一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法

文档序号:3346871阅读:219来源:国知局
专利名称:一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
技术领域
本发明属于冶金技术领域,特别涉及一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法。
背景技术
玫瑰金的色泽是粉红色的,其艳丽的色彩和迷人柔和的色调一直深受人们的青睐。然而 传统的玫瑰金工艺都是以水电镀的工艺来实现的,这种工艺容易实现色彩,但是非常容易氧 化且表面耐磨性很差,且容易造成环境污染。随着现代真空磁控溅射技术的发展,如何能够 在真空炉内溅射出玫瑰金色度,并达到抗氧化、抗硫化、硬度高、耐磨性好的目的。是人们 长期期望实现的愿望。

发明内容
针对现有技术问题,本发明提供一种磁控溅射玫瑰金耙材及其制备方法。 本发明的磁控溅射玫瑰金靶材的成分为含金(Au) 65~78wt%,铜(Cu) 16~33wt%,
铭(Y) 0.01~4wt%,锌(Zn) l~7wt%,钴(Co) 0.001 ~ 1.2wt%,锑(Sb) 0.001 ~ 0.2wto/o,
铟(In) 0.02~5wt%。
本发明的磁控溅射玫瑰金靶材的的制备方法为
1、 中间合金材料的制备
将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中,待全部物料熔化 后搅拌均勾,然后在1400 1450'C的条件下精炼3min,精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中, 自然冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜46.7 ~94.5 wt%,钇0.03~12.5 wt%,锌2.764~ 22wt%,钴0.003- 4.5wt%, 锑0.003 0.91wt。/。,铟2.7 20wt。/。。
2、 玫瑰金靶材的制备
将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,加入量按金在全部物料中 占65~78wt%,待全部物料熔化后搅拌均匀,然后在1200-1300'C的条件下精炼5min;精炼 完成后将熔化的合金浇入铸模中,水冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪 切操作,获得玫瑰金靶材。其中圆柱形靶材需拉伸后镶嵌入铜靶基。
本发明磁控溅射玫瑰金靶材主要应用于真空磁控溅射镀膜手表、手机、首饰及装饰产品 领域。采用本发明的玫瑰金靶材应用于磁控溅射镀膜技术中,可以获得色泽鲜艳的玫瑰金镀 膜,镀膜色泽均匀、表面硬度高、耐磨性好、抗氧化性能好,采用本发明的磁控溅射玫瑰金 靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品
性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
具体实施例方式
本发明采用的金、铜、钇、锌、钴、锑和铟纯度均大于99.9%。 实施例1
将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中,待全部物料熔化 后搅拌均匀,然后在1400 1450'C的条件下精炼3min,精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中, 自然冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜94.5wt%,钇0.03wt%,锌2.764wt。/0,钴0.003wt%,锑0.003wt%,铟 2.7wt%。
将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,加入量按金在全部物料中 占65wtW,待全部物料熔化后搅拌均匀,然后在1200 130(TC的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中,水冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操 作,获得玫瑰金靶材,其成分为含金65wt。/。,铜33wt。/。,钇0.01wt。/。,锌lwt%,钴0.001 wt%, 锑0.001wt%,铟0.988wt%。
玫瑰金色度指标通过了辽宁省计量科学研究院检测,测量条件为D65光源、10°视角 场、0/t。测量结果为反射率(%): Y= 61.79;色度坐标直x = 0.3608, y=0.3527。 实施例2
将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中,待全部物料熔化 后搅拌均匀,然后在1400 145(TC的条件下精炼3min,精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中, 自然冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜72.8wtn/n,钇4.5wt11/。,锌9.1wt。/c,钴4.5wt0/。,锑0.91wt。/。,铟8.19wt%。
将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,加入量按金在全部物料中 占78wtV。,待全部物料熔化后搅拌均匀,然后在1200 130(TC的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中,水冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操 作,获得玫瑰金靶材,其成分为含金78wto/。,铜16wt。/。,钇lwt。/n,锌2wt。/。,钴lwt。/。,锑 0.2wt%,铟1.8wt%。 实施例3
将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中,待全部物料熔化 后搅拌均匀,然后在1400 1450'C的条件下精炼3min,精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中, 自然冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料。其
