专利名称：多功能卷绕镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及的是一种在柔性卷材的正、反两面连续进行真空表面处理的多功能卷绕镀膜机。
背景技术：
目前，国内在柔性卷材的正、反两面上，连续进行真空表面处理的卷绕镀膜机广泛应用于在有机泡沫上制备导电膜，使之充当电镀厚镍的阴极制备泡沫镍等多孔金属、或在纺织品类、无纺布、表面毡上制备有金属以制造金属化柔性卷材，用以作电磁屏蔽或防静电材料、或用于制备包装薄膜、电容薄膜和ITO薄膜等。现有设备虽然有的能对柔性卷材正、反两面同时进行镀膜，但设备存在有不能制备多种、多层薄膜、使用功能单一，且体积庞大等缺陷。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种多功能卷绕镀膜机，实现对柔性卷材正、反两表面连续进行多种、多层薄膜的真空镀膜处理。
本实用新型的目的是这样实现一种多功能卷绕镀膜机，其特征在于它是一种呈“拱形门”结构的真空箱体。在拱形箱体外面的下方留有暴露大气的“门洞”空间。拱形箱体内下部设置有收卷室和放卷室。在靠近收卷室、放卷室的外侧设置有镀膜室大门。拱形箱体内部为三个相互独立的真空镀膜室、并与收卷室、放卷室贯通。在镀膜室中轴线的位置设有辊轴传导系统和张力传感器，张力传感器设在辊轴的两端。在真空镀膜室上对称设置有一组或多组镀膜靶。镀膜靶为磁控溅射靶或电弧蒸发靶，镀膜靶的靶体形状为矩形或圆弧形。
本实用新型采用物理气相沉积技术。它是在呈拱形门结构的真空箱体的镀膜室内，柔性卷材经过辊轴传导系统控制和张力传感器的张力调节，由镀膜靶喷射的靶材粒子沉积，对柔性卷材的正、反两面同时进行双面镀膜。该卷绕镀膜机具有多种功能，可以由磁控溅射靶或电弧蒸发靶装置进行组合、使用不同成分的靶材，可以在柔性卷材的正、反面制备单一薄膜或多种多层功能的混合薄膜的镀膜处理。
附图为本实用新型的结构示意图。
其中1、12-镀膜室大门，2-放卷室，3-镀膜靶，4、7、10-镀膜室，5-柔性卷材，6-辊轴传导系统，8-真空箱体，9-真空箱体外“门洞”，11-收卷室，13-驱动车，14-轨道，15-张力传感器。
实施例说明一种多功能卷绕镀膜机，它是一种呈“拱形门”结构的真空箱体8。在拱形箱体8外面的下方留有暴露大气的“门洞”9的空间，该空间可方便进行镀膜靶的装卸和对真空镀膜机的维修保养。拱形箱体8的下部设置有收卷室11和放卷室2。该收、放卷室可不间断地对柔性卷材进行镀膜收、放，也可以进行互换使用。在靠近收卷室11和放卷室2外侧设置有镀膜室大门1和大门12(附图中大门省略)。在拱形箱体8内又分为三个相互独立的真空镀膜室4、7、10，并与收卷室11、放卷室2贯通。在真空镀膜室4、7、10中轴线的位置设置有辊轴传导系统6和张力传感器15。辊轴传导系统6能使柔性卷材5经由放卷室2的放卷辊匀速地通过镀膜室4、7、10作“∩”形卷绕，并能连续传送到收卷辊上。张力传感器15设在辊轴的两端，用以调节控制张力。在真空镀膜室4、7、10的两壁对称设置有一组或多组镀膜靶3。镀膜靶3为磁控溅射靶或电弧蒸发靶，镀膜靶3的靶体形状为矩形或圆弧形。
该镀膜机的镀膜过程是这样的在呈“拱形门”结构的真空箱体8内，柔性卷材5经过由电机控制的辊轴传导系统6和张力传感器15的张力调节，由放卷室2的放卷辊轴沿着镀膜室内4、7、10的中轴线，柔性卷材5由放卷辊匀速地通过镀膜室作“∩”形卷绕，柔性卷材5的正、反两面同时接收到来自每对镀膜靶3喷射的靶材粒子的沉积进行双面镀膜，并连续地传送到收卷室11的收卷辊上。镀膜室内的一组或多组镀膜靶3可以装有同一成分的靶材，也可以根据膜层设计装有不同成分的靶材，从而使柔性卷材的两表面制备出单一薄膜或分别制备出相应不同成分的多种、多层的复合薄膜。由于该镀膜机是在真空箱体8内进行镀膜的，由此薄膜与柔性基材附着牢固且厚度均匀。根据柔性卷材的表面处理的需要，可以将辊轴传导系统6反向操作，收卷室11和放卷室2进行互换转动，按照上述的操作过程不间断地连续返镀，满足特定工艺或加厚膜层的需要。待加工和已加工的柔性卷材由经驱动车13，可沿着已铺设的轨道14进行传送。
由上可知，本多功能卷绕镀膜机可以在多种柔性卷材上进行真空表面处理，如各种棉纺织品、有机聚酯泡沫、PET、PEN、PC塑料等高分子材料、化纤布、无纺布、矿物纤维布、表面毯、薄型金属或其它柔性复合卷材等等。广泛用于有机泡等柔性卷材表面制备的导电薄膜、金属化织物，如用作电磁屏蔽或防静电材料或制备包装薄膜、电容薄膜、ITO薄膜等多种功能性薄膜。
权利要求1.一种多功能卷绕镀膜机，其特征在于它是一个呈“拱形门”结构的真空箱体，在拱形箱体外面的下方留有暴露大气的“门洞”空间；拱形箱体的下部设置有收卷室和放卷室，在靠近收卷室、放卷室外侧设置有镀膜室大门；拱形箱体内部分为三个相互独立的真空镀膜室并与收卷室、放卷室贯通，在真空镀膜室中轴线的位置上设有辊轴传导系统及张力传感器，张力传感器设在辊轴的两端，在真空镀膜室对称设置有镀膜靶。
2.根据权利要求1所述的多功能卷绕镀膜机，其特征在于镀膜靶为磁控溅射靶或电弧蒸发靶。
3.根据权利要求1所述的多功能卷绕镀膜机，其特征在于镀膜靶的靶体形状为矩形或圆弧形。
专利摘要一种对柔性卷材的正、反两面连续进行喷镀的多功能卷绕镀膜机，它是一种呈“拱形门”结构的真空箱体，在箱体的下部设置有收卷室和放卷室，拱形箱体内部分为三个相互独立的真空镀膜室并于收、放卷室贯通。在真空镀膜室中轴线位置上设有辊轴传导系统及张力传感器，真空镀膜室内对称设置有镀膜靶。本实用新型采用物理气相沉积技术。在真空箱体内的柔性卷材经过辊轴传导系统及张力传感器的张力调节，通过镀膜靶喷射的靶材粒子沉积，对柔性卷材正、反两面同时进行双面镀膜。该卷绕镀膜机可以使用不同成分的靶材，制备出单一薄膜或多种多层功能的混合薄膜，可广泛用于有机泡沫等柔性卷材表面制备的导电薄膜、金属化织物多种功能性薄膜。
文档编号C23C14/56GK2635678SQ0327314
公开日2004年8月25日 申请日期2003年6月24日 优先权日2003年6月24日
发明者盛钢, 胡显奇 申请人:深圳市坦达尼真空表面技术有限公司