一种双激光涂覆装置的制作方法

文档序号:3372157阅读:243来源:国知局
专利名称:一种双激光涂覆装置的制作方法
技术领域
本实用新型属于光学技术领域,具体涉及一种双激光涂覆装置。
背景技术
金属材料的植入性假体主要用于人体需要抗重力负荷的部位(如人造四肢和人 造关节),而生物活性复合材料、陶瓷材料在负荷较轻的部位有其发展前景(如牙齿、面部 矫形手术等)。羟基磷灰石[Caltl(PO4)6(OH)2] (Hydroxyapatite简称HAp或HA)是构成人体 骨骼、牙齿的无机质,具有良好的生物相容性。在普通合成的生物材料中添加羟基磷灰石可 显著改善材料对成骨细胞的黏附和增殖能力,促进新骨生成。这种特性非常适用于需要快 速起效的假体植入性手术中。虽然羟基磷灰石具有显著的生物兼容性,但是它的陶瓷性能, 特别是低强度、低抗击性和脆性制约了羟基磷灰石作为整体材料的应用。而钛合金恰好弥 补了这一缺陷,利用其高强度和高韧性特点,该类材料已被广泛应用于矫形外科手术,甚至 包括心脏植入性支架、起搏器和瓣膜等。但是,钛合金材料的骨质黏附性很差,常常会出现 人工关节或其他假体的无菌性松动现象。钛合金羟基磷灰石涂层材料在具备金属材料的高 强度和高韧性的同时,也具备羟基磷灰石的良好生物活性。目前常用的钛合金羟基磷灰石涂层方法有离子束溅射喷涂法、涂覆_烧结法、溶 胶_凝胶法、电化学反应法、等离子喷涂法、激光烧结覆熔法、激光激发沉淀法等。其中激 光涂层方法由于其容易控制和操作简单等优点,正在日益引起关注。申请人的前置申请 专利“一种钛基金属表面进行羟基磷灰石粉末的新型激光涂层工艺”(发明专利申请号 CN200810121880. 2)通过近红外激光直接照射预先敷设在钛合金表面的羟基磷灰石进行涂 层。该方法虽然具有工艺简单、涂层厚度及羟基磷灰石的比例可控性好的特点,但是在实际 操作中存在预敷层均勻度难以控制、如果预敷层太厚,激光扫描后羟基磷灰石与基体材料 结合强度不够等缺陷。
发明内容本实用新型的目的是针对现有技术的不足,提供了一种用于金属表面涂层的双激 光涂覆装置。本实用新型包括脉冲激光器、反射透射镜、第一反射镜、第二反射镜、聚焦镜、密封 腔体、真空泵、第一透明窗体和第二透明窗体。球形的密封腔体上开有两个透明窗体,分别为第一透明窗体和第二透明窗体,第 一透明窗体所对应的光路上由远至近依次设置有脉冲激光器、反射透射镜和聚焦镜,反射 透射镜的正上方设置有第一反射镜,第二透明窗体的正上方设置有第二反射镜,第一反射 镜与第二反射镜在同一水平线上。第一透明窗体和第二透明窗体所在的轴线相互垂直,密 封腔体一侧的真空泵用来抽取腔内的气体,密封腔体内设置有物料架和目标架,物料架与 经第一透明窗体出射的激光对应,目标架与经第二透明窗体出射的激光对应。本实用新型采用双激光结构,在熔化物料的同时保证目标对象的涂覆工作同步进
3行,提高了工作效率。封闭的涂覆空间和低压环境又能使得涂层均勻。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步说明。如图1所示,一种双激光涂覆装置包括脉冲激光器1、反射透射镜11、第一反射镜 2、第二反射镜3、聚焦镜10、密封腔体8、真空泵5、第一透明窗体9和第二透明窗体4。激光 器1发出的激光为Nd:YAG激光或ArF(波长193nm)准分子脉冲激光。本实用新型中的激 光源也可以选用两个,并不一定需要从同一激光源中分离出两路。