中各金属加入量为铜46.7wtn/。,钇12.5wt。/。,锌22wt。/。,钴3.8wt%,锑0.3wt%,铟14.7wt%。 将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,加入量按金在全部物料中 占68wty。,待全部物料熔化后搅拌均匀,然后在1200 130(TC的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中,水冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操 作,获得玫瑰金靶材,其成分为含金68wt%,铜15wt%,钇4wt%,锌7wt%,钴1.2wt%, 锑0.1wt0/0,铟4.7wt0/。。 、 实施例4
将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中,待全部物料熔化 后搅拌均匀,然后在1400 145(TC的条件下精炼3min,精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中, 自然冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜69wt°/。,钇10.3wt%,锌17.25wt%,钴2.69wt%,锑0.69wt%,铟0.07wt%。
将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,加入量按金在全部物料中 占71wt。/。,待全部物料熔化后搅拌均匀,然后在1200 13O0'C的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中,水冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操 作,获得玫瑰金靶材,其成分为含金71wt。/。,铜20wt。/。,钇3wtn/。,锌5wt。/。,钴O. 78wt%, 锑0.2wt0/0,铟0.02wt0/0。 实施例5
将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中,待全部物料熔化 后搅拌均匀,然后在1400 1450'C的条件下精炼3min,精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中, 自然冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜56wt%,钇8wt"/。,锌12wtn/。,钴3.8wty。,锑0.2wt%,铟20wt%。
将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,加入量按金在全部物料中 占75wtW,待全部物料熔化后搅拌均匀,然后在1200 130(TC的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中,水冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操 作,获得玫瑰金靶材,其成分为含金75wt%,铜14wt。/。,钇2wt。/。,锌3wt。/。,钴0.95wt0/。, 锑0.05wt。/。,铟5wte/。。
权利要求
1、一种磁控溅射玫瑰金靶材,其特征在于磁控溅射玫瑰金靶材的按成分重量百分比为含金65~78wt%,铜16~33wt%,钇0.01~4wt%,锌1~7wt%,钴0.001~1.2wt%,锑0.001~0.2wt%,铟0.02~5wt%。
2、 权利要求1所述的磁控溅射玫瑰金靶材的制备方法:其特征在于按如下步骤进行(1) 将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中,待全部物料熔化后搅拌均匀,然后在1400 1450'C的条件下精炼3min,精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中,自 然冷却至室温,取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;其中 各金属加入量为铜46.7 ~94.5 wt%,紀0.03~12.5 wt%,锌2.764~ 22wt%,钴0.003~ 4.5wt%, 锑0.003~ 0.91wt%,铟2.7 20wt。/。; (2)将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔 化的金中,加入量按金在全部物料中占65~78wt%,待全部物料熔化后搅拌均匀,然后在 1200 1300'C的条件下精炼5min;精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中,自然冷却至室温, 取出合金锭,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得玫瑰金靶材。
3、 根据权利要求2所述的磁控溅射玫瑰金靶材的制备方法,其特征在于所采用的金、 铜、钇、锌、钴、锑和铟纯度均大于99.9%。 '
全文摘要
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于玫瑰金靶材的成分按重量百分比为含金65~78wt%,铜16~33wt%,钇0.01~4wt%,锌1~7wt%,钴0.001~1.2wt%,锑0.001~0.2wt%,铟0.02~5wt%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3min,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5min;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
文档编号C23C14/14GK101358331SQ20081001343
公开日2009年2月4日 申请日期2008年9月27日 优先权日2008年9月27日
发明者革 刘 申请人:东北大学黄金学院贵金属材料厂
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