一种vfd双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构的制作方法

文档序号:3422010
专利名称:一种vfd双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机
(二)
背景技术
在VFD真空镀膜生产线的总体设计中,考虑到成本问题,大多釆 用了对靶双面镀膜的设备结构,即采用四块磁控溅射阴极靶,左右两 两相对,可同时对两侧装载的玻璃基片进行镀膜,设备的生产效率提 高一倍。同时在对靶之间要加入活动挡板(对开挡板),来解决双面镀 膜时阴极靶材料相互沉积污染问题。但是,由于真空系统热传导能力 差、橡胶件动密封易泄漏的特殊性,以及磁控溅射高温工艺的具体要 求,使得一般的挡板机构极易产生挡板热变形,无法长时间保证真空 镀膜生产线正常的生产和运行。
(三) 发明内容
为了克服现有VFD双面真空镀膜设备的挡板机构易产生挡板热变 形的不足,本实用新型提供一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补 偿机构,可对挡板的热变形进行补偿。
本实用新型解决其技术问题的技术方案是: 一种VFD双面真空镀 膜设备的挡板热变形补偿机构,包括挡板,所述挡板由数条并排的条 形不锈钢带组成,每条不锈钢带的下端均挂设有拉簧。
进一步,每条所述条形不锈钢带的厚度为O.lmm,每条所述条形
不锈钢带的宽度为20mm。
使用时,拉簧的另一端钩设在镀膜设备上固定,使拉簧具有一定 的预先拉力,本实用新型的有益效果在于带预拉力的条形不锈钢带 可以补偿挡板长度方向上的受热变形。而并置五条条形不锈钢带则可
用以补偿挡板宽度方向上的温度差。


图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一歩详细说明。
参照图1, l.一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构, 包括挡板,所述挡板由数条并排的条形不锈钢带1组成,每条不锈钢 带1的下端均挂设有拉簧2。本实施例中,并置有五条条形不锈钢带1,
每条所述条形不锈钢带1的厚度为O.lmm,每条所述条形不锈钢带1 的宽度为20mm。
使用时,拉簧2的另一端钩设在镀膜设备上固定,使拉簧2具有 一定的预先拉力,带预拉力的条形不锈钢带1可以补偿挡板长度方向 上的受热变形。而并置五条条形不锈钢带1则可用以补偿挡板宽度方 向上的温度差。
权利要求1. 一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构,包括挡板,其特征在于所述挡板由数条并排的条形不锈钢带组成,每条不锈钢带的下端均挂设有拉簧。
2. 如权利要求1所述的VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿 机构,包括挡板,其特征在于:每条所述条形不锈钢带的厚度为0Jmm, 每条所述条形不锈钢带的宽度为20mm。
专利摘要一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构,包括挡板,所述挡板由数条并排的条形不锈钢带组成,每条不锈钢带的下端均挂设有拉簧。使用时,拉簧的另一端钩设在镀膜设备上固定,使拉簧具有一定的预先拉力,带预拉力的条形不锈钢带可以补偿挡板长度方向上的受热变形。而并置五条条形不锈钢带则可用以补偿挡板宽度方向上的温度差。
文档编号C23C14/35GK201209165SQ20082008806
公开日2009年3月18日 申请日期2008年6月5日 优先权日2008年6月5日
发明者王正品, 章浙根, 董学军 申请人:宁波华联电子科技有限公司
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