专利名称：一种空心石墨模具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种空心石墨模具，属于化学气相沉积法生产大尺寸热解氮化硼坩埚的技术领域。
背景技术：
热解氮化硼坩埚在半导体材料的VGF法(垂直梯度凝固法)、LEC法(液封直拉法)、MBE法(分子束外延)生长中得到广泛的认可和应用，特别是用于拉制砷化镓单晶材料的使用。热解氮化硼坩埚的制造过程是将与坩埚外形相同的石墨模具置于化学气相沉积 炉内，在加热高温条件下，以氮气为保护气体，将含有氮氢化合物的气体，卤素化合物气体通入炉内，一边进气，一边抽出，使炉内保持低压真空状态，氨气、卤素化合物都在分解，脱氢的氮与元素硼形成化合物，并沉积在预先处理过的石墨模具上，形成热解氮化硼，然后经过降温冷却后，取出脱模即得到氮化硼坩埚。在生产过程中，石墨模具通过石墨螺丝固定悬挂在旋转盘(架)上，然后在旋转盘的带动下模具进行转动。在生产一些大尺寸的热解氮化硼坩埚时，就需要用到与之匹配的大尺寸、大体积的模具，由于模具为石墨材质，自身的密度和重量很大，在长时间的生产过程中，很容易发生石墨螺丝因承受不了石墨模具过大的重量而发生断裂的情况，一旦有断裂情况发生，整炉的产品会全部报废掉,模具也有可能被损坏报废，同时炉内的其他器件也会因此损坏，结果造成了极大的损失，带来人力、物力以及资源上的极大浪费。
发明内容针对以上技术不足，本实用新型提供一种用于生产大尺寸热解氮化硼坩埚的空心
石墨模具。本实用新型的技术方案如下一种空心石墨模具，其特征是该石墨模具为空心结构，包括模具杯体和模具盘盖，所述的模具杯体的杯口内壁上设有螺纹，所述模具盖盘的外壁上设有螺纹，所述杯口内壁上的螺纹与所述模具盖盘外壁上的螺纹相匹配，所述模具杯体与模具盘盖通过螺纹连接。所述的模具盘盖上固定有石墨螺丝，用于将该空心石墨模具固定悬挂在化学气相沉积炉内的旋转盘上。所述的模具盘盖上轴向设置有通孔，所述通孔的内壁上设置有螺纹，所述石墨螺丝通过通孔内壁上的螺纹与模具盘盖固定连接。所述模具杯体的外形轮廓为底面是圆弧形的圆柱体。所述模具杯体的底面的外形与所生产制品相适配。例如，制备LEC坩埚的空心石墨模具底面为圆弧形面，而制备VGF氮化硼坩埚的空心石墨模具则在所述圆弧底面中心有垂直的柱形尾部。本实用新型的优点在于I.本实用新型所述的石墨模具采用了中空杯体状设计，使大尺寸石墨模具的重量大大降低，有效避免了因石墨螺丝断裂而造成的生产事故，提高了产品的合格率，节约了能源，操作简单且实用性强。[0013]2.本实用新型通过螺纹结构逐级将石墨模具固定在石墨螺丝上，大大降低了所述石墨模具与石墨螺丝的扭矩，有效降低了石墨模具和石墨螺丝的损耗，延长各个生产器件的使用寿命。3.本实用新型尝试将石墨模具分成了两部分，从而降低了生产加工空心石墨模具的难度，减少模具生产次品的生成，大大节省了石墨模具生产材料及成本。4.本实用新型的空心石墨模具体积大但质量轻，在气相沉积炉内旋转生产时，不再会因为石墨模具自身过重的因素而使石墨螺丝断裂，造成不必要的生产事故。
图I为本实用新型所述空心石墨|旲具的结构不意图，为制备LEC J甘祸的空心石墨模具；图2为本实用新型所述空心石墨模具的结构示意图，为制备VGF氮化硼坩埚的空
心石墨I旲具；其中I、模具盘盖；2、模具杯体；3、杯体腔；4、模具杯体的杯口内壁；5、模具盖盘的外壁；6、通孔；7、模具杯体的圆弧形底面边缘；8、模具杯体的尾部。
具体实施方式
