专利名称：背板的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体领域，尤其涉及背板的制作方法。
背景技术：
在现代大规模的集成电路制造エ艺中，磁控溅射以其溅射率高、基片温升低、 膜-基结合力好等优势成为了最优异的基片镀膜エ艺。在磁控溅射镀膜エ艺中，靶材组件由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一定強度的背板构成。所述背板不仅在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用， 而且其具有传导热量的功效，用于磁控溅射エ艺中靶材的散热。在磁控溅射镀膜过程中，靶材组件工作环境较为苛刻。靶材组件处于高温、高压电场和磁场强度较大的磁场中，且正面在KT9Pa的高真空环境下，受到各种高能量离子轰击，致使靶材发生溅射，而溅射出的中性的靶材原子或分子沉积在基片上形成薄膜。在溅射的过程中靶材组件的背板由于晶粒涨大和晶粒不均勻，导致背板扭曲变形，一方面直接造成靶材各部分与硅片基底间的偏差，使镀膜的參数异常，影响后续制成的集成电路质量，另一方面会影响溅射靶材的使用寿命。因此，在制作背板时需要通过锻打エ艺来均勻细化背板的晶粒，靶材组件应用该背板能够提高使用效率和使用寿命。但是，目前锻打エ艺均勻细化背板的晶粒的方法还不成熟。以黄铜背板为例，黄铜背板中含有一定量的锌元素，锌为体心立方金属，背板在锻打过程中易出现温脆性的现象；同吋，由于黄铜背板中还存在微量的铅、铋有害杂质与背板金属铜形成低熔点共晶薄膜分布在晶界上，锻打过程中易产生晶间破裂的现象。因此，有必要提出一种新的背板的制作方法，以克服现有技术的背板的晶粒不够均勻和不够细化的缺陷。
发明内容
本发明的目的在于提供一种背板的制作方法，以得到内部组织结构均勻和足够细化的背板，防止背板扭曲变形。为解决上述间题，本发明ー种背板的制作方法，其特征在干，包括提供背板铸件；在800°C 1000°C，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；对所述背板坯料进行处理，形成背板。可选的，所述锻打包括五个阶段，分别为第一阶段锻打、第二阶段锻打、第三阶段锻打、第四阶段锻打和第五阶段锻打。可选的，在所述第一阶段锻打之前、所述第一阶段锻打和所述第二阶段锻打之间、 所述第三阶段锻打和所述第四阶段锻打之间、所述第四阶段锻打和所述第五阶段锻打之间进行热处理。可选的，所述热处理的温度为800°C 1000°C。可选的，所述第一阶段锻打为压缩锻打，所述第一阶段锻打后的尺寸为第一阶段锻打前尺寸的三分之一至二分之一，形成第一阶段锻打中间体；所述第二阶段锻打为拉伸锻打，所述第二阶段锻打前的尺寸为第二阶段锻打后尺寸的三分之一至二分之一，形成第二阶段锻打中间体；所述第三阶段锻打为压缩锻打，所述第三阶段锻打后的尺寸为第三阶段锻打前尺寸的三分之一至二分之一，形成第三阶段锻打中间体；所述第四阶段锻打为拉伸锻打，所述第四阶段锻打前的尺寸为第四阶段锻打后尺寸的三分之一至二分之一，形成第四阶段锻打中间体；所述第五阶段锻打为压缩锻打，所述第五阶段锻打后的尺寸为第五阶段锻打前尺寸的三分之一至二分之一，形成背板坯料。可选的，将所述第一阶段段打中间体顺时针翻转80度 100度进行锻打形成第二锻打中间体，将所述第二阶段锻打中间体顺时针翻转80度 100度进行锻打形成第三锻打中间体，将所述第三阶段锻打中间体顺时针翻80度 100度进行锻打形成第四锻打中间体。可选的，将所述第一阶段段打中间体逆时针翻转80度 100度进行锻打形成第二锻打中间体，将所述第二阶段锻打中间体逆时针翻转80度 100度进行锻打形成第三锻打中间体，将所述第三阶段锻打中间体逆时针翻转80度 100度进行锻打形成第四锻打中间体。可选的，每个阶段锻打的所述锻打的时间为aiiin :3min。可选的，每个阶段锻打的所述锻打的压カ为300吨 850吨。可选的，所述对所述背板坯料进行处理为固溶时效处理。可选的，所述固溶时效处理分两步骤进行，分别为第一步骤和第二步骤，所述第一步骤的温度为500°C 800°C，并且保温浊 4h，所述第二步骤的温度为200°C 500°C，并且保温Ih 3h。可选的，形成所述背板铸件的方法为对金属料件进行熔融铸件处理。可选的，所述金属料件为铜合金、铝合金或者为硬度、导电性和铜类似的金属或合
