专利名称：用于在金属带上沉积合金镀膜的工业蒸汽发生器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种工业蒸汽发生器，用以借助金属蒸汽，连续地真空镀涂运动中的 基材、尤其金属带，以便在其表面上形成金属层、优选金属合金层，从而保证其优异的耐腐 蚀性并同时保持良好的冲压和可焊接的特性。
背景技术：
从二十世纪八十年代末就已经知道，在钢带表面淀积某些合金例如ZnMg具有保 护钢的作用。合金ZnMg的优异的耐腐蚀性归因于在钢带表面按具有阻挡膜作用的极致密 层形成的腐蚀产物的性质。这种合金沉积通常不可能借助常规技术如电解淀积、浸镀等进行。因此，在大气压 力下进行浸泡时，可能发生液态金属浴被空气中的氧污染，从而在金属浴的表面形成氧化 物。因此，唯一可能的方法经常是在真空下蒸发纯的或呈合金形式的液态金属 (PVD (Pressure Vapor Deposition)技术，即压力气相沉积技术)。在该技术的范围内，已知将基材放置在保持于低温并容纳熔融金属坩埚的真空围 腔中。因而沉积在温度低于金属蒸汽温度的所有壁上进行。为了提高在基材上沉积的效率 并避免浪费，对围腔的壁进行加热因而是有意义的。文献US-A-5，002, 837描述了通过蒸发沉积具有Zn2Mg或Zn2Mg/ZnnM&完全合金 相的双层Zn/ZnMg式的镀膜层。在文献EP-A-0730045中，描述了一种钢带镀层，其利用真空沉积的3层或5层 ZnMg合金层淀积而成，保证了很好的耐腐蚀性并在冲压时产生尽可能少的粉末。在文献W0-A-02/06558(或EP-A-1174526)中，在真空下通过从两个坩埚进行的共 蒸发得到ZnMg镀膜，两个坩埚其中之一装有锌而另一个坩埚中则装有镁。在被溅射到带 上之前，在一个喷射器中将蒸汽混合，每一蒸汽管道都具有一个呈板状的收缩装置或约束 装置，板设有不同形状的孔或缝隙，从而允许得到以声速的蒸汽射流并且在喷射器中最大 的蒸汽流量。通过打开具有“开/闭”双位的、或者全开或全闭式阀(机械快门)，进行蒸 汽从坩埚中经由喷射器进入到真空室中，所述阀分别在系统启动时开放而在系统停止时关 闭。使用这些阀门给解决启动或停止时的加热或冷却的问题提供了潜在的解决方案。如果 需要以受控方式加热蒸汽以消除重新冷凝的危险，则建议使用在蒸汽通过的管道中感应加 热的、如导体多孔过滤器的换热器。在文献W0-A-02/14573中描述了进行这样的镀覆从由电镀锌或浸镀锌的传统工 艺得到的镀锌基镀层出发，然后基镀层本身再在真空下被涂覆以镁。感应快速加热允许在 几秒钟内实现熔融沉积，并允许在冷却之后在整个层厚中实现ZnMg合金相的有利微结构 分布。本申请人另外还提出了一种通过PVD方法(EP-A-0756022)得到的电镀锌/ZnMg 合金双层式工业产品、以及利用红外加热系统对工艺进行的改进，用以实现镁与锌的合金
4化，以便尽可能减少脆性FeZn金属间相的形成。在文献W0-A-97/47782中，描述了一种用于连续镀覆运动中的基材的方法，其中， 通过在真空围腔中对装有由涂层金属构成的金属浴的坩埚进行感应加热而产生金属蒸汽。 蒸汽通过将其带往优选标定口径的出口孔的导管，从坩埚中排出，以形成引导向待镀覆基 材表面的射流。使用呈狭窄截面的纵向缝隙形式的孔口，允许沿着该缝隙(音颈)以恒定声 速调节蒸汽的质量流量，其优点是得到均勻的沉积层。后面将使用首字母缩略词“JVD(即 Jet Vapor D印osition)(喷射蒸汽沉积)”来表示该技术。但是，该技术具有多个缺陷，其中特别是-液态金属持续的供给意味着要在一个或几个位点考虑其回到槽；-液态金属含有杂质，蒸发后这些杂质在金属浴表面上会集聚，这就减小了流量。 一种解决的办法是从表面撇去浮渣或者使物料再循环，但是整个机械操作在真空下是难以 进行的；-难以使蒸发缝隙适配于可变带宽，这意味着需要设置用于在两侧遮蔽缝隙的遮 掩部件，因此要在真空和700°C下进行蒸汽密封，这是不容易实现的；-当带的运动停止时该缝隙难以遮蔽，这将意味着在2m或更大的典型长度上需要 存在密封的线性阀；-系统有很大的热惯性(至少几分钟)；-在真空下进行感应加热必须使总电加热功率穿过真空密封壁，这就使设备不容 易触及到和进行维修。