专利名称：一种空腔类零件的腔内电子束加工方法
技术领域：
本发明涉及一种空腔类零件的腔内电子束加工方法，具体涉及一种针对具有复杂 形状空腔的零件的腔内加工方法，属于材料加工技术领域。
背景技术：
目前，电子束加工技术的主要应用是电子束焊和电子束表面改性处理方面。经过 多年的发展，电子束加工技术现已成为成熟的技术，处于平稳发展、扩大应用阶段。中国发 明专利公开号CN1534732A公开了一种电子束处理方法及电子束处理装置，提供了一种经 由甲烷气体将电子束照射在SOD膜上，从而抑制绝缘膜的k值恶化和耐药品性下降的电子 束处理方法及装置。中国发明专利公开号CN1814819A公开了一种基于逐点扫描的电子束 表面硬化方法，通过控制电子束在与待硬化工件表面几何相近的点阵中各点的驻留时间 完成表面硬化处理，从而实现对复杂形状零件的表面局部热处理。中国发明专利公开号 CN1648802公开了 一种电子束选区同步烧结工艺及三维分层制造设备，提供了 一种利用电 子束固定不动，工作台在计算机的控制下，根据几何形体各层截面的坐标数据进行移动装 置。中国发明专利公开号CN101146383A公开了一种时域和空域可控的电子束加热方法，采 用扫描轨迹采用X、Y、Z三维位移分量描述，通过编程实现对电子束聚焦值及束斑形状的控 制，周期性的在三维空间内按设定的轨迹哈方式运动。以上电子束加工方法的实现需要专 用的处理装置，并通过对电子束的编程控制实现，操作麻烦，工序复杂。对于空腔类零件的内壁处理常采用冶金化学中的电镀类技术，例如中国发明专利
发明者何俊, 刘志栋, 张永和, 张涛, 王世伟 申请人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所