、 >. ο可选的，所述熔融铸件处理的温度为800°C 1000°C。与现有技术相比，本发明技术方案具有以下优点(1)800°C 1000°C锻打可以将背板铸件的柱状晶更容易破碎为细晶粒，能够更好的修复上述背板铸件内部的气孔，进而使其内部结构由疏松变为紧实，能够得到内部组织结构更加均勻和足够细化的背板(晶粒大小为100 μ m 200 μ m)，防止背板扭曲变形。一方面减小靶材各部分与硅片基底间的偏差，提高镀膜的质量，另ー方面提高溅射靶材组件的使用寿命。(2)锻打步骤中的第一阶段锻打、第三阶段锻打和第五阶段锻打为压缩锻打，第二阶段锻打和第四阶段锻打为拉伸锻打，锻打过程为压缩锻打和拉伸锻打交替进行，可以使背板铸件和各个锻打中间体变形最大化，还可以最大化的细化和均勻背板铸件和各个锻打中间体的晶粒。(3)锻打步骤中将第一锻打中间体、第二锻打中间体、第三锻打中间体和第四锻打中间体依次顺时针或者逆时针翻转80度 100度锻打，可以从各个方向上都能够更好的细
5化背板铸件和各阶段锻打中间体的晶粒，并且能够更好的均勻化背板铸件和各阶段锻打中间体的晶粒。(4)采用两个步骤对所述背板坯料进行固溶时效处理，即第一步骤将背板坯料加热到500°C 800°C，并且保温池 4h。第二步骤将第一歩骤处理后的背板坯料加热到 200°C 500°C，并且保温Ih 池，可以更好的形成单向固溶体从而增加背板的硬度，硬度可以达到100HV以上，还可以得到晶粒结构较小并且晶粒组织均勻的背板，晶粒尺寸为 ΙΟΟμ200μ ο
图1为本发明实施例的背板制作方法的流程示意图；图2至图8是根据图1所示流程的示意图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。正如背景技术部分所述，现有技术制作的背板，内部组织不均勻和不够细化，出现了扭曲变形现象。为了克服上述缺陷，本发明提供了一种背板的制作方法，改变了背板的内部组织结构，使得背板的组织结构更加细化和均勻。本发明实施例提供一种背板的制作方法，如图1所示，包括步骤Sl 1，提供金属料件；步骤S12，对所述金属料件进行熔融铸件处理，形成背板铸件；步骤S13，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；步骤S14，对所述背板坯料进行固溶时效处理，形成背板。下面结合附图对上述图1中所示的方法进行详细说明。首先执行步骤S11，提供金属料件。本实施例中所述金属料件可以为铜合金或铝合金。在其他实施例中，所述金属料件还可以为钨合金、钛合金，或者还可以为硬度、导电性和铜类似的合金。在实际应用中，金属料件可以是从金属锭中经切断后的一部分，金属料件的形状， 根据应用环境、溅射设备的实际要求，可以为圆柱体、长方体、环形、圆锥体或其他类似形状 (包括规则形状和不规则形状)中的任ー种。接着执行步骤S12，对所述金属料件进行熔融铸件处理，形成背板铸件。以铜合金为例，将所述金属料件放置在真空熔炼炉中进行熔融，熔融温度为 800°C 1000°C。温度如果小于800°C，金属料件不能熔融；温度如果大于1000°C，易造成能量的浪费。并且在熔融金属料件的过程中，还需要对所述真空熔炼炉进行抽气，以降低所述真空熔炼炉中的气体与黄铜熔融液发生反应的几率，因此在熔融的同时进行抽气，使得所述真空熔炼炉中的氢气和/或氧气控制在可允许的范围内。
