一圆柱形空腔和第二圆柱形空腔,第一滚珠组件容置在第一圆柱形空腔内,第二滚珠组件容置在第二圆柱形空腔内。
[0006]其中,所述下盖的一侧边上设置有L支架,所述测微头支架固定在L支架上,并向外凸出。
[0007]其中,所述上盖的侧边上设有第一螺丝孔位,所述下盖的侧边设有第二螺丝孔位,且所述第一螺丝孔位与第二螺丝孔位位于同一侧,均为与L支架相对的一面。
[0008]其中,所述紧固螺丝组件包括紧固螺丝和紧固螺丝垫片,所述挡片上设有第三螺丝孔位和椭圆形通孔,第三螺丝孔位和椭圆形通孔均与第一螺丝孔位和第二螺丝孔位适配,紧固螺丝与紧固螺丝垫片通过第三螺丝孔位或椭圆形通孔以及第一螺丝孔位或第二螺丝孔位,将上盖与下盖固定。
[0009]其中,所述滚珠为耐磨的钢性材料。
[0010]本实用新型的有益效果是:与现有技术相比,本实用新型提供的X轴方向的精密位移平台通过保持架内的滚珠在光滑的圆柱形空腔内滚动来实现平台的X方向直线位移;且在下盖上安装测微头来实现精密位移距离,使精确度更高,本实用新型的紧固螺丝组件起到锁紧装置的作用,实现上盖与下盖间的具体定位,设计简单且巧妙。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的X轴方向的精密位移平台的爆炸图;
[0012]图2为本实用新型的X轴方向的精密位移平台的组合状态参考图。
[0013]主要原件符号说明如下:
[0014]1、上盖2、下盖
[0015]3、滚珠组件4、挡片
[0016]5、紧固螺丝组件11、圆柱形空腔
[0017]13、第一螺丝孔位21、测微头支架
[0018]22、测微头支架23、第二螺丝孔位
[0019]31、第一滚珠组件32、第二滚珠组件
[0020]41、第三螺丝孔位42、椭圆形通孔
[0021]51、紧固螺丝52、紧固螺丝垫片
[0022]111、第一圆柱形空腔112、第二圆柱形空腔
[0023]311、滚珠312、保持架。
【具体实施方式】
[0024]为了更清楚地表述本实用新型,下面结合附图对本实用新型作进一步地描述。
[0025]请参阅图1-图2,本实用新型的本实用新型提供一种X轴方向的精密位移平台,包括上盖1、下盖2、滚珠组件3、挡片4和紧固螺丝组件5;滚珠组件3包括滚珠311(321)和保持架312(322 ),滚珠311 (321)为耐磨的钢性材料,滚珠311 (321)均匀间隔容置在保持架312(322)上,上盖I与下盖2组合后,围合有圆柱形空腔11,滚珠组件3容置在圆柱形空腔11内,且上盖I在滚珠组件3的作用下相对下盖2运动,下盖2上还设置有测微头支架21,测微头(图未示)固定在测微头支架21上。
[0026]与现有技术相比,本实用新型提供的X轴方向的精密位移平台通过保持架内的滚珠在光滑的圆柱形空腔内滚动来实现平台的X方向直线位移;且在下盖上安装测微头来实现精密位移距离,使精确度更高,本实用新型的紧固螺丝组件起到锁紧装置的作用,实现上盖与下盖间的具体定位,设计简单且巧妙。
[0027]在本实施例中,滚珠组件3具有两对,分别为第一滚珠组件31和第二滚珠组件32,上盖I与下盖2组合后,其左右两边分别围合有第一圆柱形空腔11和第二圆柱形空腔12,第一滚珠组件31容置在第一圆柱形空腔111内,第二滚珠组件32容置在第二圆柱形空腔112内。第一滚珠组件31和第二滚珠组件32分别在第一圆柱形空腔111和第二圆柱形空腔112内滑动,左右对称,使上盖I相对下盖2运动时更平衡,且第一圆柱形空腔111和第二圆柱形空腔112均为光滑空腔导轨,滚珠311 (321)为钢性材料,耐磨性强,且摩擦力小,使用寿命久。在本实施例中,上盖I与下盖2围合成的第一圆柱形空腔111和第二圆柱形空腔112结构的加工误差与组装误差极少,能够很好地实现高精度,平滑的移动。
[0028]在本实施例中,下盖2的一侧边上设置有L支架21,测微头支架22固定在L支架21上,并向外凸出,以方便测微头安装和拆卸,测微头可以实现对精密位移距离的测量,且这样的结构,方便更换不同精度的测微头,以满足不同工作精度的要求。
