专利名称：防横杆热变形的基片架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种防横杆热变形的基片架，具体用于导电玻璃进行表 面镀膜时对玻璃基片的夹持。
背景技术：
导电玻璃通过磁控溅射镀膜仪镀膜时，尤其是镀IT0陶瓷耙时，真空室必
须加热到40(TC左右，横杆等用铝合金或钛制成，在加热后会发生热膨胀，经计
算，长1500mm左右的横杆在400"C左右温度下，长度方向将伸长约12mm。在
生产过程中，横杆两端由于紧固后，横杆加热时长度方向无法自由伸长，伸长
的横杆必然造成横杆中间向外侧弓曲变形。由于横杆弓曲变形，基片架在传输
过程中，横杆与真空室内的加热器、隔热屏，隔离门阀框等发生刮擦，造成镀
膜时基片速度不均匀，薄膜膜厚与ITO方块电阻值发生微量不均匀，合格率受
到较大影响。严重时基片架还会卡在真空室内，造成全线停产停机处理，并造
成大量的废品。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是为了解决由于在真空室加热时横 杆容易弓曲变形，导致导电玻璃镀膜时基片速度不均匀，合格率受到较大影 响，甚至造成大量废品的问题，本实用新型提供了一种防横杆热变形的基片架。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是 一种防横杆热变 形的基片架，用于导电玻璃进行表面镀膜时对玻璃基片的夹持，具有基 片架竖框和横杆，其特征是还具有带螺纹孔的横杆固定块和配套的螺 栓，横杆两端分别设有长腰形孔，横杆固定块可活动地安装在长腰形孔内，横杆两端通过横杆固定块和配套的螺栓固定在基片架竖框上。
进一步地，横杆固定块具有大端和小端，小端可活动地安装在长腰
形孔内，小端宽度为7mm，长腰形孔的长度最小为14mm。即横杆固定块 与长腰形孔之间留有最少7mm的空间，加热后可保证横杆总伸长最少 14mm。
本实用新型的有益效果是；该基片架的横杆固定后，横杆固定块与
长腰形孔之间留有最少7mm的空间，加热后横杆可伸长至少14mm左右，
镀膜时玻璃基片运行速度均匀，合格率提升5%左右，废损率下降0.35%
左右，产能提高9. 35%。以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图； 图2是
图1的俯视图。
其中l.基片架竖框，2.横杆，3.横杆固定块，4.螺栓，5.长腰形孔。
具体实施方式
如
图1、 2所示， 一种防横杆热变形的基片架，用于导电玻璃进行表 面镀膜时对玻璃基片的夹持，具有基片架竖框1和横杆2，还具有带螺 纹孔的横杆固定块3和配套的螺栓4，横杆2两端分别设有长腰形孔5， 横杆固定块3具有大端和小端，小端可活动地安装在长腰形孔5内，横 杆2两端通过横杆固定块3和配套的螺栓4固定在基片架竖框1上，固 定后，横杆固定块3的大端盖在横杆2的长腰形孔5上，比横杆2高出 lmm，同时，小端宽度为7mm，长腰形孔5的宽度为8mm，长腰形孔5的 长度最小为14mm，即横杆固定块3与长腰形孔5之间留有最少7mm的空间，加热后可保证横杆2总伸长最少14mm。经过这样的改进后，导电玻 璃基片镀膜时运行速度均匀，均匀性得到保证，合格率提高了5%左右， 废损率下降0. 35%左右，产能提高9. 35%。
权利要求1.一种防横杆热变形的基片架，用于导电玻璃进行表面镀膜时对玻璃基片的夹持，具有基片架竖框(1)和横杆(2)，其特征是还具有带螺纹孔的横杆固定块(3)和配套的螺栓(4)，横杆(2)两端分别设有长腰形孔(5)，横杆固定块(3)可活动地安装在长腰形孔(5)内，横杆(2)两端通过横杆固定块(3)和配套的螺栓(4)固定在基片架竖框(1)上。
2. 根据权利要求1所述的防横杆热变形的基片架，其特征是所述的 横杆固定块(3)具有大端和小端，小端可活动地安装在长腰形孔(5)内， 小端宽度为7mm，长腰形孔(5)的长度最小为14mm。
专利摘要本实用新型涉及一种防横杆热变形的基片架，具体用于导电玻璃进行表面镀膜时对玻璃基片的夹持。它具有基片架竖框和横杆以及带螺纹孔的横杆固定块和配套的螺栓，横杆两端分别设有长腰形孔，横杆固定块可活动地安装在长腰形孔内，横杆两端通过横杆固定块和配套的螺栓固定在基片架竖框上。该基片架的横杆固定后，横杆固定块与长腰形孔之间留有最少7mm的空间，加热后横杆可伸长至少14mm左右，镀膜时玻璃基片运行速度均匀，合格率提升5％左右，废损率下降0.35％左右，产能提高9.35％。
文档编号C23C14/34GK201343498SQ200920037428
公开日2009年11月11日 申请日期2009年2月13日 优先权日2009年2月13日
发明者冯新伟 申请人:江苏津通先锋光电显示技术有限公司