另外，如果金属料件为铝合金，为确保熔融的质量，在所述真空熔炼炉内添加氢元素和硼元素。其中，硼元素(例如三氯化硼)可用于从熔融的铝液中除去氮化物、碳化物和氧化物，提高铝背板铸件品质。然后将熔融金属料件液流入铸模后被冷却并初步凝固成一定厚度的背板铸件，再通过例如喷水或喷蒸汽等冷却方式予以冷却，使得背板铸件完全凝固并成型。本实施例中，如图2所示，所述背板铸件A为圆柱体，其直径范围为170mm 210mm，高度Ha范围为 300mm 400mm，较佳直径为200mm，较佳高度Ha为300mm。步骤S13，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；本实施例中的锻打步骤主要是为了消除背板铸件内部原始铸造组织疏松等铸造缺陷，优化背板铸件内部的微观组织结构，将背板铸件的柱状晶破碎为细晶粒，修复上述背板铸件内部的气孔，进而使其内部结构由疏松变为紧实。本实施例中所述锻打包括五个阶段的锻打，分别为第一阶段锻打至第五阶段锻打，其中，在每阶段所述锻打之前都进行热处理。具体为对背板铸件进行第一次热处理后进行第一阶段锻打，形成第一阶段锻打中间体。所述进行第一次热处理包括将所述背板铸件A置于热处理装置中，在所述热处理装置中可充入可控气氛或保护气氛，例如惰性气体，温度加热至800°C 1000°C，并保温至其内部受热均勻。如果加热温度小于800°C，背板铸件A没有充分的受热，硬度比较大而无法进行锻打エ艺或者对其进行锻打时容易产生裂纹，如果加热温度大于1000で，一方面会造成热能的浪费，另一方面背板铸件太软，也不容易进行锻打エ艺。结合图2和图3，将第一次热处理后的背板铸件A进行第一阶段锻打，形成第一阶段锻打中间体B。所述第一阶段锻打为锻打背板铸件A的顶面Al，即第一阶段锻打为压缩背板铸件A的高度Ha，当其减少三分之一或二分之一吋，第一阶段锻打过程结束，上述阶段的锻打压カ为300吨 750吨，锻打时间一般为aiiin 3min，形成第一阶段锻打中间体B。 锻打压力太大，易超出背板铸件的弹性极限；锻打压カ太小，使得锻打次数增多，降低效率， 使得锻打时间变长，则背板铸件A冷却而不易锻打；锻打时间太短，则背板铸件A的变形量不够。本实施例中，第一阶段锻打中间体B同样为圆柱体，其高度Hb为背板铸件高度Ha的三分之一至二分之一，较佳为三分之一。本实施例中，第一阶段锻打中间体B直径为230mm 280mm,高度Hb为IOOmm 200mm，直径较佳为观0讓，高度Hb (下标)较佳为100mm。接着，将第一阶段锻打中间体B进行第二次热处理，具体可以參考第一次热处理。 对第二次热处理后的第一阶段锻打中间体B顺时针翻转80度 100度，本实施例较佳为90 度，然后，结合图3和图4，对所述第一阶段锻打中间体B的侧面B2进行第二阶段锻打，使其拉伸，将第一阶段锻打中间体B的侧面长度(即第一阶段锻打中间体的高度Hb)拉伸至第二阶段锻打中间体C的长度Ca时结束，此时第二阶段锻打中间体C的长度Ca为第一阶段锻打中间体B的高度Hb的两倍至三倍。上述阶段锻打过程的锻打的压カ为300吨 750吨，锻打时间为anin :3min。形成第二阶段锻打中间体C。锻打压力太大，易超出背板铸件的弹性极限；锻打压カ太小，使得锻打次数增多，降低效率，使得锻打时间变长，则第一阶段锻打中间体B冷却而不易锻打；锻打时间太短，则第一阶段锻打中间体B的变形量不够。所述第 ニ阶段锻打中间体C为长方体。本实施例中，第二阶段锻打中间体C的长度Ca为200mm 600mm,宽度Cb和高度C。都为130mm 170mm，本实施例中，第二阶段锻打中间体C的长度Ca为第一阶段锻打中间体B的高度Hb较佳为三倍，第二阶段锻打中间体C的长度Ca较佳为 300mm,宽度Cb和高度C。都较佳为150mm。接着，将第二阶段锻打中间体C进行第三次热处理，具体可以參考第一次热处理。 