另外，现有技术对必须进行两种不同金属的共沉积没有给出满意的解决办法，这 意味着要在蒸发器的出口混合两种射流。使用具有偏导器的中间混合箱不能带来任何令人 信服的结果。也能够通过严格控制坩埚中两种金属的浓度来实施涂层金属合金(例如85%的 Zn和15%的Mg)。但是，这样的控制意味着很大的系统管理困难，特别是坩埚中的均勻性， 尤其如果坩埚不是圆形截面时。还知道，Sidrabe公司(Lettonie)另外提出了一种PVD方法，其中，熔融金属源 被移到真空沉积室的外面，起初是用以避免在高蒸发速度下固态镁的细颗粒沉积在基材 上。通过连通管道使蒸发箱与熔融区分离，使得更加容易调节蒸发。特别地，在该管道 处进行蒸汽压力测量(例如在 SVC505/856-7188，42nd Annual Technical Conference Proceedings(1999)，pp. 39—42 中)。文献W0-A-2005/116290提出了一种此类装置，其中借助磁流动力泵调节熔融坩 埚和蒸发坩埚中的液态金属的相应液面高度。
发明内容
发明目的本发明旨在提供一种解决方案，其能够克服现有技术的缺点。本发明特别旨在实现尤其如下目标-实施简单；-容易接近和维修坩埚；
-使金属沉积具有优异的均勻性，具有使沉积头适配于可变的、可能超过2m的带 宽的简单机构；-使蒸汽流量尽可能大；-高磁力搅拌，从而避免杂质在表面离析出；-通过控制电功率和/或蒸发表面温度，使得容易调节蒸汽流量；-通过阀装在小直径的圆柱形管道中而方便了安装。辅紐糖按照主权利要求1，本发明涉及用于在基材、优选钢带上沉积金属镀膜的蒸汽发生 器，该蒸汽发生器包括真空室，所述真空室呈围腔的形式，并配有保证其中相对于外界环境 的低压状态的部件和配有允许基材进出的部件，同时该真空室相对于外界环境是基本密封 的，所述围腔包含被称为喷射器的蒸汽沉积头，该喷射器构造成形为在基材表面的和垂直 于所述基材表面的方向上以声速形成金属蒸汽射流，所述喷射器借助于供应管道与至少一 个坩埚密封地相连通，所述坩埚容纳液体形式的镀覆金属并位于所述真空室外面，其特征 在于，所述喷射器包括蒸汽出口用的纵向缝隙，所述纵向缝隙起音颈作用，该纵向缝隙在整 个基材宽度上延伸，烧结材料制的压力降构件或烧结材料制的过滤介质在蒸汽通道上、紧 接所述纵向缝隙之前布置于所述喷射器中，以使从所述喷射器通过所述音颈流出的蒸汽流 速均勻化。使流速均勻化意指使所述蒸汽的速度向量均勻并校正所述速度向量。按照在从属权利要求中提到的本发明的一些优选实施方式，按照本发明的蒸汽发 生器还包括一个或多个如下的特征，这些特征应视为将它们与主权利要求的特征相组合-所述过滤介质或压力降构件是由钛制造的；-所述过滤介质或压力降构件是烧结不锈钢纤维制的金属筛；-该蒸汽发生器包括用于调节所述喷射器中金属蒸汽的压力而在压力瞬变时不引 起惯性的调节部件；-所述调节部件包括比例阀以及可选地布置在所述供应管道中的压力降装置；_该比例阀是蝶型阀；-该蒸汽发生器包括用于将所述纵向缝隙的长度调节到适应于所述基材的宽度的 机构；-所述机构包括使所述喷射器围绕其供应管道旋转的部件；-坩埚装有液态金属的混合物；-从熔融炉通过液态金属的泵送或重力供应所述坩埚；-该坩埚包括安装在外面的感应器，用以保证液态金属的磁力搅拌；-所述坩埚包括通过泵送或重力流动朝所述熔融炉进行排放的泄放装置；-所述坩埚包括测量质量以调节坩埚中液态金属液位的外部部件；-所述喷射器、管道和坩埚都与外界环境热隔绝并由辐射加热元件之一进行加热， 辐射加热元件以后将其简称为“辐射炉”；-所述蒸汽发生器包括可选的真空围腔加热部件；-所述蒸汽发生器包括两个坩埚，这两个坩埚容纳不同的液态金属；-每个坩埚都通过一专有的管道连接于一混合器，所述混合器本身与所述喷射器 相连通；
