专利名称：镜子的表面处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镜子的表面处理装置，其在以依次经过包含加热工序的多个处理工序的方式被搬运的托盘上，安装有与所述镜子背面接触的多个支承部件，用于支承镜子从所述托盘浮起，所述镜子依次经过多个所述处理工序来被实施表面处理。
背景技术：
例如，在专利文献1中公开了下述的表面处理装置为了对CD或DVD等信息记录用盘片的表面进行成膜处理，将放置有需要进行表面处理的盘片的托盘，由搬运装置进行搬运，以使其依次经过多个处理工序。例如，在专利文献2中公开了下述的表面处理装置为了对被处理物的表面和背面在同一条件下进行处理，而在托盘上安装支承部件，用于支承被处理物从托盘浮起。
专利文献1日本特开2000-64042号公报专利文献2日本特开2003-13223号公报另外，例如对车辆所使用的镜子实施亲水成膜处理时，也能够使用由上述专利文献1和专利文献2所公开的处理装置，但是，当多个处理工序包含加热工序时，当支承镜子从托盘浮起的支承部件的材质是传热性较高的材质时，在与镜子背面相接触的支承部件的接触部上，可能产生铬层的剥离，该铬层是为了形成镜子的反射面而在玻璃板背面蒸镀的。并且，由于与镜子背面相接触的支承部件的接触部的温度局部升高，而在与支承部件相接触的镜子的接触部上产生应力，则在镜子上可能会产生裂纹。另外，当支承部件由硬质材料形成时，则在放置镜子时其可能会对镜子的背面造成损伤。
发明内容
本发明就是针对上述问题而提出的，目的在于提供一种镜子的表面处理装置，其能够防止在加热工序中铬层从镜子背面剥离，并且能够防止在镜子上产生损伤或裂纹。
为了实现上述目的，本发明之一的镜子的表面处理装置，其在以依次经过包含加热工序的多个处理工序的方式被搬运的托盘上，安装有与镜子的背面接触的多个支承部件，用于支承镜子从所述托盘浮起，镜子依次经过多个所述处理工序来被实施表面处理，其特征在于，所述支承部件分别由具有耐热性、弹性和绝热性的树脂材料构成。
本发明之二在本发明之一的基础上，特征在于，多个所述支承部件与所述镜子的外周对应，并安装在所述托盘上，在多个所述支承部件上形成有倾斜的支承面，该支承面抵接在所述镜子的外周缘上，实现该镜子的定位，并支承所述镜子。
根据本发明之一，多个支承部件由具有耐热性和绝热性的树脂材料构成，并安装在托盘上，通过这种支承部件接触在镜子的背面，能够支承镜子从托盘浮起，所以在加热工序中在支承部件上不产生变形，并且，能够避免与镜子背面相对的支承部件的接触部和其周围之间产生较大的温度差，从而在加热工序中能够防止铬层从镜子背面剥离，并且能够防止在与支承部件相对的镜子的接触部产生应力，从而能够防止在镜子上产生裂纹。并且由于支承部件具有弹性，所以在将镜子放置在支承部件上时，很难对镜子背面造成损伤。
另外，根据本发明之二，多个支承部件具有在托盘上使镜子定位的功能，因此不需要专用的定位部件，能够减少零件数量。
图1是表面处理后的镜子的纵剖面图。
图2是表面处理装置的纵剖面图，是沿图3的2-2线的剖面图。
图3是沿图2的3-3线的剖面图。
图4是在进行表面处理状态下的对应于图2的剖面图。
图5是放置了镜子的状态下的托盘的俯视图。
图6是沿图5的6-6线的剖面图。
图7是第二实施例的对应于图5的托盘的俯视图。
图8是沿图7的8-8线的剖面图。
标号说明11镜子；24、24’托盘；40、42支承部件；42a支承面具体实施方式
下面，根据附图所示的本发明的实施例，对本发明的实施方式进行说明。
图1～图6表示本发明的第一实施例，图1是表面处理后的镜子的纵剖面图，图2是表面处理装置的纵剖面图，是沿图3的2-2线的剖面图，图3是沿图2的3-3线的剖面图，图4是进行表面处理状态时的对应于图2的剖面图，图5是放置镜子状态时的托盘的俯视图，图6是沿图5的6-6线的剖面图。
首先，在图1中，该镜子11例如是作为车辆用车门反射镜所使用的镜子，在玻璃板12的背面通过蒸镀形成铬层13，在该镜子11的表面即玻璃板12的表面上实施表面处理，从而按顺序重叠有由SiO2形成的钝化层14、由作为光催化材料的TiO2形成的二氧化钛层15和由SiO2形成的二氧化硅层16。
所述钝化层14，用于防止钠离子从玻璃板12向TiO2扩散，形成为例如80nm～120nm的厚度。二氧化钛层15起到分解SiO2的污垢的作用，形成为例如100nm～150nm的厚度。另外，二氧化硅层16对要长时间保持亲水机能的二氧化钛层15进行保护，形成为例如5nm～30nm的厚度。
