专利名称：一种氧化镁蒸镀装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种氧化镁蒸镀装置，尤其是一种适合超薄等离子体显示器使用的氧化镁蒸镀装置。
背景技术：
目前的荫罩式等离子体氧化镁蒸镀装置，是使用铝箔简易覆盖其前后基板表面， 仅露出需要蒸镀氧化镁的区域，然后用夹子将基板玻璃固定在铝架上，最后放入真空蒸镀箱里蒸镀氧化镁。由于传统等离子体显示板的基板玻璃厚度达2. 8mm，具有强度好，不易破裂和翘曲等特性，因而可采用常规的荫罩式等离子体氧化镁蒸镀装置。但是对于超薄等离子体显示板，基板玻璃厚度仅为几十微米(所以称之为超薄基板玻璃)，当受到过大的压力或扭曲力时，超薄基板玻璃将会破裂。如果把传统的等离子体显示器氧化镁蒸镀装置应用到超薄等离子体显示器中时，会出现超薄基板玻璃在蒸镀过程中发生破裂和偏移等问题， 产品合格率低。所以超薄等离子体显示器使用的氧化镁蒸镀装置，不仅需要有效地保护超薄基板玻璃，而且还需要保证超薄基板玻璃在整个蒸镀过程中不会发生偏移。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种超薄基板玻璃在蒸镀过程中不会发生破裂和偏移， 以保证产品合格率，且操作简单、成本低廉的氧化镁蒸镀装置。本氧化镁蒸镀装置，包括一块衬底玻璃，衬底玻璃的上部放置有一对超薄基板玻璃；带有两个方孔的铝箔覆盖衬底玻璃，方孔中心对准超薄基板玻璃；使用衬底玻璃固定夹子将铝箔和衬底玻璃固定在衬底玻璃下部的铝板上，由垫有铝片的超薄基板玻璃固定夹子将超薄基板玻璃固定在衬底玻璃上，铝板固定在其下部的铝架上。本实用新型的有益效果本实用新型装置在传统氧化镁蒸镀装置基础上，采用衬底玻璃支撑超薄基板玻璃，能有效地保护和固定超薄基板玻璃，防止了超薄基板玻璃在蒸镀过程中的破裂和偏移，保证产品合格率接近100 %。铝片对超薄基板玻璃固定夹子产生的力进行分压，防止超薄基板玻璃固定夹子在将超薄基板玻璃固定衬底玻璃上的同时，压坏超薄基板玻璃。上述的蒸镀装置，在两个方孔中间的铝箔上放置有沿衬底玻璃宽度方向延伸的铝条，使用衬底玻璃固定夹子将铝条、铝箔和衬底玻璃固定在铝板上，铝条的长度等于衬底玻璃宽度。考虑到铝箔在高温下软化翘曲会影响氧化镁蒸镀区域，在两个方孔中间的铝箔上放置铝条，并使用衬底玻璃固定夹子将铝条、铝箔和衬底玻璃固定在铝板上。也就是说，铝条有两个作用防止铝箔高温翘曲，固定超薄基板玻璃。上述的蒸镀装置，衬底玻璃为平整度极高且耐高温的衬底玻璃。衬底玻璃作为超薄基板玻璃的承载体，要求平整度高、耐高温，可选用钠钙玻璃、PD200玻璃等。上述的蒸镀装置，两个方孔中心间距等于超薄基板玻璃边长。上述的蒸镀装置，衬底玻璃上刻有的用于确定蒸镀区域的基准点。[0010]上述的蒸镀装置，衬底玻璃固定夹子与超薄基板玻璃固定夹子所在的钻孔位置离衬底玻璃边线的距离差值大于衬底玻璃的宽度与超薄基板玻璃边长差值的一半，而小于夹子的长度。这样是为了适用统一的夹子，方便制作装置。蒸镀的超薄基板玻璃可以紧凑排布，因此节省了铝箔与衬底玻璃材料，缩小装置体积。此外还可以保证衬底玻璃固定夹子压到衬底玻璃时不碰到超薄基板玻璃(衬底玻璃固定夹子压力很大，会压裂超薄基板玻璃)。
图1为超薄等离子体显示器氧化镁蒸镀装置示意图。图2为氧化镁蒸镀装置在蒸镀过程中示意图。图中，铝板1，衬底玻璃2，铝箔3，铝架4，铝条5，铝片6，超薄基板玻璃7，衬底玻璃固定夹子8，超薄基板玻璃固定夹子9，铝板固定夹子10，氧化镁溅射源11，电子枪12。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。如图1所示的超薄荫罩式等离子体显示器氧化镁蒸镀装置，包括衬底玻璃2，衬底玻璃2上方放有一对超薄基板玻璃7，用酒精将超薄基板玻璃固定在衬底玻璃2上，接着用带有两个方孔的铝箔3包裹衬底玻璃2，在铝箔3中线处放置铝条5，由两个衬底玻璃固定夹子8将铝条5、铝箔3、衬底玻璃2固定在铝板1上，再用四个超薄基板玻璃固定夹子9通过铝片6将铝箔3、超薄基板玻璃固定在衬底玻璃2上，再由铝板固定夹子10将铝板1固定在铝架4上。具体说明如下在本蒸镀装置中，先在衬底玻璃上标记基准点，用于确定超薄基板玻璃的安放位置。超薄基板玻璃安放在衬底玻璃上后，为了防止超薄基板玻璃在铝箔包裹时偏移，可用针筒滴数滴酒精在超薄基板玻璃边缘处加以固定。