专利名称：镀膜用基片夹具、镀膜用转盘及镀膜机的制作方法
技术领域：
本发明涉及镀膜技术，特别涉及一种镀膜用基片夹具、镀 膜用转盘及镀膜机。
背景技术：
当前，许多工业产品表面都镀有功能薄膜，以改善产品表 面的各种性能。如在光学镜片的表面镀上 一 层抗反射膜，以降 低镜片表面的反射率，降低入射光通过镜片的能量损耗。又如 在某些滤光元件表面镀上 一 层滤光膜，可滤掉某 一 预定波段的 光，制成各种各样的滤光片。镀膜机一般包括有一个镀膜转盘，转盘上设置有夹具以夹 持待镀膜产品。镀膜时，高速旋转转盘以缩小待镀膜表面各点 俘获薄膜材料原子数的差异，使得镀膜厚度均匀。对于基片状 的产品，为了能牢固地夹持随转盘高速旋转的基片，通常采用 与基片尺寸严密配合的夹具， 一种基片夹具只适用于一种尺寸 规格的基片。因此，当基片尺寸发生变化时，需同时更换所采 用的夹具。如此，不仅浪费工时(更换夹具的时间)，且浪费成本 (开发多种夹具以满足不同形状的基片的夹持需求)。发明内容有鉴于此，有必要提供一种可与不同尺寸规格的基片严密 配合的基片夹具。另外，本发明还提供一种采用上述基片夹具的镀膜用转盘。 进一步的，本发明还提供一种具有上述镀膜用转盘的镀膜机。一种基片夹具，用于镀膜设备中。所述基片夹具包括一个 框体，两个相对设置且滑动安装于所述框体内的夹持件，以及 多个连接所述框体与夹持件的弹性件。所述两夹持件的相对面 设有用于夹持基片的夹持部，所述多个弹性件的弹性力作用于 所述两夹持件以使所述两夹持件相向夹持基片。一种镀膜用转盘，其包括一转盘本体及至少一个安装于所 述转盘本体上的基片夹具。所述基片夹具包括一个框体，两个 相对设置且滑动安装于所述框体内的夹持件，以及多个连接所 述框体与夹持件的弹性件。所述两夹持件的相对面设有用于夹持基片的夹持部，所述多个弹性件的弹性力作用于所述两夹持 件以使所述两夹持件相向夹持基片。—种镀膜机，其包括 一 密闭容器、至少 一 个镀膜靶及 一 个 镀膜用转盘。所述密闭容器用于提供真空空间，所述镀膜用转 盘安装于密闭容器内且与所述镀膜靶相对设置。所述基片夹具 包括一个框体，两个相对设置且滑动安装于所述框体内的夹持 件，以及多个连接所述框体与夹持件的弹性件。所述两夹持件 的相对面设有用于夹持基片的夹持部，所述多个弹性件的弹性 力作用于所述两夹持件以使所述两夹持件相向夹持基片。使用时，拉开所述两夹持件，将基片放置于两夹持件的夹 持部之间，松开夹持件，夹持件在弹性件的弹性力作用下将基 片紧紧夹持于夹持部间。由于夹具使用弹性力进行夹持，故可 适用于不同尺寸规格的基片。如此，本发明的基片夹具可与不 同尺寸规格的基片严密配合。采用上述基片夹具的镀膜用转盘 及镀膜机可牢固夹持随转盘高速旋转的基片，且基片尺寸改变 时，不必更换新的基片夹具。如此，可节省工时(更换夹具的时 间)，提高生产效率，且可降低设备成本(开发多种夹具以满足不 同形状的基片的夹持需求的成本)。
图1是本发明较佳实施例的基片夹具的俯视图； 图2是图l所示的基片夹具沿II-II方向的剖视图； 图3是图1所示的基片夹具沿III-III方向的剖视图4是本发明较佳实施例的镀膜用转盘的俯视图； 图5是图4所示的镀膜用转盘沿V-V方向的剖视图； 图6是本发明较佳实施例的镀膜机的结构示意图。
具体实施方式