表面处理装置用于在镜子11的表面上依次形成所述钝化层14、二氧化钛层15和二氧化硅层16，在图2和图3中，该表面处理装置具有壳体18，其是内部形成为大致圆形的搬运室17的气密容器，在该壳体18的周向空出等间隔的位置上，设定了搬入/搬出位置S1、加热位置S2、钝化层成形位置S3、二氧化钛层成形位置S4以及二氧化硅层成形位置S5。
在与所述搬入/搬出位置S1对应的位置，且在壳体18的顶壁18a上，设有搬入/搬出口19，在壳体18的顶壁18a上可开闭地设置有能够气密地覆盖该搬入/搬出口19的盖20。并且，与加热位置S2、钝化层成形位置S3、二氧化钛层成形位置S4以及二氧化硅层成形位置S5对应，且在壳体18的天井壁18a上，分别设有气密室形成壁18b…，用于形成可通过设置于该天井壁18a的开口部21…与搬运室17连通的气密室22…。
在与所述搬入/搬出位置S1对应的位置，且在壳体18的外侧方，固定配置有搬运台23，放置了镜子11的托盘24通过托盘搬运装置25在所述搬运台23和所述搬入/搬出口19之间被进行搬运。并且，托盘搬运装置25包括旋转/升降轴26，其配置在搬运台23和搬入/搬出口19之间的中央部；与旋转/升降轴26连接的驱动机构27，其可进行使该旋转/升降轴26上下升降的驱动，并且还可进行使该旋转/升降轴26旋转180度的驱动；臂部28，其沿着旋转/升降轴26的一条直径线并固定于该旋转/升降轴26的顶端；设置于所述臂部28两端的托盘保持机构29、29，其能够切换把持所述托盘24和解除该把持。
根据这样的托盘搬运装置25，能够将位于搬运台23上的在装载了镜子11的状态下的托盘24在盖20敞开的状态下带到搬入/搬出口19，并且能够将位于搬入/搬出口19的放置有表面处理结束后的镜子11的托盘24在盖20敞开的状态下从搬入/搬出口19带到搬运台23。
另一方面，在壳体18的搬运室17内配置有搬运装置30，其用于使放置了镜子11的托盘24从上述搬入/搬出位置S1，经加热位置S2、钝化层成形位置S3、二氧化钛层成形位置S4以及二氧化硅层成形位置S5，再次返回搬入/搬出位置S1。该搬运装置30具有旋转台31；从该旋转台31的中央部向下方延伸且气密地贯通壳体18的底部的旋转轴32；以及与该旋转轴32连接并支承于壳体18的底部外表面的电动机33，旋转台31由所述电动机33间歇性地旋转驱动。
在旋转台31上设置多个保持孔34…，它们沿旋转台31的周方向空开与所述搬入/搬出位置S1、加热位置S2、钝化层成形位置S3、二氧化钛层成形位置S4以及二氧化硅层成形位置S5彼此的间隔对应的间隔，在旋转台31上安装有从各保持孔34…内突出的多个托盘保持爪35…。
另外，在搬入/搬出位置S1上配置有隔离板37，其由安装于壳体18的底部外表面的气缸(cylinder)36驱动升降。如图4所示，该隔离板37能够将位于搬入/搬出位置S1的由托盘保持爪35保持的托盘24，从该托盘保持爪35抬起并带到搬入/搬出口19，并且，能够从下方气密地堵住搬入/搬出口19。
另外，在加热位置S2、钝化层成形位置S3、二氧化钛层成形位置S4以及二氧化硅层成形位置S5上分别配置有升降杆39，它们由安装于壳体18底部外表面的气缸38驱动升降。如图4所示，这些升降杆39…能够使由托盘保持爪35保持的托盘24从旋转台31抬起并上升到从下方气密地堵住各开口部21…的位置，在该状态下，托盘24上的镜子11就被配置在气密室22内。
于是，在加热位置S2实施加热工序，放入气密室22中的镜子11被加热到例如大于等于150℃。在钝化层成形位置S3实施钝化层成形工序，在放入气密室22的镜子11上通过溅射(spatter)形成钝化层14。并且，在二氧化钛层成形位置S4实施二氧化钛层成形工序，在放入气密室22的镜子11上通过溅射形成二氧化钛层15。进而，在二氧化硅层成形位置S5实施二氧化硅层成形工序，在放入气密室22的镜子11上通过溅射形成二氧化硅层16。
在图5和图6中，依次经过了包含加热工序的多个处理工序，即加热工序、钝化层成形工序、二氧化钛层成形工序以及二氧化硅层成形工序，从而镜子11被实施表面处理，在放置了该镜子11的托盘24上安装多个支承部件40…，这些支承部件40…与该镜子11的背面接触，用于支承并使镜子11从托盘24浮起，这些支承部件40…优选由树脂材料形成，该树脂材料具有耐热性和绝热性并且具有不会对镜子11的背面造成损伤的弹性。
作为所述树脂材料，优选使用例如可塑性聚酰亚胺树脂材料，其中杜邦公司制造的VESPEL(注册商标)(全芳香族聚酰亚胺树脂)非常适用。并且，上述VESPEL具有如下特性。