[0029]在本实施例中,上盖I的侧边上设有第一螺丝孔位13,下盖2的侧边设有第二螺丝孔位23,且第一螺丝孔位13与第二螺丝孔位23位于同一侧,均为与L支架21相对的一面。紧固螺丝组件5包括紧固螺丝51和紧固螺丝垫片52,挡片4上设有第三螺丝孔位41和椭圆形通孔42,第三螺丝孔位41和椭圆形通孔42均与第一螺丝孔位13和第二螺丝孔位23适配,紧固螺丝51与紧固螺丝垫片52通过第三螺丝孔位41或椭圆形通孔42以及第一螺丝孔13位或第二螺丝孔位21,将上盖I与下盖2固定,在本实施例中,第一螺丝空位13与第二螺丝孔位21,以及第三螺丝孔位41的大小都是一样的,故挡片4上的第三螺丝孔位41可以任意与第一螺丝孔位13或第二螺丝孔位23适配,并通过紧固螺丝组件5固定,而椭圆形通孔42的宽度也与第一螺丝孔位13或第二螺丝孔位23适配,这使紧固螺丝组件5组成的锁紧装置更为灵活。
[0030]本实用新型的工作原理为:
[0031]滚珠311(321)容置在保持架312(322)中组成滚珠组件31,且滚珠311(321)能够灵活地在保持架312 (322)中旋转,整个滚珠组件31在圆柱形空腔11中平滑地运转,实现X轴方向的直线位移,同时通过紧固螺栓组件5和挡片4与第一螺丝孔位13或第二螺丝孔位23对应孔位的固定方式进行锁紧固定。同时,在测微头支架上安装测微头,实现精密位移距离的测量,同时上盖与下盖组成的圆柱形空腔光滑的结构方式的加工误差与组装误差极少,可实现高精度,平滑的移动。
[0032]本实用新型的优势在于:
[0033]1、通过保持架内的滚珠在圆柱形空腔组成的光滑导轨内滚动来实现平台的X方向直线位移;
[0034]2、通过安装测微头来实现精密位移距离;
[0035]3、通过紧固螺丝组件组成及其相关螺丝孔位组成的锁紧装置来实现上盖与下盖的具体定位,操作简单方便,快捷;
[0036]4、上盖与下盖组成的圆柱形空腔光滑的结构方式的加工误差与组装误差极少,可实现高精度,平滑的移动。
[0037]以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施例,但是本实用新型并非局限于此,任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种X轴方向的精密位移平台,其特征在于,包括上盖、下盖、滚珠组件、挡片和紧固螺丝组件;所述滚珠组件包括滚珠和保持架,所述滚珠均匀间隔容置在保持架上,上盖与下盖组合后,围合有圆柱形空腔,所述滚珠组件容置在圆柱形空腔内,且上盖在滚珠组件的作用下相对下盖运动,所述下盖上还设置有测微头支架,所述测微头固定在测微头支架上。2.根据权利要求1所述的X轴方向的精密位移平台,其特征在于,所述滚珠组件具有两对,分别为第一滚珠组件和第二滚珠组件,所述上盖与下盖组合后,其左右两边分别围合有第一圆柱形空腔和第二圆柱形空腔,第一滚珠组件容置在第一圆柱形空腔内,第二滚珠组件容置在第二圆柱形空腔内。3.根据权利要求1所述的X轴方向的精密位移平台,其特征在于,所述下盖的一侧边上设置有L支架,所述测微头支架固定在L支架上,并向外凸出。4.根据权利要求3所述的X轴方向的精密位移平台,其特征在于,所述上盖的侧边上设有第一螺丝孔位,所述下盖的侧边设有第二螺丝孔位,且所述第一螺丝孔位与第二螺丝孔位位于同一侧,均为与L支架相对的一面。5.根据权利要求4所述的X轴方向的精密位移平台,其特征在于,所述紧固螺丝组件包括紧固螺丝和紧固螺丝垫片,所述挡片上设有第三螺丝孔位和椭圆形通孔,第三螺丝孔位和椭圆形通孔均与第一螺丝孔位和第二螺丝孔位适配,紧固螺丝与紧固螺丝垫片通过第三螺丝孔位或椭圆形通孔以及第一螺丝孔位或第二螺丝孔位,将上盖与下盖固定。6.根据权利要求1所述的X轴方向的精密位移平台,其特征在于,所述滚珠为耐磨的钢性材料。
【文档编号】B23Q1/25GK205552003SQ201620126014
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年2月18日
【发明人】虞儒杨
【申请人】深圳市伙伴气动精密机械有限公司
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