专利名称：一种改进的真空镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空镀膜机，特别涉及对真空镀膜机的回转治具的结构的改进。
背景技术：
真空镀膜机是一类需要在较高真空度的条件下进行镀膜的设备，请参阅图1，真空 镀膜机一般包括壳体101和回转治具102。所述壳体101呈圆筒状，回转治具102相应呈圆 盘状，并且回转治具可转动。在真空镀膜机内设置有用于放置镀膜基材的镀膜支架，为了便 于控制回转治具转动，减少回转治具和壳体之间的摩擦，在所述壳体101和回转治具102之 间设置有钢珠103。在回转治具102转动时，钢珠103也会随着回转治具102转动，但是，钢珠103在 转动的过程中会发生碰撞，这样会导致钢珠103的表面破坏，使回转治具转动时产生振动， 导致镀膜支架上的产品落下，影响了真空镀膜的质量。而且，钢珠容易破坏，需要经常更换， 提高了设备的维修成本。因而现有真空镀膜机的结构还有待改进和提高。 发明内容鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种改进的真空镀膜 机，能防止真空镀膜机的回转治具转动时发生振动。为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案—种改进的真空镀膜机，包括壳体和可转动的回转治具，在所述壳体和回转治具 之间设置有可滚动的钢珠，其中，所述钢珠之间设置有润滑件。所述的真空镀膜机，其中，所述润滑件间隔分布在每两颗钢珠之间。所述的真空镀膜机，其中，所述润滑件每隔两颗钢珠分布一个。所述的真空镀膜机，其中，润滑件为润滑圆柱。 所述的真空镀膜机，其中，润滑件为润滑圆珠。所述的真空镀膜机，其中，所述润滑圆柱的半径与所述钢珠的半径相等。所述的真空镀膜机，其中，所述润滑圆珠的半径与所述钢珠的半径相等。所述的真空镀膜机，其中，所述润滑圆柱为二硫化钨柱。所述的真空镀膜机，其中，所述润滑圆珠为二硫化钨珠。本实用新型提供的真空镀膜机，采用了在钢珠之间设置润滑件，使钢珠在转动过 程中与该润滑件触接，起到了润滑作用，从而防止钢珠之间发生碰撞，提高了真空镀膜机转 动时的稳定性，从而提高了真空镀膜机的镀膜质量。并且在转动过程中，钢珠不容易破坏， 节约了设备的成本和维修经费，提高了设备的使用寿命。
图1为现有技术的真空镀膜机的部分结构示意图。
3[0018]图2为本实用新型实话例提供的真空镀膜机的部分结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提供一种改进的真空镀膜机，为使本实用新型的目的、技术方案及效 果更加清楚、明确，以下参照附图并举实例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处 所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。请参阅图2，本实用新型提供的真空镀膜机包括壳体110和回转治具120。所述壳 体110呈圆筒状，回转治具120相应呈圆盘状，并且回转治具可转动。为了便于控制回转治 具转动，减少回转治具和壳体之间的摩擦，在所述壳体110和回转治具120之间设置有钢珠 130。本实施例中，所述钢珠130之间间隔设置有润滑件140，使钢珠130转动时与润滑 件140触接，从而在回转治具转动时，防止钢珠与钢珠直接碰撞，使回转治具120能稳定的 转定，提高了真空镀膜机的稳定性。而且该润滑件140防止了钢珠损坏，延长了钢珠的使用 寿命，从而降低真空镀膜机维修经费。在具体实施时，钢珠130和润滑件140的分布可以采用多种方式，譬如，所述润滑 件140间隔分布在每两颗钢珠130之间，即每两颗钢珠130之间设置一个润滑件140，使每 颗钢珠130都夹在润滑件140之间，减小钢珠与钢珠的碰撞。本实用新型实施例还可以采用将润滑件140每隔两颗钢珠130分布一个，如 图2所示的分布状态。只要使每颗钢珠在滚动时都能与润滑件140触接，同样能达到润滑 效果，而且也减少了润滑件的数量。在回转治具120转动时，钢珠130和润滑件140也会随着回转治具一起转动，为了 回转治具灵活的转动，所述润滑件14采用润滑圆柱或者润滑圆珠。在进一步的实施例中，当润滑件采用润滑圆柱时，所述润滑圆柱的半径与钢珠的 半径相等；当润滑件采用润滑圆珠时，所述润滑圆珠与钢珠的半径相等，使回转治具120更 平滑的转动。在更地进一步的实例中，所述润滑圆柱采用二硫化钨柱，所述润滑圆珠采用二硫 化钨珠。由于二硫化钨具有很低的摩擦系数，较高的抗极压性能和抗氧化性能，适用于高 温、高压、高真空、高负荷、高转速、高辐射、强腐蚀、超低温等各种苛刻条件下的润滑。所以 本实施方式采用二硫化钨柱或者二硫化钨珠为润滑件的使用寿命，从而降低真空镀膜机的 维修成本，降低维修经费。二硫化钨珠和二硫化钨柱的使用寿命在五年左右，当二硫化钨珠和二硫化钨柱被 磨损消耗一部分，或者全部消耗后，只需更换该二硫化钨珠和二硫化钨柱即可。综上所述，本实用新型提供的真空镀膜机，采用了在钢珠之间设置润滑件，使钢珠 在转动过程中与该润滑件触接，起到了润滑作用，从而防止钢珠之间发生碰撞，提高了真空 镀膜机转动时的稳定性，从而提高了真空镀膜机的镀膜质量。并且在转动过程中，钢珠不容 易破坏，节约了设备的成本和维修经费，提高了设备的使用寿命；同时还节约了维修时间， 从而提高了生产效率。可以理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据本实用新型的技术方案及 其发明构思加以等同替换或改变，而所有这些改变或替换都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
权利要求1.一种改进的真空镀膜机，包括壳体和可转动的回转治具，在所述壳体和回转治具之 间设置有可滚动的钢珠，其特征在于，所述钢珠之间设置有润滑件。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述润滑件间隔分布在每两颗钢 珠之间。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述润滑件每隔两颗钢珠分布一个。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的真空镀膜机，其特征在于，润滑件为润滑圆柱。
5.根据权利要求1至3任意一项所述的真空镀膜机，其特征在于，润滑件为润滑圆珠。
6.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于，所述润滑圆柱的半径与所述钢珠 的半径相等。
7.根据权利要求5所述的真空镀膜机，其特征在于，所述润滑圆珠的半径与所述钢珠 的半径相等。
8.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于，所述润滑圆柱为二硫化钨柱。
9.根据权利要求5所述的真空镀膜机，其特征在于，所述润滑圆珠为二硫化钨珠。
专利摘要本实用新型公开了一种改进的真空镀膜机，包括壳体和可转动的回转治具，在所述壳体和回转治具之间设置有可滚动的钢珠，其中，所述钢珠之间设置有润滑件。本实用新型提供的真空镀膜机，采用了在钢珠之间设置润滑件，使钢珠在转动过程中与该润滑件触接，起到了润滑作用，从而防止钢珠之间发生碰撞，提高了真空镀膜机转动时的稳定性，从而提高了真空镀膜机的镀膜质量。并且在转动过程中，钢珠不容易破坏，节约了设备的成本和维修经费，提高了设备的使用寿命。
文档编号C23C14/50GK201883143SQ20102066157
公开日2011年6月29日 申请日期2010年12月16日 优先权日2010年12月16日
发明者中村段次, 向启亮, 向贵斌 申请人:捷荣模具工业(东莞)有限公司