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-每个管道包括一阀以及可选地一压力降装置，从而允许在混合待沉积到所述基 材上的蒸汽时调节每一种金属的浓度，并且允许调节所述混合器中金属蒸汽的压力而在压 力瞬变时不引起惯性；-所述混合器是所述喷射器本身，并包括烧结材料制的过滤介质，过滤介质允许使 从所述喷射器出来的每一种金属的蒸汽的流速均勻化；-由烧结材料制的所述过滤介质由钛制成，或者呈烧结不锈钢纤维制的金属筛的 形式。
图1A至1C示意性地表示按照本发明的工业蒸汽发生器的多种实施例。图2A和图2B分别表示按照本发明一优选实施方式的液态金属坩埚和蒸汽喷射器 的实施细节。图2B特别示出通过喷射器围绕其轴的简单旋转使蒸汽射流适配于带宽度的 简单调适系统。图3A至图3C表示按照本发明的蒸汽喷射器的多个视图，它们示出汽化金属的均 勻分布。图4和图5表示对于上述蒸发室的流体力学模拟结果(相应地温度和出口速度)。图6显示出对于利用按照本发明的中试设备得到的镁沉积在黑铁上所得到的显 微照片。图7说明在按照本发明的设备中调节阀开口度的例子、以及对于等于690°C的液 态镁温度随时间的相应平均沉积速度。图8示意性地表示能在基材上沉积两种纯金属的合金的一实施方式中的按本发 明的蒸汽发生器。
具体实施例方式按照本发明提出的方案在于使用一种蒸发坩埚，该坩埚与具有蒸汽输出用的纵向 缝隙的JVD喷射头分开，JVD喷射头在下面称为喷射器。这种装置的总原理在图1A中示出。 在图1B中给出了另一种示意性视图。在图1C中给出中试设备的整体表示。从镁的熔融炉 2借由管道1A向坩埚1中供料，并倾析出杂质。所使用的管道和熔融炉的类型是在金属熔 炼工业中通常使用的、且为本领域技术人员所熟知的装置。特别是，通过经检验的技术在按 照本发明的器具中进行熔融和装载。坩埚1被移置并具有圆柱形的形状，借助强磁力搅拌而能达到良好的温度均勻 性。磁力搅拌由安装在该坩埚上的感应器1B保证，磁力搅拌能够保持整个坩埚中的均勻 性，没有蒸发的杂质的偏析(倾析和漂浮分离)在熔融炉2中进行。如此就保证了蒸发条 件随时间的恒定性，也就保证了沉积条件随时间的恒定性。根据坩埚的性质及其尺寸通过 感应频率来调节磁力搅拌。移置开的坩埚与喷射器3 (在图1A中是两个)通过圆柱形的管道4相连接，喷射 器3处于真空围腔6中，金属带7通到该真空围腔内，管道4的截面尺寸确定成得到缓慢的 速度(在坩埚出口的速度理想地在每秒一米到每秒几十米的数量级)。使用圆柱形的管道，允许通过例如使用可在市场上买到的比例阀如蝶型阀5，在高温和真空中得到良好的密封。确定沉积金属厚度的蒸汽流量直接与所提供的有效功率(感 应器中的功率减去热损失)成比例，而无论比例阀的位置如何。不使用这样的阀或者通过 使用如在EP-A-1174526中那样的全开或全闭型阀，如果提高蒸汽的温度，则在压力保持于 平衡曲线(P，T)上的同时来调节该压力，但却以一定的惯性，这就是说，在突然供给能量之 后不会瞬间地或者因而引起较大的瞬变。使用比例阀允许对于同样的温度能得到在阀前 (在坩埚处)和阀后的不同压力。如果增加供给的功率，则在第一时间保持沉积压力恒定。 然后阀的开度允许蒸汽的膨胀和沉积压力的加大，其相应于在曲线(P，T)上的平衡点，即 饱和蒸汽压力。图7示出为调节蒸汽流量而使用这样的蝶型阀5和必要时还有压力降装置5A。对 于给定的阀位置质量流量是恒定的，并且几乎不存在瞬变。另一个重要优点是，在真空围腔6外部的整个部分都是可以靠近的，但缺点是在 偏置部分中的接合部处必须在真空和高温下实现密封(未示出)。为了加热坩埚、管道和喷射器，使用辐射外炉型(具有辐射丝或辐射电阻的柱形 炉类型)加热。这样的炉在实验室中在直达至1400-1500°C的温度使用。因此，从这种应用 的通常工作温度在大约700°C的角度看，这种炉是很可靠的。由于这种辐射炉，蒸汽就被过热，这使得远离了饱和蒸汽压的温度，因而远离了冷 凝点。