下面结合实施例和说明书附图对本实用新型做详细的说明，但不限于此。术语解释LEC坩埚液封直拉法使用的坩埚；VGF坩埚垂直梯度凝固法使用的坩埚。实施例I、如图I，利用本实用新型生产8英寸LEC坩埚一种空心石墨模具，其特征是该石墨模具为空心结构，包括模具杯体2和模具盘盖1，所述模具杯体2的外形轮廓为底面边缘7为圆弧形的圆柱体，所述的模具杯体2的杯口内壁4上设有螺纹，所述模具盖盘的外壁5上设有螺纹，所述杯口内壁4上的螺纹与所述模具盖盘外壁上5的螺纹相匹配，所述模具杯体2与模具盘盖I通过螺纹连接。所述的模具盘盖I上固定有石墨螺丝，用于将该空心石墨模具固定悬挂在化学气相沉积炉内的旋转盘上。所述的模具盘盖I上轴向设置有通孔6，所述通孔6的内壁上设置有螺纹，所述石墨螺丝通过通孔6内壁上的螺纹与模具盘盖I固定连接。所述模具杯体2的外径为20cm,高为17cm,壁厚为4cm。实施例2、如图1，利用本实用新型生产12英寸LEC坩埚如实施例I所述的空心石墨模具，所不同之处在于，所述模具杯体的外径为30cm,高为13cm,壁厚为4. 5cm。实施例3、如图2,利用本实用新型生广6央寸VGF樹祸如实施例I所述的空心石墨I旲具，所不同之处在于，所述模具杯体2的尾部直径为0. 6cm,尾部长为6cm，所述模具杯体2的外径为15mm,高为12cm,壁厚为4cm。实施例4、如图2，利用本实用新型生产8英寸VGF坩埚如实施例3所述的空心石墨模具，所不同之处在于，所述模具杯体2的尾部直径为0. 8cm,尾部长为6cm，所述模具杯体2的外径为20cm,高为14cm,壁厚为4cm。试验例将实施例1-4所述空心石墨模具作为生产氮化硼坩埚的模具，将该空心石墨模具安装在气相沉积炉内的旋转盘上，在炉内高温和真空的条件下，通入具有一定比例的反应气体，气体反应后沉积在模具的表面，反应进行一定时间后，停止降温，然后取出将产品从模具上脱落后即得热解氮化硼的坩埚制品。对比例、I.采用实心模具生产6英寸、8英寸的VGF坩埚，按照正常的工艺参数进行生产，统计数据显示每10炉中6英寸的VGF坩埚会有I 2炉发生掉落，8英寸的VGF坩埚会有2 3炉发生掉落。次品率为20% 30%。2.采用空心石墨模具生产6英寸、8英寸的VGF坩埚，按照正常的工艺参数进行生产，统计数据显示几乎没有发生过模具因螺丝断裂而掉落的现象，此因素造成的次品率为
0%。 通过对比例发现在坩埚生产过程中，通过使用本实用新型所述的空心石墨模具，可有效避免或减少1旲具掉落情况的发生，提闻了广品的合格率和生广效率，降低了生广的成本。
权利要求1.一种空心石墨模具，其特征在于，该石墨模具为空心结构，包括模具杯体和模具盘盖，所述的模具杯体的杯口内壁上设有螺纹，所述模具盖盘的外壁上设有螺纹，所述杯口内壁上的螺纹与所述模具盖盘外壁上的螺纹相匹配，所述模具杯体与模具盘盖通过螺纹连接。
2.根据权利要求I所述的一种空心石墨模具，其特征在于，所述的模具盘盖上固定有石墨螺丝。
3.根据权利要求2所述的一种空心石墨模具，其特征在于，所述的模具盘盖上轴向设置有通孔，所述通孔的内壁上设置有螺纹，所述石墨螺丝通过通孔内壁上的螺纹与模具盘盖固定连接。
4.根据权利要求I所述的一种空心石墨模具，其特征在于，所述模具杯体的外形轮廓为底面边缘为圆弧形的圆柱体。
专利摘要本实用新型涉及一种空心石墨模具，包括模具杯体和模具盘盖，所述的模具杯体的杯口内壁上设有螺纹，所述模具盖盘的外壁上设有螺纹，所述杯口内壁上的螺纹与所述模具盖盘外壁上的螺纹相匹配，所述模具杯体与模具盘盖通过螺纹连接。本实用新型采用了中空杯体状设计，使大尺寸石墨模具的重量大大降低，有效避免了因石墨螺丝断裂而造成的生产事故，提高了产品的合格率。本实用新型通过螺纹结构逐级将石墨模具固定在石墨螺丝上，降低所述石墨模具与石墨螺丝的扭矩，有效降低了石墨模具和石墨螺丝的损耗。
文档编号C23C16/34GK202369638SQ201120502668
公开日2012年8月8日 申请日期2011年12月6日 优先权日2011年12月6日
发明者刘汝强 申请人:刘汝强