专利名称：Pecvd设备的石墨载板传输装置的制作方法
技术领域：
PECVD设备的石墨载板传输装置
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种PECVD设备的石墨载板传输装置。
背景技术：
传统的太阳能电池生产线板式PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)设备在长期生产过程中，对石墨载板尤其是石墨载板上的石墨条损耗很大，经常出现卡板和磨损情况。图1为传统的石墨载板传输装置100俯视图，石墨载板110放在轮子120上，轮子120 由传动机构130带动传输，运行时轮子120转动将石墨载板110传输到工艺腔室，运行期间轮子120对石墨载板110上的石墨条有摩擦，同时，石墨载板110运行中可能不平稳而卡在工艺腔室里，造成卡板，导致造成硅片碎片或者石墨条损坏，而石墨条的价格非常昂贵，从而加大了生产的成本。
实用新型内容基于此，有必要提供一种能有效防止PECVD设备中石墨载板发生卡板的石墨载板传输装置。一种PECVD设备的石墨载板传输装置，包括传动机构及由所述传动机构驱动的滚轮部，所述滚轮部包括多个滚轮，所述滚轮包括用于承载所述石墨载板的支撑轮及与所述支撑轮相连的并位于所述支撑轮外侧的用于阻挡所述石墨载板的阻挡轮。在优选的实施方式中，每组所述阻挡轮之间的距离大于所述石墨载板的宽度。在优选的实施方式中，所述阻挡轮为圆台结构，且面积较小的一端与所述支撑轮贴合连接，面积较大的一端的直径大于所述支撑轮的直径。在优选的实施方式中，所述支撑轮与所述阻挡轮一体成型。在优选的实施方式中，所述传输装置还包括设于所述阻挡轮外侧的沿所述传输装置传输方向延伸的挡板。在优选的实施方式中，位于所述传输装置两端的滚轮中设有轴承。在优选的实施方式中，所述滚轮部的滚轮成对设置。通过在支撑轮的外侧设置用于阻挡石墨载板的阻挡轮，当石墨载板运行不平稳时容易跳到阻挡轮上，被阻挡轮挡住而不至于偏离传输方向，在进入工艺腔室时也不至于被卡在工艺腔室中而造成卡板损坏硅片或者损坏石墨载板上的石墨条。每组阻挡轮之间的距离大于石墨载板的宽度，且阻挡轮为圆台结构，面积较小的一端与支撑轮贴合连接，面积较大的一端的直径大于支撑轮的直径从而形成倾斜式台阶结构，当石墨载板跳到台阶结构上时，易于滑下恢复到支撑轮上。此外，通过在滚轮两侧增加挡板，进一步保证石墨载板不会过多偏离传输方向而从传输装置上滑落，配合元台式阻挡轮还可以让偏离较多的石墨载板恢复到支撑轮上，进一步保证传输过程的稳定。进一步，通过在两端的滚轮中设置轴承结构，使其可以在任何情况下自由转动，从而在石墨载板上下料过程中，可以避免因强行推拉石墨载板造成其上的石墨条磨损，从而减少了在生产过程中硅片的破片的发生，降低了生产成本。
图1为传统的PECVD设备的石墨载板传输装置的结构示意图；图2为一优选实施方式中PECVD设备的石墨载板传输装置的结构示意图；图3为图2所示实施方式中挡板与滚轮的位置关系示意图；图4为图2所示实施方式中传动机构及设有轴承的滚轮结构示意图。
具体实施方式下面主要结合附图及具体实施例对PECVD设备的石墨载板传输装置作进一步详细的说明。如图2所示，一优选实施方式的PECVD设备的石墨载板传输装置200，包括传动机构210及由传动机构210驱动的滚轮部220。滚轮部220包括多个滚轮(图中未标示)。本实施方式的多个滚轮成对设置，在其他优选的实施方式中，滚轮部的滚轮可以非成对设置，只要控制石墨载板300两侧的传动速度相同即可。滚轮包括用于承载石墨载板300的支撑轮222及与支撑轮222相连的用于阻挡石墨载板300的阻挡轮224。阻挡轮2 设于支撑轮222的外侧，防止石墨载板300 因传输不稳定而偏离传输方向造成卡板。