因此就降低了再冷凝的危险。再有，进行了数字模拟，以便确定能够避免绝热膨胀、 因而避免由此引起的温度降低所造成的凝聚的速度范围。使用对具有适当绝热性能的真空室从外部进行加热，具有相当优点_加热系统容易维修；-保温和绝热在真空室外面进行，从而限制了在真空下脱气的现象；-减少与使用真空加热元件有关的、和与冷却其电气连接有关的问题；-限制了对喷射器的在真空下的筒形加热器的数量，并具有更高的使用限制(随 时间而具有更好的性能)。例如，在辐射加热的情况下，两个在1100°C的筒形加热器就足够 了 ；-使用坚固而可靠的加热技术和加热元件。对本发明优选实施方式的描述总设备按照在图1B中示出的本发明的一优选实施方式，装有熔融镁的圆柱形的坩埚1被 移置到槽6外，并与JVD头相连通，JVD头作为镁蒸汽喷射器，具有横向布置在整个带宽度 上的出口缝隙。按照本发明，带无区别地呈竖直段或水平段地布置。借助于泵实现将镁从 熔融炉泵送往坩埚，但是这种泵送能以更简单的方式通过降压进行，此时因而坩埚的压力 小于熔融炉的压力。调节部件和仪表被布置在真空外。这种装置的优点在于，没有液态镁存储在沉积槽中，这就减小了惯性，也没有真空 下杂质颗粒的离析。蒸汽传送管道4配设有加热器。(在喷射缝隙前面)镁蒸汽在带宽度 上的分布，由位于喷射器中的过滤介质3A保证。此机构还保证对穿过它的蒸汽进行过滤 和可能的再加热。该过滤介质有利地可以是烧结钛制的过滤器，厚度为几mm或更厚，例如 3mm。采用钛是由于钛不受液态镁的侵蚀，而且它还耐高温(这与通常使用的青铜或其它烧 结材料相反)。还可以有利地使用呈烧结不锈钢纤维形式的“金属筛”作为过滤介质，条件
8是如果能够保证其将来不与液态镁接触。例如，可以使用厚度1mm的SIKA-FIL过滤器(GKN Sinter Metals FiltersGmbH(吉凯恩烧结金属过滤器材公司)，Radevormwald，德国)。这 些纤维构成孔隙率可直达到85% (DIN ISO 30911-3)且孔隙有效尺寸为大约6微米至60 微米(ASTM E 1294)的编垫。坩埚本身如在图2A中详细示出的按照本发明一优选实施方式的坩埚1是唯一的，而且很容 易接近以进行任何维修作业。对于坩埚内表面，坩埚在与液态金属进行高温接触下呈惰性， 而对于坩埚外表面，该坩埚在空气中是耐氧化的。对于坩埚的外部部分，其优选是带有镀层的不锈钢制、或者是与待蒸发金属相兼 容和在高温下与空气接触相兼容的任何材料制成的。因此例如在镁的情况下将选择不锈 钢-软铁共轧材料。坩埚1的加热是传统的，由感应器1B来实现。频率有利地在400Hz-1000Hz之间。 所应用装置的其它特征是20min升温、大于60%的镁的直接加热率、大于lm/s的搅拌速度寸。热惯性减小。该装置设有在发生问题的情况下通过重力流动或泵送从坩埚向熔融 炉进行泄放的泄放装置(purge)(未示出)。在坩埚中镁液位的调节有利地通过质量测量部件(秤)进行。喷射器在图2B和图3A至3C中详细示出了喷射器3。这涉及到其长度大于待涂布带宽度 的箱体。该装置包括过滤介质或产生压降的介质3A，如此就保证了蒸汽流量在整个箱体长 度上的均勻性。喷射器3被加热到高于金属蒸汽温度的温度，并且在外面隔热。加热可以 由筒形加热器(在本实施方式中所采用的选择)进行的内加热，但也可以是由辐射电阻进 行的外加热。标定口径的缝隙保证以音速将金属蒸汽喷射到带7上。在缝隙整个长度上的 音颈(col sonique)很有效地辅助过滤介质3A，以保证在带上沉积的均勻性。通过使喷射 器在其进给管道3B的周围旋转来适应带7的宽度。图2B表示因而相当简化又可靠的在沉 积槽内部的机械结构。通过位于循环管道4上的阀5 (参见图1B)来保证蒸汽流量的调节。 如已经提到过的，图7示出能够进行的一调节示例。用中试设备得到的樽拟及测试结果表1给出了用于实施本发明而制成的中试设备的参数，这些参数与在镁沉积应用 范围内典型的工业设备进行比较。
