真空镀膜机转动机构的制作方法

文档序号:3416267
专利名称:真空镀膜机转动机构的制作方法
技术领域
本发明属于真空镀膜设备,特别涉及一种通过转换镀膜工件位置实现蒸发镀膜的加工设备。
背景技术
真空镀膜是指需要在较高真空度下进行镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。对于蒸发镀膜,一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片(或称工件)表面,通过成膜过程形成薄膜。厚度均匀性和组分均匀性主要
取决于工件材料与靶材的晶格匹配程度;工件表面温度;靶材蒸发功率和速率;镀膜真空度;镀膜时间和厚度大小。当调整了工件镀膜温度和真空度,以及靶材蒸发条件后,就需要按照工件特定要求,需要通过合理设置的传机构来连续转换镀膜工件位置,才能确保工件镀膜质量,尤其对于如汽车轮毂之类的大型工件显得特别重要。

发明内容
为了克服上述缺陷,本发明提供一种真空镀膜机转动机构,通过连续调整镀膜工件位置达到工件镀膜均匀度,提高了效率。本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种真空镀膜机转动机构,包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达,该旋转支架位于真空腔室内,该真空腔室由底座和安装于该底座的穹顶罩组成,其中I)该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环,该上托架中部固定于该穹顶罩顶部转动轴上,该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆连接固定,对应该下环的内边缘,该底座设有多个便于该下环转动的滚轮;2)该马达驱动紧配于该下环内边缘的驱动滚轮连带该下环转动。作为本发明的进一步改进,该上托架由上内环、上外环和多个辐条组成,该上内环固定于该穹顶罩顶部转动轴上,该多个辐条两端分别连接该上内环和上外环,并呈辐射状分布,该上外环与该下环之间通过多个并行的该直立杆连接固定。作为本发明的进一步改进,该驱动滚轮固定于一个连接轴的上端,该连接轴中部固定于该底座而下端伸出于该底座,并通过安装于该真空腔室外部的该马达驱动转动。作为本发明的进一步改进,该驱动滚轮为齿轮,该下环内边缘对应设有能与该齿轮啮合的环形齿条,该马达为步进马达。本发明的有益技术效果是所述上托架可以放置如小型镀膜工件,也可以固定如汽车轮毂的大型镀膜工件,所述旋转支架通过其下环与驱动滚轮紧配时产生摩擦后,带动该旋转支架转动,从而实现镀膜工件旋转。更进一步,所述驱动滚轮采用齿轮,而该下环对应边缘具有可啮合的齿条,所述马达也采用步进马达驱动。由此实现了所述旋转支架任意控制转动位置,包括正转或反转,以及转动的度数。


图I为本发明的轴向剖视图;图2为本发明的A-A剖视图。对照以上附图,作如下补充说明I-底座2-穹顶罩4-滚轮5-下环6-直立杆 9-上内环·
14-上外环 21-驱动滚轮22——马达25——辐条27——导电槽 28——转动轴
具体实施例方式结合图I和图2,以下作进一步描述一种真空镀膜机转动机构,包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达22,该旋转支架位于真空腔室内,该真空腔室由底座I和安装于该底座的穹顶罩2组成,其中I)该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环5,该上托架由上内环9、上外环14和多个辐条25组成,该上内环9固定于该穹顶罩2顶部转动轴28上(所述转动轴28在图I中用虚线标出),该多个辐条25两端分别连接该上内环9和上外环14,并呈辐射状分布,该上外环14与该下环5之间通过多个并行的直立杆6连接固定,对应该下环的内边缘,该底座设有多个便于该下环5转动的滚轮4 ;2)该马达22驱动紧配于该下环5内边缘的驱动滚轮21连带该下环5转动,该驱动滚轮21固定于一个连接轴24的上端,该连接轴24中部固定于该底座I而下端伸出于该底座,并通过安装于该真空腔室外部的该马达22驱动转动。为了更精确控制该旋转支架转动,该驱动滚轮21为齿轮,该下环5内边缘对应设有能与该齿轮啮合的环形齿条,该马达22为步进马达。为了完成真空镀膜加工,该穹顶罩侧部还必须设有便于装卸镀膜工件的密封门,此外,该底座上设有靶材和加热机构,该加热机构为可放置该靶材的导电槽27,该导电槽安装于该底座上固定支架,该导电槽两侧通过两导电棒引出于该真空腔室后,分别与一个电源变压器次级绕组两端连接,此外所述真空腔室内需要抽真空设备和对镀膜工件预加热设备,所有这些是真空镀膜必须的技术手段,也是业内人士所公知技术,不是本发明的技术创新,在次不作详细描述。
权利要求
1.一种真空镀膜机转动机构,包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达(22),该旋转支架位于真空腔室内,该真空腔室由底座(I)和安装于该底座的穹顶罩(2)组成,其特征在于其中 1)该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环(5),该上托架中部固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴(28)上,该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆(6)连接固定,对应该下环的内边缘,该底座设有多个便于该下环(5)转动的滚轮(4); 2)该马达(22)驱动紧配于该下环(5)内边缘的驱动滚轮(21)连带该下环(5)转动。
2.根据权利要求I所述的真空镀膜机转动机构,其特征在于该上托架由上内环(9)、上外环(14)和多个辐条(25)组成,该上内环(9)固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴上,该多个辐条(25)两端分别连接该上内环(9)和上外环(14),并呈辐射状分布,该上外环(14)与该 下环(5)之间通过多个并行的该直立杆(6)连接固定。
3.根据权利要求I或2所述的真空镀膜机转动机构,其特征在于该驱动滚轮(21)固定于一个连接轴(24)的上端,该连接轴(24)中部固定于该底座(I)而下端伸出于该底座,并通过安装于该真空腔室外部的该马达(22)驱动转动。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜机转动机构,其特征在于该驱动滚轮(21)为齿轮,该下环(5)内边缘对应设有能与该齿轮啮合的环形齿条,该马达(22)为步进马达。
全文摘要
一种真空镀膜机转动机构,包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达,该旋转支架位于真空腔室内,该真空腔室由底座和安装于该底座的穹顶罩组成,该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环,该上托架中部固定于该穹顶罩顶部转动轴上,该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆连接固定,对应该下环的内边缘,该底座设有多个便于该下环转动的滚轮,该马达驱动紧配于该下环内边缘的驱动滚轮连带该下环转动,该上托架由上内环、上外环和多个辐条组成,该上内环固定于该穹顶罩顶部转动轴上,该多个辐条两端分别连接该上内环和上外环,并呈辐射状分布,该上外环与该下环之间通过多个并行的该直立杆连接固定。
文档编号C23C14/24GK102899617SQ20111021006
公开日2013年1月30日 申请日期2011年7月26日 优先权日2011年7月26日
发明者黄水祥 申请人:御林汽配(昆山)有限公司
再多了解一些
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1