请一并参阅图1及图2，本发明的基片夹具10O包括一个框体 10，两个相对设置且滑动安装于所述框体10内的夹持件20,以 及多个连接所述框体IO与夹持件20的弹性件30。所述两夹持件 20的相对面设有用于夹持基片的夹持部21，所述多个弹性件30 的弹性力作用于所述两夹持件20以使所述两夹持件20相向夹持 基片。所述框体10为一方框体，其材料可采用木材、塑料或钢铁， 本实施例的框体IO采用钢铁制成。所述夹持件20采用与所述框 体10的形状相配合的方块，其材料也采用木材、塑料或钢铁， 本实施例的夹持件20采用钢铁制成。所述夹持部21为 一 开设于 所述夹持件20的凹槽，使用时，基板两侧插设于凹槽内。当然， 夹持部也可以采用其他结构，如两凸设于夹持件的凸块，两凸 块之间的空间也可以容纳、夹持基片。所述弹性件30采用弹簧或弹片，本实施例采用弹簧。每一 个夹持件20与框体10之间用 一个弹簧连接，当然，也可以采用 更多的弹簧连接所述夹持件20与框体10，以提高所述基片夹具 IOO的夹持力和稳定性。弹簧的材料釆用碳素弹簧钢、低锰弹簧 钢、硅锰弹簧钢或铬钒钢制成，所述材料具有高韧性、高塑性 及较长的使用寿命，本实施例的弹簧采用碳素弹簧钢制成。请一并参阅图3，所述框体10内壁设有导滑槽ll,所述夹持 件20设有滑动销22 ，所述滑动销22嵌设于所述导滑槽11内以将所 述夹持件20滑动安装于所述框体10内。当然，夹持件的滑动安 装方式不限于前述实施例，可采用其他的滑动安装方式。如夹 持件开设凹槽，而框体内壁凸设凸销。使用时，拉开所述两夹持件20,将基片放置于两夹持件20
的夹持部2 1之间，然后放开夹持件20 ，夹持件20将在弹性件30 的作用下紧紧夹住基片。由于所述基片夹具100使用弹性力进行 夹持，故可适用于不同尺寸规格的基片。如此，本发明的基片 夹具100可牢固夹持不同尺寸规格的基片。请再参阅图4及图5，本发明的镀膜用转盘200包括一转盘本 体40及至少一个所述基片夹具IOO,所述基片夹具100安装于所 述转盘本体40上。所述转盘本体40为 一金属圓盘，如铜圆盘、铝圆盘或铁圓 盘，本实施例采用铝圆盘。所述转盘本体40开设有至少一个与 所述基片夹具100相配合的收容孔41,每一基片夹具100转动安 装于对应的一个收容孔内41。所述镀膜用转盘200还包括至少一 个与所述基片夹具相配合的马达模组50,每一马达模组50用于 驱动对应一个基片夹具100翻转。本实施例的金属圓盘开设有 一 个收容孔41 ，当然，也可开 设更多地收容孔41,以收容更多的基片夹具100，可视生产需要 设定。所述收容孔41形状及大小满足条件所述基片夹具100可 在收容孔41内转动而不与收容孔41侧壁发生碰撞。对应基片夹 具100的形状，本实施例的收容孔41为一矩形通孔。当然，也可 以采用其他形状的收容孔，如圆形通孔或其他规则多边形通孔， 只要收容孔满足"所述基片夹具可在收容孔内转动而不与收容 孔侧壁发生碰撞"的条件。本实施例的基片夹具IOO还包括一 附设于所述框体IO的转 轴60 ,所述收容孔41的侧壁开设有收容洞42以供所述转轴60插 设，所述基片夹具1 OO通过所述转轴60转动设置于所述收容孔41 内。本实施例框体IO为 一 矩形框体，其为一轴线对称体，所述 转轴60安装于矩形框体的轴线处，如此，可消除基片夹具100转 动时产生偏心力，以使基片夹具100转动顺畅、平稳。所述马达模组50包括一套设于所述转轴60的马达51及一用 于驱动所述马达5 1的电池模组52 。所述电池模组52包括 一 个无 线控制开关53 ，所述无线控制开关53与转盘本体40分离设置，
可以无线遥感控制电池冲莫组52的工作状态，进而控制基片夹具ioo的翻转状态。还可以采用自动控制开关代替无线控制开关，对电池的工作状态进行自动控制。请参阅图6，本发明的镀膜机300包括一 密闭容器70、至少 一个镀膜靶80及一所述镀膜用转盘200。所述密闭容器70用于提 供真空空间，所述镀膜用转盘200安装于密闭容器70内且与所述 镀膜靶80相对设置。使用时，将基片夹持于镀膜用转盘200的基片夹具100内， 然后密闭密闭容器70 ,将密闭容器70抽成真空以提供 一 个真空 空间，激发镀膜靶80,并使镀膜用转盘200旋转，便可进行镀膜。所述镀膜用转盘200的基片夹具100的可控制翻转结构的好 处在于该结构使得所述镀膜机300可以只抽 一 次真空而完成基 片的两个表面的镀膜工艺。