一种激光刻蚀机的制作方法

文档序号:10926763阅读:510来源:国知局
一种激光刻蚀机的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种激光刻蚀机,包括工作平台,其特征在于:所述工作平台上设有直线运动模组及设置于直线运动模组一侧的激光发射器,所述激光发射器的激光束发射端朝向所述直线运动模组设置;所述激光发射器与所述直线运动模组之间还设有一支架,所述支架一端安装于所述激光发射器的底部,另一端设置于所述直线运动模组的正上方,所述支架上依次设有第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、可调光阑及扫描振镜,所述第一反射镜靠近所述激光发射器的激光束发射端设置,所述扫描振镜设置于所述支架的端部,并设置于所述直线运动模组的上方,且所述扫描振镜的底部还设有扫描透镜。本实用新型提高了产品打孔的垂直度以及打孔精度。
【专利说明】
一种激光刻蚀机
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种打孔装置,尤其涉及一种激光刻蚀机。
【背景技术】
[0002]在现有技术中,有些产品上需要打出高精度的垂直小孔,如果利用机械打孔,容易产生毛刺、打孔不垂直、打孔效率低以及打孔尺寸不合格等问题。因此,如何解决上述技术问题,是本领域技术人员需要努力的方向。

【发明内容】

[0003]本实用新型目的是提供一种激光刻蚀机,通过使用该结构,提高了打孔效率及打孔质量。
[0004]为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种激光刻蚀机,包括工作平台,所述工作平台上设有直线运动模组及设置于直线运动模组一侧的激光发射器,所述激光发射器的激光束发射端朝向所述直线运动模组设置;所述激光发射器与所述直线运动模组之间还设有一支架,所述支架一端安装于所述激光发射器的底部,另一端设置于所述直线运动模组的正上方,所述支架上依次设有第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、可调光阑及扫描振镜,所述第一反射镜靠近所述激光发射器的激光束发射端设置,所述扫描振镜设置于所述支架的端部,并设置于所述直线运动模组的上方,且所述扫描振镜的底部还设有扫描透镜。
[0005]上述技术方案中,所述第一反射镜、扩束镜、可调光阑及扫描振镜设置于同一直线上,构成第一送光束线,所述第二反射镜设置于所述扩束镜的旁侧,且所述第二反射镜与所述激光束发射端设置于同一直线上,构成第二送光束线,所述第一送光束线与第二送光束线相互平行设置。
[0006]上述技术方案中,所述第一反射镜与第二反射镜的反射镜面相互平行设置,所述第一反射镜的反射镜面与所述第一送光束线呈45°夹角,所述第二反射镜的反射镜面与所述第二送光束线呈45度夹角。
[0007]上述技术方案中,所述直线运动模组包括X轴运动模组及Y轴运动模组,所述X轴运动模组与Y轴运动模组相互垂直设置,所述X轴运动模组安装于所述工作平台上,所述Y轴运动模组滑动安装于所述X轴运动模组上,且所述第一送光束线及第二送光束线垂直于所述X轴运动模组设置。
[0008]由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
[0009]1.本实用新型中激光发射器发射出的光束经第二反射镜反射于第一反射镜上,由第二反射镜将光束反射于扩束镜内,经扩束镜拓展光束的直径,减小光束的发散角,然后利用可调光阑调节光束的强弱,使其进入扫描振镜内,利用扫描振镜及扫描透镜将光束射出,用于在产品上打出垂直的孔,打孔效率高、质量好,且精度高;
[0010]2.本实用新型结构简单,易于实现。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型实施例一中的结构示意图;
[0012]图2是图1的立体结构示意图。
