专利名称：真空镀膜自动转换装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于镀膜设备，特别涉及一种能送料、镀膜和出料连续操作的真空镀膜自动装置。
背景技术：
真空镀膜技术在经济社会各个领域有着广泛应用，特别是科技迅速发展、人们生活的不断提高以及高科技镀膜产品的不断涌现，给真空镀膜技术的发展和推广应用带来了新的机遇。真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。如蒸发镀膜就是加热靶材，使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。常见的蒸发镀膜就是将放置镀膜工件的托架置于真空沉积腔室内，关闭闸门后， 启动控制装置抽真空，启动加热装置对镀膜工件加热，启动加热装置对靶材加热达到靶材蒸发，实现对托架上工件镀膜操作，镀膜工序结束后，打开闸门再取出镀膜工件，再放入下一批镀膜工件，按照上述重复操作。然而，这样操作效率低下。
实用新型内容为了克服上述缺陷，本实用新型提供一种真空镀膜自动转换装置，能将放置工件、 进行真空镀膜和取出镀膜工件连续进行，提高了加工效率。本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种真空镀膜自动转换装置，包括并排相连的进料室、真空镀膜室和出料室，该进料室与真空镀膜室之间，以及该真空镀膜室与出料室之间分别设有能密封关闭的第二闸门和第三闸门，其中1)该进料室设有用于托架滑动的第一轨道、控制托架沿该第一轨道滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门；2)该真空镀膜室设有能由该第一轨道上托架通过该第二间门滑入的第二轨道、控制托架沿该第二轨道滑动的第二滑动机构；3)该出料室设有由该第二轨道上托架通过该第三间门能滑入的第三轨道、控制托架沿该第三轨道滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门。作为本实用新型的进一步改进，该托架设有能放置镀膜工件的支撑板或挂钩。作为本实用新型的进一步改进，该第一滑动机构、第二滑动机构和第三滑动机构分别设于对应轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，各滚轮组分别通过对应驱动马达控制滚动。作为本实用新型的进一步改进，该第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门分别通过马达控制关闭或打开。作为本实用新型的进一步改进，该真空镀膜室内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电阻加热体或红外加热体。作为本实用新型的进一步改进，该进料室内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电阻加热体或红外加热体。作为本实用新型的进一步改进，该真空镀膜室位于该第二轨道下方设有靶材，该靶材通过加热机构加热蒸发，该加热机构为安装于该真空镀膜室内并可放置该靶材的槽状金属加热体，该槽状金属加热体两侧设有一对电极，该对电极另一端弓I出于该真空镀膜室后，分别与电源变压器之次级绕组弓I出端连接。作为本实用新型的进一步改进，该靶材还通过转动机构控制能相对该第二轨道上托架转动，该转动机构为通过轴承固定于该真空镀膜室内侧底部的转轴，该转轴上端与绝缘连接杆一端固定，并且该绝缘连接杆与该转轴呈直角连接，该绝缘连接杆另一端固定该槽状金属加热体，该对电极另一端沿该绝缘连接杆，并通过该转轴内的两通孔引出，该转轴下端伸出该真空镀膜室外后固定滚轮，并通过传送带和马达控制转动。本实用新型的有益技术效果是所述进料室、真空镀膜室和出料室分别用于装载镀膜工件、进行真空操作和取出镀膜工件，所述第一轨道与第一滑动机构、第二轨道与第二滑动机构以及第三轨道与第三滑动机构，实现了将装有镀膜工件的托架从进料室送入真空镀膜室，再由真空镀膜室送入出料室，而所述第二闸门和第三闸门既起到密封关闭作用 (便于真空镀膜室操作)，又有利于托架在各工作室之间转换，所述第一滑动机构、第二滑动机构和第三滑动机构，以及第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门都分别通过马达控制操作的，因此整个镀膜过程(包括放置工件、真空镀膜和取出工件)连续进行，提高了加工效率。
[0019]图1为本实用新型的半剖视结构示意图。[0020]对照以上附图作如下补充[0021]20——一真空镀膜室3——-靶材[0022]21——一进料室46———托架[0023]22——一出料室50——一槽状金属加热体[0024]23a—一第一闸门52一一绝缘连接杆[0025]23b—一第二闸门60———转轴[0026]23c——第三闸门61———轴承[0027]23d—一第四闸门62——通孔[0028]24—电热丝加热体63———滚轮[0029]25—电热丝加热体64——一传送带[0030]30a—一第一轨道66——一马达[0031]30b—一第二轨道70—一电源变压器[0032]30c—一第三轨道
具体实施方式结合附图1，以下作详细描述[0034]一种真空镀膜自动转换装置，包括并排相连的进料室21、真空镀膜室20和出料室 22，该进料室21与真空镀膜室20之间，以及该真空镀膜室20与出料室22之间分别设有能密封关闭的第二闸门2 和第三闸门23c，该第二闸门2 和第三闸门23c能分别通过马达控制关闭或打开，其中1)该进料室21设有用于托架滑动的第一轨道30a、控制托架(图中未示出)沿该第一轨道30a滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门23a，该第一闸门23a能通过马达控制关闭或打开，便于装载托架和工件，该进料室21内侧顶部设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体对，该第一滑动机构设于该第一轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，该滚轮组通过对应驱动马达控制滚动；2)该真空镀膜室20设有能由该第一轨道30a上托架通过该第二闸门2 滑入的第二轨道(30b)、控制托46沿该第二轨道(30b)滑动的第二滑动机构，该托架46设有能放置镀膜工件的支撑板或挂钩，该真空镀膜室20内侧顶部设有两个能对托架上的工件加热的电热丝加热体25，图1中显示两个电热丝加热体25，该第二滑动机构设于该第二轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，该滚轮组通过对应驱动马达控制滚动；3)该出料室22设有由该第二轨道30b上托架通过该第三闸门23c能滑入的第三轨道30c、控制托架沿该第三轨道30c滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四间门23d，该第三滑动机构设于该第三轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，该滚轮组通过对应驱动马达控制滚动，该第四间门23d能通过马达控制关闭或打开，便于取出镀膜工件。