一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构的制作方法

文档序号:3244774
专利名称:一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构的制作方法
技术领域
本发明涉及一种半导体制造设备中的传感装置,特别涉及一种物理气相沉 积设备的红外传感器结构。
背景技术
在电子、半导体等制造行业,物理气相沉积设备(PVD)已被广泛的应用, 特别是应用材料公司(Applied Materials, Inc.)的Endura和Centura系列 设备在其中占有较大的份额,不少半导体制造企业均采用了该系列设备。
Endura和Centura系列物理气相沉积设备对暗盒(Cassette)的装载锁定 (loadlock)采用红外感应的方式。如图l、图2、图5所示,在机台上下货的 过程中,依靠位于安装于机台顶部的清空孔2上端的红外发射接收一体机1,实 现对暗盒6是否装载于载物台4进行探测。正常状态下,当载物台4上没有装 载暗盒6时,红外发射接收一体机1发射出的红外光通过载物台4上的镜面3 反射回接收端,此时红外发射接收一体机1会输出一个高电平信号"1",机台 认为载物台4上无暗盒6;当载物台4上装载暗盒6时,红外发射接收一体机l 发射出的红外光被暗盒6拦截散发开,接收端接收不到光线或强度很弱,此时 红外发射接收一体机1输出一个低电平信号"0",机台认为暗盒6己经准备就 绪。
当红外传感设备发射光角度、强度或散射度发生变化,使传感设备处于异 常状态,当载物台4内无暗盒6时,发射光强度不够,或通过镜面3反射回去 的方向错位,或接收端灵敏度等问题,接收端接收不到红外光,红外发射接收 一体机1会输出一个错误的低电平信号"0",机台就认为载物台4上已有暗盒6 准备就绪;当载物台4上放有暗盒6时,发射光强度过大,或散射角度过大直 接通过晶片发射回接收端,红外发射接收一体机1会输出一个错误的高电平信 号"1",机台认为载物台4上无暗盒6。发生误报情况后需对发射接收一体机1进行调试,由于发射接收一体机1 只能调整发射角度及接收灵敏度,发射光强度不可调,在调整过程中,会因为
对低电平"0"错误信号的调整,导致高电平"1"错误信号的产生,且由于不 同的暗盒6对红外光反射角度、强度等效果的不同,使得发射接收一体机1接 收效果产生差异,给调整带来困难。
且频繁的错误侦测信号会造成机台服务器端(SemiAuto Server)的记录信 号阻塞而死机,严重降低生产效率,需要员工去处理错误信号,增加了员工的 工作量。

发明内容
本发明的主要目的使提供一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构的改 进,可縮短光线行程,从而减少散射面积,可对信号进行单独调整,避免互相 影响,提高了检测准确度,提高生产效率,延长传感器的使用寿命,降低了生 产成本,且结构简单,易安装。
为达到上述目的,本发明釆用了如下的技术方案
一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构,包括机台、红外传感装置及 一可移动的暗盒,,红外传感装置采用对射式传感装置,包括对应设置的红外发 射机与红外接收机;红外发射机、红外接收机与机台连接,当暗盒放置于机台 内时,红外发射机与红外接收机之间的红外光被阻挡。
红外发射机与红外接收机竖直对应设置。本发明采用此结构,保证了红外 光在机台内行程最短,从而可减少散射面积,降低误报机率。
上述机台顶部和底部对应位置设置有一对清空孔,上述红外发射机、红外 接收机分别设置在上述一对清空孔中。本发明采用此结构,安装时对原有结构 改变不大,方便安装,调整红外发射机、红外接收机时更为方便,
上述机台具有一载物台,上述暗盒放置在该载物台上,该载物台与上述红 外发射机、红外接收机对应的位置具有一用于供红外光穿过的通孔。本发明采 用此结构,确保红外光在机台内有不被遮挡的路径。
本发明用于物理气相沉积设备的红外传感结构,由于采用了对射式光电传感器,避免了散射光成为反射信号,提高了探测精确度,而且发射光角度及接 收灵敏度均可以调整,在调整过程中,对高低电平信号进行单独调整,避免了 相互影响,减少了误报的可能性,提高了机台生产效率。由于发射接收灵敏度 可单独调解,可实现微电流对红外传感设备的驱动,从而延长了红外传感设备
的使用寿命,理论寿命可达到原有传感设备的io倍以上,降低设备的维护成本。
且本结构对原有机台的改进不大,结构简单,易安装。
为让本发明上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实 施例,并配合附图,作详细说明如下。