对第三次热处理后的第二阶段锻打中间体C继续顺时针翻转80度 100度，本实施例较佳为90度，结合图4和图5对所述第二阶段锻打中间体C的正方形的面Cl进行第三阶段锻打，将第二阶段锻打中间体C的长度Ca压缩至第三阶段锻打中间体D的高度D。时结束，此时第三阶段锻打中间体D的高度D。是第二阶段锻打中间体C的长度Ca的三分之一至二分之一，上述阶段的锻打压カ为300吨 750吨，锻打时间为aiiin 3min，形成第三阶段锻打中间体D。锻打压力太大，易超出背板铸件的弹性极限；锻打压カ太小，使得锻打次数增多， 降低效率，使得锻打时间变长，则第二阶段锻打中间体C冷却而不易锻打；锻打时间太短， 则第二阶段锻打中间体C的变形量不够。所述第三阶段锻打中间体D为正方体(包括第一侧面Dl和第二侧面拟)。本实施例中，第三阶段锻打中间体D的高度D。，长度Da和宽度Db 都为66mm 300mm。第三阶段锻打中间体D的高度D。较佳为第二阶段锻打中间体C的长度Ca的三分之一，为100_。在其他实施例中，如图6所示，第三阶段锻打中间体也可以为长方体D’(包括第一侧面D1’和第二侧面D2’，所述第一侧面D1’为长方形，第二侧面D2’为正方形)。本实施例中，第三阶段锻打中间体D，的高度D。，为66mm 300mm，长度Da'和宽度Db'为170mm 220mm。第三阶段锻打中间体D’的高度D。’较佳为第二阶段锻打中间体C的长度Ca的三分之一，为100mm，长度Da，和宽度Db，较佳为200mm。接着，将第三阶段锻打中间体D进行第四次热处理，具体可以參考第一次热处理。 对第四次热处理后的第三阶段锻打中间体D继续顺时针翻转80度 100度，本实施例较佳为90度，结合图5、图6和图7，对所述第三阶段锻打中间体D的第一侧面Dl (也可以是 Dl’ )进行第四阶段锻打，使正方体D(也可以是长方体D’ )高度D。(或D。’ )方向进行拉伸，即第三锻打中间体的高度D。(或D。’ )拉伸至第四阶段锻打中间体E的长度Ea时结束， 上述阶段的锻打压カ为300吨 750吨，锻打时间为aiiin 3min，形成第四阶段锻打中间体E。锻打压力太大，易超出背板铸件的弹性极限；锻打压カ太小，使得锻打次数增多，降低效率，使得锻打时间变长，则第三阶段锻打中间体D冷却而不易锻打；锻打时间太短，则第三阶段锻打中间体D的变形量不够。所述第四阶段锻打中间体E为长方体，与第二阶段锻打中间体C尺寸相同。所述第四阶段锻打中间体E的长度Ea与第三阶段锻打中间体D的高度D。(或D。’)的比例为3 1 2 1，本实施例中，第四阶段锻打中间体的长度民为 200mm 600mm，宽度K和高度E。都为130mm 170mm。第四阶段锻打中间体E的长度fe 与第三锻打中间体D的高度D。(或D。’)的比例较佳为3 1，第四阶段锻打中间体E的长度Ea较佳为300mm，宽度K和高度E。较佳为150mm。接着，将第四阶段锻打中间体E进行第五次热处理，具体可以參考第一次热处理。 结合图7和图8，对第五次热处理后的第四阶段锻打中间体E的第一侧面El进行锻打，使第四阶段锻打中间E的高度E。压缩形成背板坯料F，所述背板坯料为圆柱体，后者的高度Hf 与前者的高度E。之间的比值为1 3 1 2，则第五阶段锻打结束。上述阶段的锻打压 カ为300吨 750吨，锻打时间为aiiin :3min。锻打压力太大，易超出背板铸件的弹性极限；锻打压カ太小，使得锻打次数增多，降低效率，使得锻打时间变长，则第四阶段锻打中间体E冷却而不易锻打；锻打时间太短，则第四阶段锻打中间体E的变形量不够。本实施例中，背板坯料F的直径为530mm 580mm，高度Hf为39mm 85mm，背板坯料F的高度Hf与第四阶段锻打中间E的高度E。之间的比值较佳为1 3，直径较佳为550mm，高度Hf较佳为 50mm,上述尺寸符合背板坯料的生产尺寸要求。