表1图3A至图3C表示出配有其烧结钛制过滤器3A和喷射缝隙3B的喷射器3的不同 透视图。图3C表示在喷射头中蒸汽轨迹的模拟。在图4和图5中示出应用于喷射器的流体力学数字模拟的结果。在烧结过滤器之 前和之后的蒸汽温差很小(0. 103K，参见图4)。因此，膨胀在多孔材料中是准等温的。再有， 沿着出口中心线的速度分布几乎是恒定的，速度的方向只是相当接近喷射头端部才明显改 变(图5)。因此，蒸汽射流几乎是完全均勻和等温的。金属蒸汽在带上的沉积将在厚度和 结晶结构上都是均勻的。图6以不同的放大倍数示出利用上述中试设备得到的黑铁试样的镁镀膜。在此可 以看到沉积具有良好的均勻性。另一方面，按照本发明的移置装置特别适合于通过蒸汽混合进行的合金沉积，因 为它允许调节淀积的化学成分而无须改变液态合金的成分。与现有技术相反地，混合因而 是在很低流速的管道中进行的。两种不同的镀覆金属的蒸汽的混合如在图8中所示的，分别装有两种不同纯金属(例如锌和镁)的两个熔融室11、12 每个都通过设有阀5、5’的管道4、4’连接至与喷射器3相联的混合室。借助于注入坩埚中 的能量以及借助于各自的比例阀5、5’来调节两种金属在混合中的浓度，这就简化了管理的 问题。该系统的尺寸有利地被减小。在每一管道上都使用了 一个压力降系统5A，各压力降系统与相应的阀配合，这就 允许得到压力比没有该系统时更高的蒸汽(例如在700°C时为20mbar)。该装置还能够精细而迅速地调节蒸汽的流量。本发明的优点按照本发明的系统允许得到很好的温度均勻性和很好的沉积蒸汽速度均勻性，同 时可靠而且容易触及到，且具有很短的响应时间。因此，本发明非常适于该方法工业化的要求。感应加热的低频调节保证了坩埚中在成分和温度上的相当良好的均勻性，并且借助于 位于连接蒸发坩埚和沉积喷射器的管道处的阀和通过调节传递给金属的能量，蒸汽流量的 调节就很简单地进行。在W0-A-2005/116290中，真空下、包括在蒸发室内部的液位调节，借 由磁流动力泵进行。与现有技术相反地，按照本发明的液位调节是通过坩埚称重而实现的， 而且按照本发明的分配室是只容纳待沉积金属蒸汽的带缝隙的JVD系统。
权利要求
用于在基材(7)、优选钢带上沉积金属镀膜的蒸汽发生器，该蒸汽发生器包括真空室(6)，所述真空室呈围腔的形式，并配有保证其中相对于外界环境的低压状态的部件和配有允许基材(7)进出的部件，同时该真空室相对于外界环境是基本密封的，所述围腔容置被称为喷射器(3)的蒸汽沉积头，该喷射器构造成形为在朝向基材(7)表面和垂直于该基材表面的方向上，以声速形成金属蒸汽射流，所述喷射器(3)借助于供应管道(4)与至少一个坩埚(1、11、12)密封地相连通，所述坩埚容纳液体形式的镀覆金属并位于所述真空室(6)外面，其特征在于，所述喷射器(3)包括蒸汽输出用的纵向缝隙，所述纵向缝隙起音颈作用，该纵向缝隙在整个基材宽度上延伸，烧结材料制的压力降构件(3A)或烧结材料制的过滤介质在蒸汽通道上、紧接所述纵向缝隙前面布置于所述喷射器中，以使从所述喷射器(3)通过所述音颈流出的蒸汽流速均匀化。
2.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述过滤介质或压力降构件(3A) 由钛制成。
3.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述过滤介质或压力降构件(3A) 是烧结不锈钢纤维制的金属筛。
4.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，该蒸汽发生器另外包括用于调节 所述喷射器(3)中金属蒸汽的压力而在压力瞬变时不引起惯性的调节部件。
5.按照权利要求4所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述调节部件包括比例阀(5)以及 可选地布置在所述供应管道(4)中的压力降装置(5A)。
6.按照权利要求5所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述比例阀(5)是蝶型阀。