该真空镀膜室20位于该第二轨道30b下方设有靶材3，该靶材通过加热机构加热蒸发，还通过转动机构控制能相对该第二轨道30b上托架46转动，该转动机构为通过轴承 61固定于该真空镀膜室20内侧底部的转轴60，该转轴60上端与绝缘连接杆52 —端固定， 并且该绝缘连接杆52与该转轴60呈直角连接，该绝缘连接杆52另一端固定槽状金属加热体50，该对电极另一端沿该绝缘连接杆52，并通过该转轴60内的两通孔62引出后，分别与电源变压器70之次级绕组引出端连接，该转轴60下端伸出该真空镀膜室20外后固定滚轮 63，并通过传送带64和马达66控制转动。上述电热丝加热方式也可以采用红外加热体。所谓金属加热体就是利用金属体两端接通交流电，使得金属体发热产生热量，而红外加热和金属体加热不是本实用新型的创新点，属于现有技术，在此不作详细描述。
权利要求1.一种真空镀膜自动转换装置，包括并排相连的进料室(21)、真空镀膜室00)和出料室(22)，其特征在于该进料室与真空镀膜室OO)之间，以及该真空镀膜室OO)与出料室02)之间分别设有能密封关闭的第二闸门(23b)和第三闸门03c)，其中1)该进料室设有用于托架滑动的第一轨道(30a)、控制托架沿该第一轨道(30a) 滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门(23a)；2)该真空镀膜室OO)设有能由该第一轨道(30a)上托架通过该第二间门(23b)滑入的第二轨道(30b)、控制托架06)沿该第二轨道(30b)滑动的第二滑动机构；3)该出料室0 设有由该第二轨道(30b)上托架通过该第三闸门(23c)能滑入的第三轨道(30c)、控制托架沿该第三轨道(30c)滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门03d)。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于该托架G6)设有能放置镀膜工件的支撑板或挂钩。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于该第一滑动机构、 第二滑动机构和第三滑动机构分别设于对应轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，各滚轮组分别通过对应驱动马达控制滚动。
4.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于该第一闸门 (23a)、第二闸门(2 )、第三闸门(23c)和第四闸门(23d)分别通过马达控制关闭或打开。
5.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于该真空镀膜室 (20)内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体0 或红外加热体。
6.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于该进料室内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体04)或红外加热体。
7.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于该真空镀膜室位于该第二轨道(30b)下方设有靶材(3)，该靶材通过加热机构加热蒸发，该加热机构为安装于该真空镀膜室内并可放置该靶材(3)的槽状金属加热体(50)，该槽状金属加热体两侧设有一对电极，该对电极另一端引出于该真空镀膜室OO)后，分别与电源变压器(70)之次级绕组引出端连接。
8.根据权利要求7所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于该靶材(3)还通过转动机构控制能相对该第二轨道(30b)上托架06)转动，该转动机构为通过轴承(61)固定于该真空镀膜室OO)内侧底部的转轴(60)，该转轴(60)上端与绝缘连接杆(5 —端固定，并且该绝缘连接杆(5 与该转轴(60)呈直角连接，该绝缘连接杆(5 另一端固定该槽状金属加热体(50)，该对电极另一端沿该绝缘连接杆(52)，并通过该转轴(60)内的两通孔(62)引出，该转轴(60)下端伸出该真空镀膜室OO)外后固定滚轮(63)，并通过传送带 (64)和马达(66)控制转动。
专利摘要一种真空镀膜自动转换装置包括并排相连的进料室、真空镀膜室和出料室，进料室与真空镀膜室之间以及真空镀膜室与出料室之间分别设有能密封关闭的第二闸门和第三闸门，进料室设有用于托架滑动的第一轨道、控制托架沿第一轨道滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门；真空镀膜室设有能由第一轨道上托架通过第二闸门滑入的第二轨道、控制托架沿第二轨道滑动的第二滑动机构；出料室设有由第二轨道上托架通过第三闸门能滑入的第三轨道、控制托架沿第三轨道滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门，第一、第二和第三滑动机构分别设于对应轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，各滚轮组分别通过对应驱动马达控制滚动。
文档编号C23C14/56GK202181349SQ20112026578
公开日2012年4月4日 申请日期2011年7月26日 优先权日2011年7月26日
发明者黄水祥 申请人:御林汽配(昆山)有限公司