通过在每个阶段锻打前进行热处理步骤，可以改变背板铸件和各个锻打中间体的内部的组织结构，使得背板铸件和各个锻打中间体消除应カ并得到软化，提高其塑性，最终使得背板坯料的内部组织结构均勻。本实施例中的第二阶段锻打至第四阶段锻打过程中使得背板铸件依次顺时针翻转80度 100度，分別形成第二阶段锻打中间体、第三阶段锻打中间体和第四阶段锻打中间体，背板铸件的各个方向上都进行锻打，能够更好的细化背板铸件的晶粒，并且能够更好的均勻化背板铸件的晶粒。在其他实施例中，也可以对背板铸件依次逆时针翻转80度 100 度。本实施中的锻打步骤中的第一阶段锻打、第三阶段锻打和第五阶段锻打为压缩锻打，所述压缩锻打后的尺寸为锻打前尺寸的三分之一至二分之一；第二阶段锻打和第四阶段锻打为拉伸锻打，所述拉伸锻打前的尺寸为拉伸锻打后尺寸的三分之一至二分之一，可以使背板铸件和各个锻打中间体变形最大化，还可以最大化的细化和均勻背板铸件和各个锻打中间体的晶粒。如果变形量太小，则背板铸件和各个锻打中间体的变形能力不够，从而达不到目的；如果变形量太大，则使得锻打エ艺难以控制。本实施例中所述锻打可以采用空气锤(Air Hammer)完成，其对于本领域的技术人员是熟知的，故在此不再赘述。在其他实施例中，所述锻打也可以为自由锻、模锻、镦粗、挤压、模锻、闭式模锻和闭式镦锻等。接着，执行步骤S14，对所述背板坯料进行固溶时效处理，形成背板；固溶时效处理是将合金加热到高温单向区保温一定时间，形成单向固溶体，然后冷却，以得到饱和固溶体的热处理工艺。本实施例中的固溶处理需要分两个步骤进行。首先，将背板坯料在加热装置中加热至500°C 800°C，然后保温池 4h。接着，继续将背板坯料在加热装置中加热至200°C 500°C，然后保温Ih 汕。分两个步骤进行固溶处理，一方面可以使得背板坯料的晶粒不容易长大，背板坯料晶粒均勻化和细化的效果更好，可以得到晶粒结构较小并且晶粒组织均勻的背板，晶粒尺寸为100 μ m 200 μ m,另ー个方面可以更好的形成单向固溶体从而增加背板的硬度，硬度可以达到100HV以上。需要说明的是如果没有此操作，或是固溶时效处理如果不分上述两个步骤进行则背板的硬度会在100HV以下。接着，在空气中对所述背叛坯料进行冷却至常温，形成背板。采用本发明的背板的制作方法，有以下优点(1)800°C 1000°C锻打可以将背板铸件的柱状晶更容易破碎为细晶粒，能够更好的修复上述背板铸件内部的气孔，进而使其内部结构由疏松变为紧实，能够得到内部组织结构更加均勻和足够细化的背板(晶粒大小为100 μ m 200 μ m)，防止背板扭曲变形。一方面减小靶材各部分与硅片基底间的偏差，提高镀膜的质量，另ー方面提高溅射靶材组件的使用寿命。(2)锻打步骤中的第一阶段锻打、第三阶段锻打和第五阶段锻打为压缩锻打，第二阶段锻打和第四阶段锻打为拉伸锻打，锻打过程为压缩锻打和拉伸锻打交替进行，可以使背板铸件和各个锻打中间体变形最大化，还可以最大化的细化和均勻背板铸件和各个锻打中间体的晶粒。(3)锻打步骤中将第一锻打中间体、第二锻打中间体、第三锻打中间体和第四锻打中间体依次顺时针或者逆时针翻转80度 100度锻打，可以从各个方向上都能够更好的细化背板铸件和各阶段锻打中间体的晶粒，并且能够更好的均勻化背板铸件和各阶段锻打中间体的晶粒。(4)采用两个步骤对所述背板坯料进行固溶时效处理，即第一步骤将背板坯料加热到500°C 800°C，并且保温池 4h。第二步骤将第一歩骤处理后的背板坯料加热到 200°C 500°C，并且保温Ih 池，可以更好的形成单向固溶体从而增加背板的硬度，硬度可以达到100HV以上，还可以得到晶粒结构较小并且晶粒组织均勻的背板，晶粒尺寸为 ΙΟΟμ200μ ο虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
权利要求