支撑轮222与阻挡轮224同轴设置，由所述传动机构210驱动转动，两侧的滚轮转速控制相同，将石墨载板300传输到后续的工艺腔室内。支撑轮222与阻挡轮2M可以但不限于一体成型设置。通过在支撑轮222的外侧设置用于阻挡石墨载板300的阻挡轮224，当石墨载板 300运行不平稳时容易跳到阻挡轮2M上，被阻挡轮2M挡住而不至于偏离传输方向，在进入工艺腔室时也不至于被卡在工艺腔室中而造成卡板损坏硅片或者损坏石墨载板300上的石墨条。本实施方式的每组阻挡轮2 之间的距离大于石墨载板300的宽度，从而两侧阻挡轮2M与石墨载板300之间存在间隙。并且，本实施例的阻挡轮2M为圆台结构，面积较小的一端与支撑轮222贴合连接，面积较大的一端的直径大于支撑轮222的直径，从而阻挡轮2M与支撑轮222之间形成倾斜式台阶结构，当石墨载板300跳到台阶结构上时，由于台阶倾斜，石墨载板300易于滑下恢复到支撑轮222上。进一步，如图3所示，本实施方式的传输装置200在传输方向的两侧设有挡板230。 挡板230沿传输装置200的传输方向在滚轮的外侧设置。通过在滚轮两侧增加挡板230，进一步保证石墨载板300不会过多偏离传输方向而从传输装置200上滑落，配合元台式阻挡轮2 还可以让偏离较多的石墨载板300恢复到支撑轮222上，进一步保证传输过程的稳定。此外，如图4所示，为防止在石墨载板300上下料过程中的磨损，本实施方式的传输装置200两端的滚轮中设有轴承226。通过在两端的滚轮中设置轴承226，使两端的滚轮可以在任何情况下自由转动，从而在石墨载板300上下料过程中，可以避免因强行推拉石墨载板300造成其上的石墨条磨损，从而减少了在生产过程中硅片的破片的发生，降低了生产成本。 以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种PECVD设备的石墨载板传输装置，包括传动机构及由所述传动机构驱动的滚轮部，所述滚轮部包括多个滚轮，其特征在于，所述滚轮包括用于承载所述石墨载板的支撑轮及与所述支撑轮相连的并位于所述支撑轮外侧的用于阻挡所述石墨载板的阻挡轮。
2.如权利要求1所述的PECVD设备的石墨载板传输装置，其特征在于，每组所述阻挡轮之间的距离大于所述石墨载板的宽度。
3.如权利要求1所述的PECVD设备的石墨载板传输装置，其特征在于，所述阻挡轮为圆台结构，且面积较小的一端与所述支撑轮贴合连接，面积较大的一端的直径大于所述支撑轮的直径。
4.如权利要求1所述的PECVD设备的石墨载板传输装置，其特征在于，所述支撑轮与所述阻挡轮一体成型。
5.如权利要求1所述的PECVD设备的石墨载板传输装置，其特征在于，所述传输装置还包括设于所述阻挡轮外侧的沿所述传输装置传输方向延伸的挡板。
6.如权利要求1所述的PECVD设备的石墨载板传输装置，其特征在于，位于所述传输装置两端的滚轮中设有轴承。
7.如权利要求1所述的PECVD设备的石墨载板传输装置，其特征在于，所述滚轮部的滚轮成对设置。
专利摘要本实用新型涉及一种PECVD设备的石墨载板传输装置，该传输装置包括传动机构及由传动机构驱动的滚轮部，滚轮部包括多个滚轮，滚轮包括用于承载石墨载板的支撑轮及与支撑轮相连的并位于支撑轮外侧的用于阻挡石墨载板的阻挡轮。通过在支撑轮的外侧设置用于阻挡石墨载板的阻挡轮，当石墨载板运行不平稳时容易跳到阻挡轮上，被阻挡轮挡住而不至于偏离传输方向，在进入工艺腔室时也不至于被卡在工艺腔室中而造成卡板损坏硅片或者损坏石墨载板上的石墨条。
文档编号C23C16/44GK202139294SQ20112020188
公开日2012年2月8日 申请日期2011年6月15日 优先权日2011年6月15日
发明者冯福建 申请人:东莞南玻光伏科技有限公司