在铝箔上刻取两个边长等于封接框边长、 间距等于超薄基板玻璃边长的方孔，然后包裹在衬底玻璃上，确保方孔中心与超薄基板玻璃中心吻合。考虑到铝箔在高温下软化翘曲会影响氧化镁蒸镀区域，需要在两个方孔之间的铝箔中线处上放置一条长度等于衬底玻璃的宽度值，宽度适中，厚为l_2mm厚度的铝条，通过两个衬底玻璃固定夹子将包裹有铝箔的衬底玻璃连同铝条一起固定在铝板上。然后用垫有铝片的超薄基板玻璃固定夹子将超薄基板玻璃固定在衬底玻璃上，最后将铝板固定在铝架上。如图1所示，衬底玻璃固定夹子所用的(在铝板上的)钻孔A到衬底玻璃边缘的距离B与超薄基板玻璃固定夹子所用的(在铝板上的)钻孔C到衬底玻璃边缘的距离D 的差值应大于超薄基板玻璃边长E与衬底玻璃的宽度F差值的一半，而小于衬底玻璃固定夹子的长度G (衬底玻璃固定夹子与超薄基板玻璃固定夹子的长度均为G)，S卩G > B-D > (F-E)/2 ο参见图2，上述氧化镁蒸镀装置在真空蒸镀箱中蒸镀时，位于氧化镁溅射源11正上方一米处进行，铝箔的方孔朝下。氧化镁溅射源11下方有电子枪12。本实用新型中，铝板的衬底玻璃的承载体。衬底玻璃是超薄基板玻璃的承载体，可选用钠钙玻璃、PD200玻璃等，该衬底玻璃要求平整度高、耐高温。铝箔用于保护超薄基板玻璃以及控制氧化镁蒸镀的区域。夹子(包括衬底玻璃固定夹子、超薄基板玻璃固定夹子、 铝板固定夹子)起到固定作用。铝架支撑铝板悬放于真空蒸镀箱中。铝条可以防止铝箔高温翘曲而影响蒸镀区域，也起到固定超薄基板玻璃的作用。铝片对超薄基板玻璃固定夹子产生的力进行分压。本实用新型针对传统的等离子体显示器氧化镁蒸镀装置应用到超薄等离子体显示器中时，会出现超薄基板玻璃在蒸镀过程中发生破裂和偏移等问题，提供一种适用于超薄等离子体显示器、操作简单、成本低廉、而且成功率接近100%的氧化镁蒸镀装置。本实用新型在传统氧化镁蒸镀装置基础上，采用柔性好且耐高温、无污染的铝箔与刚性好、平整度高且耐高温的衬底玻璃组成的夹层，有效地保护和固定超薄基板玻璃。同时确定了各个钻孔位置，铝板大小，方孔大小，以及两方孔的间距，进一步保护和固定超薄基板玻璃，高效地实现了氧化镁蒸镀目的，具有实用性强，成功率高，成本低等优点。
权利要求1.一种氧化镁蒸镀装置，其特征是包括一块衬底玻璃，衬底玻璃的上部放置有一对超薄基板玻璃；带有两个方孔的铝箔覆盖衬底玻璃，方孔中心对准超薄基板玻璃；使用衬底玻璃固定夹子将铝箔和衬底玻璃固定在衬底玻璃下部的铝板上，由垫有铝片的超薄基板玻璃固定夹子将超薄基板玻璃固定在衬底玻璃上，铝板固定在其下部的铝架上。
2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是在两个方孔中间的铝箔上放置有沿衬底玻璃宽度方向延伸的铝条，使用衬底玻璃固定夹子将铝条、铝箔和衬底玻璃固定在铝板上， 铝条的长度等于衬底玻璃宽度。
3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是衬底玻璃为平整度极高且耐高温的衬底玻璃。
4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是两个方孔中心间距等于超薄基板玻璃边长。
5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是衬底玻璃上刻有的用于确定蒸镀区域的基准点。
6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是衬底玻璃固定夹子与超薄基板玻璃固定夹子所在的钻孔位置离衬底玻璃边线的距离差值大于衬底玻璃的宽度与超薄基板玻璃边长差值的一半，而小于夹子的长度。
专利摘要本实用新型提供一种超薄基板玻璃在蒸镀过程中不会发生破裂和偏移，以保证产品合格率，且操作简单、成本低廉的氧化镁蒸镀装置。它包括一块衬底玻璃，衬底玻璃的上部放置有一对超薄基板玻璃；带有两个方孔的铝箔覆盖衬底玻璃，方孔中心对准超薄基板玻璃；使用衬底玻璃固定夹子将铝箔和衬底玻璃固定在衬底玻璃下部的铝板上，由垫有铝片的超薄基板玻璃固定夹子将超薄基板玻璃固定在衬底玻璃上，铝板固定在其下部的铝架上。
文档编号C23C14/08GK202039119SQ20112000369
公开日2011年11月16日 申请日期2011年1月7日 优先权日2011年1月7日
发明者屠彦, 张盼盼, 杨兰兰, 王莉莉, 秦娜娜, 蔡国龙, 金烨, 马善乐 申请人:东南大学