1.一种背板的制作方法，其特征在干，包括提供背板铸件；在800°C 1000°C，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；对所述背板坯料进行处理，形成背板。
2.如权利要求1所述的背板的制作方法，其特征在干，所述锻打包括五个阶段，分别为第一阶段锻打、第二阶段锻打、第三阶段锻打、第四阶段锻打和第五阶段锻打。
3.如权利要求2所述的背板的制作方法，其特征在干，在所述第一阶段锻打之前、所述第一阶段锻打和所述第二阶段锻打之间、所述第三阶段锻打和所述第四阶段锻打之间、所述第四阶段锻打和所述第五阶段锻打之间进行热处理。
4.如权利要求3所述的背板的制作方法，其特征在干，所述热处理的温度为800°C IOOO0Co
5.如权利要求2所述的背板的制作方法，其特征在干，所述第一阶段锻打为压缩锻打， 所述第一阶段锻打后的尺寸为第一阶段锻打前尺寸的三分之一至二分之一，形成第一阶段锻打中间体；所述第二阶段锻打为拉伸锻打，所述第二阶段锻打前的尺寸为第二阶段锻打后尺寸的三分之一至二分之一，形成第二阶段锻打中间体；所述第三阶段锻打为压缩锻打，所述第三阶段锻打后的尺寸为第三阶段锻打前尺寸的三分之一至二分之一，形成第三阶段锻打中间体；所述第四阶段锻打为拉伸锻打，所述第四阶段锻打前的尺寸为第四阶段锻打后尺寸的三分之一至二分之一，形成第四阶段锻打中间体；所述第五阶段锻打为压缩锻打，所述第五阶段锻打后的尺寸为第五阶段锻打前尺寸的三分之一至二分之一，形成背板坯料。
6.如权利要求5所述的背板的制作方法，其特征在干，将所述第一阶段段打中间体顺时针翻转80度 100度进行锻打形成第二锻打中间体，将所述第二阶段锻打中间体顺时针翻转80度 100度进行锻打形成第三锻打中间体，将所述第三阶段锻打中间体顺时针翻80 度 100度进行锻打形成第四锻打中间体。
7.如权利要求5所述的背板的制作方法，其特征在干，将所述第一阶段段打中间体逆时针翻转80度 100度进行锻打形成第二锻打中间体，将所述第二阶段锻打中间体逆时针翻转80度 100度进行锻打形成第三锻打中间体，将所述第三阶段锻打中间体逆时针翻转 80度 100度进行锻打形成第四锻打中间体。
8.如权利要求2所述的背板的制作方法，其特征在干，每个阶段锻打的所述锻打的时间为2min 3min。
9.如权利要求2所述的背板的制作方法，其特征在干，每个阶段锻打的所述锻打的压 カ为3OO吨 8δ0吨。
10.如权利要求1所述的背板的制作方法，其特征在干，所述对所述背板坯料进行处理为固溶时效处理。
11.如权利要求1所述的背板的制作方法，其特征在干，所述固溶时效处理分两步骤进行，分别为第一步骤和第二步骤，所述第一步骤的温度为500°c 800°C，并且保温池 4h， 所述第二步骤的温度为200°C 500°C，并且保温Ih 汕。
12.如权利要求1所述的背板的制作方法，其特征在干，形成所述背板铸件的方法为对金属料件进行熔融铸件处理。
13.如权利要求12所述的背板的制作方法，其特征在干，所述金属料件为铜合金、铝合金或者为硬度、导电性和铜类似的金属或合金。
14.如权利要求12所述的背板的制作方法，其特征在干，所述熔融铸件处理的温度为 800 IOOO0Co
全文摘要
一种背板的制作方法，包括提供背板铸件；在800℃～1000℃，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；对所述背板坯料进行处理，形成背板。本发明可以得到内部组织结构更加细化和更加均匀的背板，防止背板扭曲变形。一方面减小靶材各部分与硅片基底间的偏差，提高镀膜的质量，另一方面提高溅射靶材组件的使用寿命。
文档编号C23C14/34GK102534518SQ201110452048
公开日2012年7月4日 申请日期2011年12月29日 优先权日2011年12月29日
发明者周园, 大岩一彦, 姚力军, 潘杰, 王学泽, 相原俊夫 申请人:宁波江丰电子材料有限公司