专利名称：圆片的铝腐蚀方法
技术领域：
本发明涉及一种圆片的铝腐蚀方法。
背景技术：
现有腐蚀液温度较低，导致圆片腐蚀效率比较低，若提高温度，则产生过腐蚀，合 格率又降低。
发明内容
本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种圆片的铝腐蚀方法。本发明为实现上述目的，采用如下技术方案本发明圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述方法如下通过加热丝将腐蚀液温度控制在50 54°C，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6 10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HN03/H3P04/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅 片。优选地，所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。本发明减少了腐蚀时间，提高了生产效率，并且减少了腐蚀线条的毛刺，提高了化 学试剂的活性。
具体实施例方式实施例1 圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述方法如下通过加热丝将腐蚀液温度控制在50°C，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀10分钟，最 后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HN03/H3P04/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。实施例2:通过加热丝将腐蚀液温度控制在54°C，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6分钟，最 后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HN03/H3P04/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。
权利要求
一种圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述方法如下通过加热丝将腐蚀液温度控制在50～54℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6～10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。
2.根据权利要求1所述的圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述承载腐蚀液的腐蚀机为 旋转式铝腐蚀机。
全文摘要
本发明公布了一种圆片的铝腐蚀方法，通过加热丝将腐蚀液温度控制在50～54℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6～10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。本发明减少了腐蚀时间，提高了生产效率，并且减少了腐蚀线条的毛刺，提高了化学试剂的活性。
文档编号C23F1/08GK101914769SQ20101025347
公开日2010年12月15日 申请日期2010年8月13日 优先权日2010年8月13日
发明者张春华, 张馨月 申请人:无锡春辉科技有限公司