使用温度(耐热温度)300～400℃表面硬度(洛氏硬度)45～48压缩弹性率2413MPa热传导率0.35W/m℃上述各支承部件40…，在上端具有为了与形成为曲面的镜子11的背面接触而弯曲的支承面40a…，并由合成树脂形成为销状，在各支承部件40…上从其下表面突出地一体设置有嵌合轴部40b…，通过将该嵌合轴部40b…与托盘24嵌合，而将各支承部件40…安装在托盘24上。
另外，在托盘24上，与所述各支承部件40…同样地通过与托盘24的嵌合而安装了多个定位部件41…，它们可抵接在镜子11外周的多处，来实现镜子11在托盘24上的定位。并且，考虑到镜子11的热变形，在非加热状态下在各定位部件41…与镜子11的周缘部之间产生微小间隙的位置，它们被安装在托盘24上。所述定位部件41…由例如铝合金制成，但是考虑到在加热工序中一部分定位部件41…与镜子11接触的情况，也可以使用与所述各支承部件40…同样地具有弹性的绝热树脂材料来形成定位部件41…。
下面对该第一实施例的作用进行说明，由具有耐热性和绝热性的树脂材料制成的多个支承部件40…，安装在托盘24上，并与镜子11的背面接触，镜子11在托盘24浮起的状态下被这些支承部件40…支承，因此，在加热工序中，不会在支承部件40…上产生变形，并且能够防止与镜子11背面相接触的支承部件40…的接触部和其周围之间产生较大的温度差，从而在加热工序中能够防止铬层13从镜子11的背面脱落，并且能够防止在镜子11的与支承部件40…接触的接触部上产生应力，从而防止在镜子11上产生裂纹。
另外，由于支承部件40…具有弹性，所以在将镜子11放置在支承部件40…上时，很难对镜子11的背面造成损伤。
图7和图8表示本发明的第二实施例，图7是对应于图5的托盘的俯视图，图8是图7的8-8线剖面图。
在放置镜子11的托盘24’上安装有由具有耐热性、弹性和绝热性的树脂材料制成的多个支承部件42…，这些支承部件42…与该镜子11的背面接触，以支承并使镜子11从托盘24’浮起，这些支承部件42…与镜子11的外周对应，并安装在托盘24’上。
支承部件42形成为销状并具有倾斜的支承面42a，支承面42a抵接在镜子11的外周缘上，来实现该镜子11的定位，并且支承镜子11，通过将在各支承部件42…上的从其下表面突出地一体设置的嵌合轴部42b…嵌合在托盘24’上，从而安装在托盘24’上。
根据该第二实施例，由于多个支承部件42…具有弹性，所以在将镜子11放置在支承部件42…上时，很难对镜子11的背面造成损伤，并且各支承部件42…具有在托盘24’上对镜子11定位的功能，因此不需要专用的定位部件，能够减少零件数量。
而且，由于支承部件42…具有耐热性和绝热性，因此在加热工序中支承部件42…不会变形，并且能够防止在与镜子11背面相对应的支承部件42…的接触部及其周围之间产生较大的温度差，从而在加热工序中防止铬层13从镜子11的背面脱落，并且使与镜子11相对应的支承部件42…的接触部不产生应力，从而防止在镜子11上产生裂纹。
以上对本发明的实施例进行了说明，但是本发明不限于上述实施例，在不脱离权利要求的范围所述的本发明可进行各种设计变更。
权利要求
1.一种镜子的表面处理装置，其在以依次经过包含加热工序的多个处理工序的方式被搬运的托盘(24、24’)上，安装有与镜子(11)的背面接触的多个支承部件(40、42)，用于支承所述镜子(11)从所述托盘(24、24’)浮起，所述镜子(11)依次经过多个所述处理工序来被实施表面处理，其特征在于，所述支承部件(40、42)分别由具有耐热性、弹性和绝热性的树脂材料构成。
2.如权利要求1所述的镜子的表面处理装置，其特征在于，多个所述支承部件(42)与所述镜子(11)的外周对应，并安装在所述托盘(24’)上，在这些所述支承部件(42)上形成有倾斜的支承面(42a)，该支承面(42a)抵接在所述镜子(11)的外周缘上，实现该镜子(11)的定位，并支承所述镜子(11)。
全文摘要
本发明提供一种镜子的表面处理装置，其在依次经过包含加热工序的多个处理工序而被搬运的托盘上，安装有与镜子的背面接触的多个支承部件，用于支承所述镜子从所述托盘浮起，所述镜子依次经过多个所述处理工序来被实施表面处理。该镜子的表面处理装置能够防止在加热工序中铬层从镜子背面剥离，并且能够防止在镜子上产生损伤或裂纹。所述支承部件(40)分别由具有耐热性、弹性和绝热性的树脂材料构成。
文档编号C23C14/24GK1884612SQ20061009304
公开日2006年12月27日 申请日期2006年6月19日 优先权日2005年6月24日
发明者清文博, 二见计行, 渡边裕一 申请人:本田制锁有限公司