7.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述蒸汽发生器包括用于将所述 纵向缝隙的长度调适于所述基材的宽度的机构。
8.按照权利要求7所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述机构包括使所述喷射器(3)围 绕其供应管道(4)旋转的部件。
9.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述坩埚(1)容纳液态形式的金属 的混合物。
10.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，从熔融炉(2)通过液态金属的泵 送或重力供应所述坩埚(1)。
11.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述坩埚(1)包括安装在外面的 感应器(IB)，用以保证液态金属的磁力搅拌。
12.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述坩埚(1)包括通过泵送或重 力流动朝所述熔融炉(2)泄放的泄放装置。
13.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述坩埚(1)包括测量质量以调 节坩埚中液态金属液位的外部部件。
14.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述喷射器(3)、所述供应管道 (4)和所述坩埚(1)都与外界环境热隔绝并由辐射炉加热。
15.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述蒸汽发生器包括可选的真空 围腔(6)加热部件。
16.按照权利要求1所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述蒸汽发生器包括两个坩埚(11、12)，这两个坩埚容纳不同的液态金属。
17.按照权利要求16所述的蒸汽发生器，其特征在于，每个坩埚(11、12)都通过一专有 的管道(4、4，)连接于一混合器，所述混合器本身与所述喷射器(3)相连通。
18.按照权利要求17所述的蒸汽发生器，其特征在于，每个管道(4、4’)包括一阀(5、 5’ )以及可选地一压力降装置(5A)，从而允许在混合待沉积到所述基材(7)上的蒸汽时调 节每一种金属的浓度、并且允许调节所述混合器中金属蒸汽的压力而在压力瞬变时不引起 惯性。
19.按照权利要求18所述的蒸汽发生器，其特征在于，所述混合器是所述喷射器(3)本 身，并包括烧结材料制的过滤介质，用以允许使从所述喷射器(3)出来的每一种金属的蒸 汽的流速均勻化。
20.按照权利要求19所述的蒸汽发生器，其特征在于，由烧结材料制的所述过滤介质 由钛制成，或者呈烧结不锈钢纤维制的金属筛的形式。
全文摘要
本发明涉及用于在基材(7)、优选钢带上沉积金属镀膜的蒸汽发生器，其包括真空室(6)，所述真空室呈围腔的形式并包含被称为喷射器(3)的蒸汽沉积头，所述喷射器借助于供应管道(4)与至少一个坩埚(1)密封地相连通，所述坩埚容纳液体形式的镀覆金属并位于所述真空室(6)外面，其特征在于，所述喷射器(3)包括蒸汽出口用的纵向缝隙，所述纵向缝隙起音颈作用并在整个基材(7)宽度上延伸，烧结材料制的压力降构件(3A)或过滤介质在蒸汽通道上、紧接缝隙之前布置于所述喷射器中，以使从所述喷射器(3)通过所述音颈流出的蒸汽流速均匀化。
文档编号C23C14/16GK101855380SQ200880115896
公开日2010年10月6日 申请日期2008年10月10日 优先权日2007年10月12日
发明者D·马尔内菲, E·西尔伯伯格, L·旺埃, P·巴纳斯扎克 申请人:安赛乐米塔尔法国公司