传统镀膜机进行镀膜的工序流程为 装入基片、抽真空、为第一表面镀膜、破真空、手动翻转基片、 重抽真空、为第二表面镀膜、破真空、完成镀膜工艺。而本实 施例的镀膜机300在镀完一表面后，利用无线控制开关53或自动 控制开关控制马达51驱动基片夹具100进行180度翻转，即可进 行第二表面镀膜工序，其工序流程为装入基片、抽真空、为 第一表面镀膜、自动翻转基片、为第二表面镀膜、破真空、完 成镀膜工艺。整个工序流程只需抽一次真空，由于抽真空是十 分费时且费能量的工序，故所述镀膜用转盘200的基片夹具100 的可控制翻转结构可节省工时及生产能耗。采用上述基片夹具100的镀膜用转盘200及镀膜机300可牢 固夹持随转盘高速旋转的基片，且基片尺寸改变时，不必更换 新的基片夹具。如此，可节省工时(更换夹具的时间)，提高生产 效率。且可降低设备成本(开发多种夹具以满足不同形状的基片的夹持需求的成本)。另外，本领域的技术人员还可在本发明的精神内做其它变化。当然，这些依据本发明做出的变化都应包括在本发明的保 护范围内。
权利要求
1.一种基片夹具，用于镀膜设备中，其特征在于所述基片夹具包括一个框体，两个相对设置且滑动安装于所述框体内的夹持件，以及多个连接所述框体与夹持件的弹性件；所述两夹持件的相对面设有用于夹持基片的夹持部，所述多个弹性件的弹性力作用于所述两夹持件以使所述两夹持件相向夹持基片。
2. 如权利要求1所述的基片夹具，其特征在于所述框体内壁设 有导滑槽，所述夹持件设有滑动销，所述滑动销嵌设于所述导 滑槽内以将所述夹持件滑动安装于所述框体内。
3. 如权利要求1所述的基片夹具，其特征在于所述夹持部为一 开设于所述夹持件的凹槽或两凸设于所述夹持件的凸块。
4. 如权利要求1所述的基片夹具，其特征在于所述弹性件采用 弹簧或弹片。
5. —种镀膜用转盘，其包括一转盘本体及至少一个如权利要求 1_4中任一项所述的基片夹具，所述基片夹具安装于所述转盘本 体上。
6. 如权利要求5所述的镀膜用转盘，其特征在于所述转盘本体 开设有至少一个与所述基片夹具相配合的收容孔，每一基片夹 具转动安装于对应的一个收容孔内；所述镀膜用转盘还包括至 少一个与所述基片夹具相配合的马达模组，每一马达模组用于 驱动对应一个基片夹具翻转。
7. 如权利要求6所述的镀膜用转盘，其特征在于所述基片夹具 还包括一附设于所述框体的转轴，所述收容孔的侧壁开设有供 所述转轴插设的收容洞，所述基片夹具通过所述转轴转动设置 于所述收容孔内。
8. 如权利要求7所述的镀膜用转盘，其特征在于所述马达模组 包括 一 套设于所述转轴的马达及 一 用于驱动所述马达的电池模 组。
9. 如权利要求8所述的镀膜用转盘，其特征在于所述电池模组 包括一个无线控制开关或自动控制开关，用于控制电池模组的 工作状态。
10. —种镀膜机，其包括一密闭容器、至少一个镀膜靶及一如权利要求5所述的镀膜用转盘；所述密闭容器用于提供真空空间，所述镀膜用转盘安装于密闭容器内且与所述镀膜靶相对设置。
全文摘要
本发明提供一种可用于镀膜设备中的基片夹具，其包括一个框体，两个相对设置且滑动安装于所述框体内的夹持件，以及多个连接所述框体与夹持件的弹性件。所述两夹持件的相对面设有用于夹持基片的夹持部，所述多个弹性件的弹性力作用于所述两夹持件以使所述两夹持件相向夹持基片。使用时，基片设置于夹持部间，夹持件在弹性件的弹性力作用下将基片紧紧夹持于夹持部间。由于夹具使用弹性力进行夹持，故可适用于不同尺寸规格的基片。本发明还提供一种采用所述基片夹具的镀膜用转盘及镀膜机。
文档编号C23C14/50GK101165206SQ20061006321
公开日2008年4月23日 申请日期2006年10月20日 优先权日2006年10月20日
发明者凌维成 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司