一种vfd双面真空镀膜设备的挡板机构的制作方法

文档序号:3422009
专利名称:一种vfd双面真空镀膜设备的挡板机构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构。
(二)
背景技术
在VFD真空镀膜生产线的总体设计中,考虑到成木问题,大多采 用了对靶双面镀膜的设备结构,即釆用四块磁控溅射阴极靶,左右两 两相对,可同时对两侧装载的玻璃基片进行镀膜,设备的生产效率提 高-—倍。同时在对耙之间要加入活动挡板(对开挡板),来解决双面镀 膜时阴极靶材料相互沉积污染问题。但是,由于真空系统热传导能力 差、橡胶件动密封易泄漏的特殊性,以及磁控溅射高温丁.艺的具休耍 求,使得-般的挡板机构极易产生传动系统动密封泄漏,无法长时间 保证夷空镀膜生产线正常的生产和运行。
(三) 发明内容
为了克服现有VFD双面真空镀膜设备的挡板机构易产生传动系统 动密封泄漏的不足,本实用新型提供--种可达到无泄露效果的VFD双而 真空镀膜设备的挡板机构。
本实用新型解决其技术问题的技术方案是: 一种VFD双面真空镀 膜设备的挡板机构,包括第一挡板和第二挡板,所述第一挡板的上端 安装在第一上波纹管上,所述第一挡板的下端安装在第一下波纹管上, 所述的第一上波纹管与所述的第-下波纹管对称;所述第二挡板的上 端安装在第二上波纹管上,所述第二挡板的下端安装在第二 f波纹管 上,所述的第二上波纹管与所述的第二下波纹管对称;所述第一上波
纹管的头部设有第一上密封头,所述的第一密封上头与所述的第一上
波纹管围成第一上密闭腔,所述的第一 .lr.密封头具有第一上压縮气休
进气管,所述的第一上压缩气体进气管与所述的第一上密闭腔连通;
所述第一下波纹管的头部设有第一下密封头,所述的第一密封下头与 所述的第一下波纹管围成第一下密闭腔,所述的第一下密封头具有第
,F压缩气休进气管,所述的第一下压縮气体进气管与所述的笫—T
密闭腔连通;所述第二上波纹管的尾部设有第二上密封头,所述的第
二上密封头与所述的第二上波纹管围成第二上密闭腔,所述的第二上 密封头具冇第二上压縮气体进气管,所述的第二上压縮气休进气管与
所述的第二上密闭腔连通;所述第二下波纹管的尾部设有第二下密封 头,所述的第二下密封头与所述的第二下波纹管围成第二下密闭腔, 所述的第二下密封头具有第二下压縮气体进气管,所述的第二 —卜'压縮 气体进气管与所述的第二下密闭腔连通;还包括第--拉簧、第二拉簧、 第三拉簧、第四拉簧,所述第一拉簧的前端和后端均连接在第一上波 纹管上,所述第二拉簧的前端和后端均连接在第一下波纹管上,所述 第三拉簧的前端和后端均连接在第二上波纹管上,所述第四拉簧的甜 端和后端均连接在第二下波纹管上。
进一步,所述的第一拉簧位于所述的第一上密闭腔内,所述的第 二拉簧位于所述的第一下密闭腔内,所述的第三拉簧位亍所述的第二 上密闭腔内,所述的第四拉簧位于所述的第二下密闭腔内。
进一步,所述的第一上压縮气体进气管通过第一上密封接头与所 述的第一上密封头连接,所述的第一下压縮气体进气管通过第一下密 封接头与所述的第--下密封头连接;所述的第二上压縮气体进气管通过第二上密封接头与所述的第二上密封头连接,所述的第二下压缩气 体进气管通过第二下密封接头与所述的第二下密封头连接。
使用时,将压縮气体充入第一上密闭腔,使压缩气体的压力大于 第一拉簧对第一上波纹管的作用力,因波纹管具有伸缩能力,此时第
一上波纹管伸长;将压縮气体通过第一下密闭腔、第二上密闭腔、第
二下密闭腔,基于同样的原理,将压縮气体通入第一下密闭腔、第二
上密闭腔、第二下密闭腔,第一下波纹管、第二上波纹管、第二下波
纹管也伸长,第一上波纹管、第一下波纹管、第二上波纹管、第二下
波纹管伸长后使得第一挡板和第二挡板分开。将压缩气体从第一上密
闭腔中放出,在第一拉簧的作用力下第一上波纹管縮短;基于同样的
原理,将压縮气体从第--下密闭腔、第二上密闭腔、第二下密闭腔中
放出,第一下波纹管、第二上波纹管、第二下波纹管也縮短,第一上
波纹管、第一下波纹管、第二上波纹管、第二下波纹管縮短后第一挡
板和第二挡板又对合关闭。
本实用新型的有益效果在于由于波纹管具有伸縮能力,因此无需
胶圈作为滑动密封,故跟机构可达到无泄露效果。


图1是本实用新型的结构示意图。 图2是本实用新型的局部放大图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一歩详细说明。 参照图l, 一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构,包括第一挡
板1和第二挡板2,所述第一挡板1的上端安装在第一上波纹管3上,
所述第一挡板1的下端安装在第一 卜—波纹管4上,所述的第一上波纹 管3与所述的第--下波纹管4对称。所述第二挡板2的上端安装在第 二上波纹管5」 ',所述第二挡板2的下端安装在第二下波纹管6上, 所述的第二上波纹管5与所述的第二下波纹管6对称。
所述第一上波纹管3的头部设有第--上密封头7,所述的第一密 封上头7与所述的第一上波纹管3围成第一上密闭腔9,所述的第一 上密封头7具有第一上压縮气体进气管8,所述的第一上压縮气体进 气管8与所述的第一上密闭腔9连通,本实施例中,所述的第一上压 縮气体进气管8通过第一上密封接头10与所述的第一上密封头7连 接。