[0013]其中:1、工作平台;2、直线运动模组;3、激光发射器;4、激光束发射端;5、支架;6、第一反射镜;7、第二反射镜;8、扩束镜;9、可调光阑;10、扫描振镜;11、第一送光束线;12、第二送光束线;13、扫描透镜;14、X轴运动模组;15、Y轴运动模组。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0015]实施例一:参见图1、2所示,一种激光刻蚀机,包括工作平台I,所述工作平台I上设有直线运动模组2及设置于直线运动模组2—侧的激光发射器3,所述激光发射器3的激光束发射端4朝向所述直线运动模组2设置;所述激光发射器3与所述直线运动模组2之间还设有一支架5,所述支架5—端安装于所述激光发射器3的底部,另一端设置于所述直线运动模组2的正上方,所述支架5上依次设有第一反射镜6、第二反射镜7、扩束镜8、可调光阑9及扫描振镜10,所述第一反射镜6靠近所述激光发射器3的激光束发射端4设置,所述扫描振镜10设置于所述支架5的端部,并设置于所述直线运动模组2的上方,且所述扫描振镜10的底部还设有扫描透镜13。
[0016]参见图1、2所述,所述第一反射镜6、扩束镜8、可调光阑9及扫描振镜10设置于同一直线上,构成第一送光束线11,所述第二反射镜7设置于所述扩束镜8的旁侧,且所述第二反射镜7与所述激光束发射端4设置于同一直线上,构成第二送光束线12,所述第一送光束线11与第二送光束线12相互平行设置。
[0017]所述第一反射镜6与第二反射镜7的反射镜面相互平行设置,所述第一反射镜6的反射镜面与所述第一送光束线11呈45°夹角,所述第二反射镜7的反射镜面与所述第二送光束线12呈45度夹角。
[0018]在本实施例中,激光发射器3发射出的光束从的激光束发射端4射出,经第二送光束线12路径射于第二反射镜7上,由第二反射镜7反射于第一反射镜6上,再由第一反射镜6将光束反射出,经第一送光束线11射于扩束镜8上,由扩束镜8拓展光束的直径,减小光束的发散角,然后利用可调光阑9调节光束的强弱,使其进入扫描振镜10内,利用扫描振镜10及扫描透镜13将光束射出,用于在产品上打出垂直的孔,打孔效率高、质量好,且精度高。
[0019]参见图1、2所示,所述直线运动模2组包括X轴运动模组14及Y轴运动模组15,所述X轴运动模组14与Y轴运动模组15相互垂直设置,所述X轴运动模组14安装于所述工作平台I上,所述Y轴运动模组15滑动安装于所述X轴运动模组14上,且所述第一送光束线11及第二送光束线12垂直于所述X轴运动模组14设置。本实用新型中,将产品放置于Y轴运动模组15上,利用X轴运动模组14及Y轴运动模组15的运动,用于移动产品,调整产品与扫描振镜10的相对位置,用于给产品打孔。
【主权项】
1.一种激光刻蚀机,包括工作平台,其特征在于:所述工作平台上设有直线运动模组及设置于直线运动模组一侧的激光发射器,所述激光发射器的激光束发射端朝向所述直线运动模组设置;所述激光发射器与所述直线运动模组之间还设有一支架,所述支架一端安装于所述激光发射器的底部,另一端设置于所述直线运动模组的正上方,所述支架上依次设有第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、可调光阑及扫描振镜,所述第一反射镜靠近所述激光发射器的激光束发射端设置,所述扫描振镜设置于所述支架的端部,并设置于所述直线运动模组的上方,且所述扫描振镜的底部还设有扫描透镜。2.根据权利要求1所述的激光刻蚀机,其特征在于:所述第一反射镜、扩束镜、可调光阑及扫描振镜设置于同一直线上,构成第一送光束线,所述第二反射镜设置于所述扩束镜的旁侧,且所述第二反射镜与所述激光束发射端设置于同一直线上,构成第二送光束线,所述第一送光束线与第二送光束线相互平行设置。3.根据权利要求2所述的激光刻蚀机,其特征在于:所述第一反射镜与第二反射镜的反射镜面相互平行设置,所述第一反射镜的反射镜面与所述第一送光束线呈45°夹角,所述第二反射镜的反射镜面与所述第二送光束线呈45度夹角。4.根据权利要求2所述的激光刻蚀机,其特征在于:所述直线运动模组包括X轴运动模组及Y轴运动模组,所述X轴运动模组与Y轴运动模组相互垂直设置,所述X轴运动模组安装于所述工作平台上,所述Y轴运动模组滑动安装于所述X轴运动模组上,且所述第一送光束线及第二送光束线垂直于所述X轴运动模组设置。
【文档编号】B23K26/064GK205614207SQ201620446727
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年5月17日
【发明人】刘杰
【申请人】苏州隆士丹自动化技术有限公司
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