球形密封腔体8上开有两个透明窗体,分别为第一透明窗体9和第二透明窗体4, 第一透明窗体9所对应的光路上依次设置有聚焦镜10、反射透射镜11和脉冲激光器1,反 射透射镜11的正上方设置有第一反射镜2,第二透明窗体4的正上方设置有第二反射镜3, 第一透明窗体9和第二透明窗体4所在的轴线相互垂直。密封腔体8侧向的真空泵5用来 抽取腔内的气体,密封腔体8内放置有物料架6和目标架7,物料架6与经第一透明窗体9 出射的激光对应,目标架与经第二透明窗体4出射的激光对应。利用上述装置进行金属表面羟基磷灰石材料的涂覆方法如下首先将羟基磷灰石材料和基体钛金属材料分别放置于物料架和目标架上,物料架 和目标架相对平行并与水平的激光光路成45°角;然后将密封腔抽成真空(气压抽至IPa以下),然后充入水蒸汽或水蒸汽与氩气混 合体,并保持该压强,整个涂层过程在此压强下进行;脉冲激光器发出激光,激光束投射到透射反射镜,其中透射后的光束依次通过聚 焦镜、第一透明窗体进入密封腔体,投射到与光路成45度的羟基磷灰石材料。在透射反射镜处发生反射的激光,经过第一反射镜、第二反射镜后从密封腔体上 的第二透明窗体投射到与光路成45度的基体钛金属材料上。聚焦的脉冲激光对密封腔体中的羟基磷灰石材料进行激发,激发产生的羟基磷灰 石颗粒与腔体内充入的气体混合形成等离子混合体,充满整个腔室,部分羟基磷灰石颗粒 吸附到基体钛金属材料上,未聚焦的脉冲激光对密封腔体中的基体钛金属材料加热,使基 体钛金属材料上光斑区的温度保持在400°C以上(即在基体钛金属材料熔点以上),从而完 成该光斑区内羟基磷灰石材料的涂覆。再调整基体钛金属材料的光斑区位置,重复操作直到基体钛金属材料的整个外表 面均完成羟基磷灰石材料的涂覆为止,这样在基体钛金属材料上形成1 10 μ m厚的羟基 磷灰石涂层。
权利要求一种双激光涂覆装置,包括脉冲激光器、反射透射镜、第一反射镜、第二反射镜、聚焦镜、密封腔体、真空泵、第一透明窗体和第二透明窗体,其特征在于球形的密封腔体上开有两个透明窗体,分别为第一透明窗体和第二透明窗体,第一透明窗体所对应的光路上由远至近依次设置有脉冲激光器、反射透射镜和聚焦镜;反射透射镜的正上方设置有第一反射镜,第二透明窗体的正上方设置有第二反射镜,第一反射镜与第二反射镜在同一水平线上;第一透明窗体和第二透明窗体所在的轴线相互垂直,密封腔体一侧的真空泵用来抽取腔内的气体,密封腔体内设置有物料架和目标架,物料架与经第一透明窗体出射的激光对应,目标架与经第二透明窗体出射的激光对应。
专利摘要本实用新型涉及一种双激光涂覆装置。现有的设备工作效率不高。本实用新型中的球形的密封腔体上开有两个透明窗体,分别为第一透明窗体和第二透明窗体,第一透明窗体所对应的光路上由远至近依次设置有脉冲激光器、反射透射镜和聚焦镜;反射透射镜的正上方设置有第一反射镜,第二透明窗体的正上方设置有第二反射镜,第一反射镜与第二反射镜在同一水平线上;第一透明窗体和第二透明窗体所在的轴线相互垂直,密封腔体一侧的真空泵用来抽取腔内的气体,密封腔体内设置有物料架和目标架,物料架与经第一透明窗体出射的激光对应,目标架与经第二透明窗体出射的激光对应。本实用新型结构简单、工作效率高。
文档编号C23C24/08GK201762443SQ20102025639
公开日2011年3月16日 申请日期2010年7月9日 优先权日2010年7月9日
发明者吕永桂, 陈凯 申请人:杭州电子科技大学
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