所述第-下波纹管的头部设有第-下密封头,所述的第一密封下 头与所述的第一下波纹管围成第一下密闭腔,所述的第一下密封头具 有第一下压縮气体进气管,所述的第一下压縮气体进气管与所述的第 一下密闭腔连通,本实施例中,所述的第一下压縮气体进气管通过第 一下密封接头与所述的第一下密封头连接。
所述第二上波纹管的尾部设有第二上密封头ll,所述的第二上密 封头11与所述的第二上波纹管5围成第二上密闭腔12,所述的第二 上密封头11具有第二上压縮气体进气管13,所述的第二上压缩气体 进气管13与所述的第二上密闭腔12连通,本实施例中,所述的第二 上压縮气体进气管13通过第二上密封接头14与所述的第二上密封头 ll连接。
所述第二下波纹管的尾部设有第二下密封头,所述的第二卜'密封 头与所述的第二下波纹管围成第二下密闭腔,所述的第二下密封头具 有第二下压縮气体进气管,所述的第二下压縮气体进气管与所述的第 二下密闭腔连通,本实施例中,所述的第二下压縮气体进气管通过第 二下密封接头与所述的第二下密封头连接。
还包括第一拉簧15、第二拉簧16、第三拉簧17、第四拉簧18, 所述第一拉簧15的前端和后端均连接在第一上波纹管3上,所述第二 拉簧16的前端和后端均连接在第一下波纹管4上,所述第三拉簧17 的前端和后端均连接在第二上波纹管5上,所述第四拉簧18的前端和 后端均连接在第二下波纹管6上。本实施例中,所述的第一拉簧15 位于所述的第一上密闭腔9内,所述的第二拉簧16位于所述的第一下 密闭腔内,所述的第三拉簧17位于所述的第二上密闭腔12内,所述 的第四拉簧18位于所述的第二下密闭腔内。
本实用新型使用时的工作过程如前所述,由于波纹管具有伸縮能 力,因此无需胶圈作为滑动密封,故跟机构可达到无泄露效果。
权利要求1. 一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构,包括第一挡板和第二挡板,其特征在于所述第一挡板的上端安装在第一上波纹管上,所述第一挡板的下端安装在第一下波纹管上,所述的第一上波纹管与所述的第一下波纹管对称;所述第二挡板的上端安装在第二上波纹管上,所述第二挡板的下端安装在第二下波纹管上,所述的第二上波纹管与所述的第二下波纹管对称;所述第一上波纹管的头部设有第一上密封头,所述的第一密封上头与所述的第一上波纹管围成第一上密闭腔,所述的第一上密封头具有第一上压缩气体进气管,所述的第一上压缩气体进气管与所述的第一上密闭腔连通;所述第一下波纹管的头部设有第一下密封头,所述的第一密封下头与所述的第一下波纹管围成第一下密闭腔,所述的第一下密封头具有第一下压缩气体进气管,所述的第一下压缩气体进气管与所述的第一下密闭腔连通;所述第二上波纹管的尾部设有第二上密封头,所述的第二上密封头与所述的第二上波纹管围成第二上密闭腔,所述的第二上密封头具有第二上压缩气体进气管,所述的第二上压缩气体进气管与所述的第二上密闭腔连通;所述第二下波纹管的尾部设有第二下密封头,所述的第二下密封头与所述的第二下波纹管围成第二下密闭腔,所述的第二下密封头具有第二下压缩气体进气管,所述的第二下压缩气体进气管与所述的第二下密闭腔连通;还包括第一拉簧、第二拉簧、第三拉簧、第四拉簧,所述第一拉簧的前端和后端均连接在第一上波纹管上,所述第二拉簧的前端和后端均连接在第一下波纹管上,所述第三拉簧的前端和后端均连接在第二上波纹管上,所述第四拉簧的前端和后端均连接在第二下波纹管上。
2. 如权利要求1所述的VFD双面真空镀膜设备的挡板机构,其特 征在于所述的第一拉簧位于所述的第 -上密闭腔内,所述的第二拔 簧位于所述的第一下密闭腔内,所述的第三拉簧位于所述的第二卜.密 闭腔内,所述的第四拉簧位于所述的第二下密闭腔内。
3. 如权利要求1或2所述的VFD双面真空镀膜设各的挡板机构, 其特征在于所述的第一上压縮气体进气管通过第一上密封接头与所 述的第一 t:密封头连接,所述的第一下压縮气体进气管通过笫一下密 封接头与所述的第一下密封头连接;所述的第二上沐:縮气体进气管通 过第二.匕密封接头与所述的第二上密封头连接,所述的第二下〗五缩气 体进气管通过第二下密封接头与所述的第二下密封头连接。
专利摘要一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构,包括第一挡板和第二挡板,所述第一挡板的上端和下端均安装在波纹管上,所述第二挡板的上端和下端均安装在波纹管上,波纹管具有密闭腔,密闭腔内设有拉簧,并且密闭腔与压缩气体进气管连通。由于波纹管具有伸缩能力,因此无需胶圈作为滑动密封,故跟机构可达到无泄露效果。
文档编号C23C14/35GK201209164SQ20082008806
公开日2009年3月18日 申请日期2008年6月5日 优先权日2008年6月5日
发明者王正品, 章浙根, 董学军 申请人:宁波华联电子科技有限公司
再多了解一些
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1