专利名称：高精度自动翻转移动对准机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种高精度自动翻转移动对准机构，是对现有高真空镀膜设备中声光器件键合装置的进一步改进。
中国专利号00244712.6公开了一种铟压焊工艺需要的高精度键合装置。但该键合装置因其结构的限制，镀膜时需用的电极只能置放在声光互作用介质与压电换能片之间，因此声光互作用介质与压电换能片上的膜层不均匀，影响声光器件的性能和质量。
本实用新型的技术解决方案是高精度自动翻转移动对准机构，直流电机通过套筒与螺杆一端连接，螺杆的另一端连接弹簧座的顶板，弹簧固定于顶板与工作板之间，工作板上安装压头，压头上固定声光互作用介质，弹簧座的外径表面与精密导轨精密配合，并沿轴向上下滑动，精密导轨通过支架竖向固定在底座上，其特点在于另一精密导轨横向安装在底座上，承载机构与精密导轨精密配合，并沿轴向左右滑动，承载机构上固定压电换能片，直流电机通过螺杆连接承载机构的一端，承载机构的另一端还接有一带动其翻转回到原位的直流电机。
本实用新型的工作原理是采用直流电机驱动的承载机构实现压电换能片的自动移动和翻转，使压电换能片与压头上的声光互作用介质在镀膜时能够同时朝下，位于同一水平面上，彼此平行，得到完全相同的蒸发条件，所镀膜层均匀一致，从而克服了现有技术中压电换能片与声光互作用介质由于分别位于上方和下方而导致所镀膜层不均匀的缺陷，并且当镀膜完成后，压电换能片随承载板自动翻转180°而向上，并随承载机构自动沿底座上的精密导轨移动到压头下，自动对准声光互作用介质，通过逐渐加压，完成压电换能片与声光互作用介质的压合。
本实用新型与现有技术相比具有的优点是能够自动对准声光互作用介质，通过逐渐加压，完成压电换能片与声光互作用介质的压合，因此该自动翻转移动对准机构提高了工作效率；此外，本实用新型具有高精度的精密导轨和螺杆，能够保证压电换能片无论在镀膜和压合时都能与声光互作用介质的平行度被控制在1.2μm内，因此压焊牢、粘接均匀，从而保证了所制作的声光器件具有高性能、高质量。
如图2、图3所示，镀完膜后，压头8及声光互作用介质9上升，承载机构15沿精密导轨14滑动到左端，承载机构15由与其连接的另一直流电机19带动翻转回到原位，其上固定的压电换能片16翻转向上，与压头8上的声光互作用介质9相对平行，位于同一中心轴线，上下对准；此时，直流电机2带动弹簧座4下降，通过弹簧6对压头8逐渐加压，对声光互作用介质9与压电换能片16进行键合，直到压头8达到键合所需压力，直流电机2停止转动，整个键合工艺过程完成。
如图4所示，直流电机2、17、19的直流电机驱动器控制原理是相同的，分别由三套独立电路控制。直流电机2按下正转按扭，带动安装套筒1正向转动，使螺杆3、弹簧座4、压头8上升，直到套筒1碰到行程开关，电机2停止正向转动；按下反转按扭，电机2带动安装套筒1反向转动，使螺杆3、弹簧座4压头8下降，直到压头8碰到行程开关，压头8上固定的声光介质9与承载机构15上的压电换能片16位于同一水平面，电机2停止反向转动。直流电机17按下正转按钮，通过螺杆18正向转动，带动承载机构15沿精密导轨14向右滑动，直到螺杆18碰到行程开关，电机17停止正向转动；按下反转按扭，电机17通过螺杆18反向转动，带动承载机构15沿精密导轨14向左滑动，直到螺杆18碰到行程开关，承载机构15顶端的扇型齿轮与电机19带动的扇型齿轮啮合，电机17停止反向转动。直流电机19按下正转按钮，通过扇型齿轮带动承载机构15正向转动，直到承载机构15碰到行程开关，承载机构15上固定的压电换能片16处于向下位置，电机19停止正向转动；按下反转按钮，电机19通过扇型齿轮带动承载机构15反向转动，直到承载机构15碰到行程开关，承载机构15上固定的压电换能片16处于向上位置与声光互作用介质对准，电机19停止反向转动。
权利要求1.高精度自动翻转移动对准机构，直流电机(2)通过套筒(1)与螺杆(3)一端连接，螺杆(3)的另一端连接弹簧座(4)的顶板(5)，弹簧(6)固定于顶板(5)与工作板(7)之间，工作板(7)上安装压头(8)，压头(8)上固定声光互作用介质(9)，弹簧座(4)的外径表面与精密导轨(10)精密配合，并沿轴向上下滑动，精密导轨(10)通过支架(11)和支架(12)竖向固定在底座(13)上，其特征在于底座13上及支架(11)和支架(12)之间横向安装另一精密导轨(14)，承载机构(15)与精密导轨(14)精密配合，并沿轴向左右滑动，承载机构(15)上固定压电换能片(16)，直流电机(17)通过螺杆(18)连接承载机构(15)的一端，承载机构(15)的另一端还接有一带动其翻转回到原位的直流电机(19)。
2.根据权利要求1所述的高精度自动翻转移动对准机构，其特征在于承载机构(15)采用承载板。
专利摘要高精度自动翻转移动对准机构，直流电机通过套筒与螺杆一端连接，螺杆的另一端连接弹簧座的顶板，弹簧固定于顶板与工作板之间，工作板上安装压头，其上固定声光互作用介质，弹簧座的外径表面与精密导轨精密配合，并沿轴向上下滑动，精密导轨通过支架固定在底座上，其特点在于另一精密导轨横向安装在底座上，承载机构与精密导轨精密配合，并沿轴向左右滑动，承载机构上固定压电换能片，直流电机通过螺杆连接承载机构的一端，承载机构的另一端还接有另一直流电机。本实用新型自动对准声光互作用介质，提高了工作效率；而且在镀膜和压合时都能与声光互作用介质的平行度控制在1.2μm内，因此压焊牢、粘接均匀，保证了所制作的声光器件具有高性能、高质量。
文档编号C23C14/24GK2586703SQ0228877
公开日2003年11月19日 申请日期2002年12月9日 优先权日2002年12月9日
发明者宗德蓉, 罗斌, 宫杰, 张远华 申请人:中国科学院光电技术研究所