图1为现有的机台中的载物台未装载暗盒时的结构示意图2为现有的机台中的载物台装载暗盒后的结构示意图3为本发明提出的一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构优选实施 例中的载物台转载暗盒后的结构示意图4为为本发明提出的一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构优选实 施例中的载物台未转载暗盒的结构示意图5为载物台的俯视图中,l为红外发射接收一体机,2为清空孔(clearport), 3为载物台上 的反射面(mirror), 4为载物台(stage), 5为变址器(indexer), 6为暗盒 (cassette), 7为红外发射机,8为红外接收机,9为通孔。
具体实施例方式
本发明提出的一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构优选实施例如图 3、图4所示,图中,在机台的顶部清空孔2外侧设置红外发射机7,在机台的 底部清空孔2外侧设置红外接收机8,红外发射机7与红外接收机8竖直对应, 确保红外光在接收机与发射机间行程最短。变址器5安装于机台底部,在变址 器5上端设有载物台4,载物台4左侧竖直方向设有通孔9,该通孔9位置对应 于发射机7及接收机8,红外光可透过此通孔9。工作状态下,当载物台4上没有装载暗盒6时,红外发射机7发射出的红 外光通过载物台4上的通孔,被红外接收机8所探测,此时红外接收机8会输 出一个高电平信号"l",机台认为载物台4上无暗盒6;当载物台4上装载暗盒 6时,红外发射机7发射出的红外光被暗盒6拦截散发开,红外接收机8接收不 到光线或强度很弱,此时红外接收机8输出一个低电平信号"0",机台认为暗 盒6己经准备就绪。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并非因此限定本发明的专利保护范围, 故凡运用本发明的说明书及图示内容所谓的等效结构变化,或直接或间接运用 于其他相关技术领域均同理皆包含于本发明所涵盖之范围内。
权利要求
1.一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构,包括机台、红外传感装置及一可移动的暗盒,其特征在于,红外传感装置采用对射式传感装置,包括对应设置的红外发射机与红外接收机;红外发射机、红外接收机与机台连接,当暗盒放置于机台内时,红外发射机与红外接收机之间的红外光被阻挡。
2. 根据权利要求1所述的红外传感结构,其特征在于,红外发射机与红外 接收机竖直对应设置。
3. 根据权利要求1或2所述的红外传感结构,其特征在于,上述机台顶部和底部对应位置设置有一对清空孔,上述红外发射机、红外接收机分别设置在 上述一对清空孔中。
4. 根据权利要求3所述的红外传感结构,其特征在于,上述机台具有一载 物台,上述暗盒放置在该载物台上,该载物台与上述红外发射机、红外接收机 对应的位置具有一用于供红外光穿过的通孔。
全文摘要
本发明提供一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构,针对现有技术探测准确度低,调整困难等问题而发明,包括机台、红外传感装置及一可移动的暗盒,红外传感装置采用对射式传感装置,包括对应设置的红外发射机与红外接收机;红外发射机、红外接收机与机台连接,当暗盒放置于机台内时,红外发射机与红外接收机之间的红外光被阻挡;红外发射机与红外接收机竖直对应设置。本发明提高了探测精确度减少了误报的可能性,提高了机台生产效率延长了红外传感设备的使用寿命,理论寿命可达到原有传感设备的10倍以上,降低设备的维护成本。且本结构对原有机台的改进不大,结构简单,易安装。
文档编号C23C14/52GK101298661SQ20071010203
公开日2008年11月5日 申请日期2007年4月30日 优先权日2007年4月30日
发明者赖学明 申请人:和舰科技(苏州)有限公司
再多了解一些
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