专利名称：镀膜装置用的真空锁的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及卷绕真空镀膜技术领域，特别涉及一种镀膜装置用的真空锁。
背景技术：
目前常用于薄膜镀膜的装置一般为筒式真空设备，该设备只设有一个圆筒状的真空室，真空室内设置放卷辊、收卷辊及薄膜导辊等机构，薄膜的整个镀膜工艺(包括烘干、镀膜等)均在该真空室内完成。该筒式真空设备在实际生产应用中存在以下缺陷(I)该设备结构复杂，设备维护成本高；(2)该设备的真空室内空间小，只能适用于材质较软的薄膜材料的镀膜加工，对于材质较硬的材料(如薄片铜板等)不适用； (3)该设备只设有一个真空室，当镀膜完成需要更换新材料时，打开真空室后容易破坏整个生产工艺的真空气氛，影响后续镀膜工艺的正常进行，也容易影响产品质量。(4)该设备只设有一个真空室，所以薄膜镀膜时只有镀膜和烘干的工艺可以在该真空室内进行，而薄膜的清洗等工艺必须采用其它设备另外处理，使得工艺复杂，薄膜的清洁度也难以得到控制。同时，当需要对薄膜进行掩模处理时，该设备也无法实现此工艺。为此，线式卷绕真空镀膜装置的开发使用将会有效提高生产效益及产品质量。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，针对线式的卷绕真空镀膜装置，提供一种结构简单、真空密封效果较好的镀膜装置用的真空锁。本实用新型的技术方案为一种镀膜装置用的真空锁，包括定块、上滑组件和下滑组件，定块中部开有与真空室通孔相对应的定块通孔，上滑组件和下滑组件分别与定块连接，上滑组件和下滑组件对称设于真空室通孔的上下两侧，上滑组件设于真空室通孔的上方，下滑组件设于真空室通孔的下方；上滑组件包括上滑块、上导向块和上驱动元件，上滑块一侧与定块滑动连接，上滑块另一侧与上导向块滑动连接，上导向块为倒L形结构，上导向块顶部与定块顶面固定连接，上驱动元件输出端与上滑块顶部固定连接。所述定块为中部开有定块通孔的长方体结构，定块与设有真空室通孔的真空室内壁固定连接。所述上滑块为长方体结构，上滑块的长度大于定块通孔的长度，上滑块的高度小于定块高度的1/2。所述上导向块有2个，分别设于定块通孔两端处，各上导向块顶部分别通过螺栓与定块顶面固定连接。所述定块与上滑块相接触的一面设有滑轮，上滑块上相应设有滑槽；上导向块的侧面底部设有滚轮，上滑块与滚轮相接触。为配合不同产品的需要，下滑组件可以有多种形式，主要包括(I)所述下滑组件包括下调整块，下调整块与定块连接并设于真空室通孔的下方。该结构较为简单，可用于薄膜加工，但不适用于薄片铜板的加工。(2)所述下滑组件的结构与上滑组件对称，包括下滑块、下导向块和下驱动元件，下滑块与上滑块对称设于真空室通孔的上下两侧，下滑块一侧与定块滑动连接，下滑块另一侧与下导向块滑动连接，下导向块为L形结构，下导向块底部与定块底面固定连接，下驱动元件输出端与下滑块底部固定连接。该结构使用时由于上滑组件和下滑组件同时动作，其密封效果更好，可适用于薄膜加工，也可适用于薄片铜板的加工。 上述结构中，上驱动元件和下驱动元件均可为气缸、电机或液压驱动元件。本镀膜装置用的真空锁主要用于线式卷绕真空镀膜装置的放卷室或收卷室，当需要在放卷室或收卷室内更换材料时，关闭本气动真空锁可隔绝放卷室或收卷室与其它真空室，保持其它真空室内的真空气氛。本气动真空锁使用时，其原理是上驱动元件动作，驱使上滑块向下滑动，定块上的滑轮与上滑块上的滑槽相配合，定块上的滑轮和上导向块上的滚轮同时对上滑块其导向作用；当下滑组件为上述第一种结构形式时，下滑组件固定不动，上滑块下滑至其底面与下调整块相接触时实现锁紧密封；当下滑组件为上述第二种结构形式时，下滑组件的运动原理与上滑组件相同，下滑块的运动方向与上滑块相反，上滑块的底面与下滑块的顶面相接触时实现锁紧密封。本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果本镀膜装置用的真空锁是针对线式的卷绕真空镀膜装置而设，可适用于薄膜或薄片铜板的卷绕镀膜加工，其密封效果好，原理简单，使用也方便。该气动真空锁一般设于放卷室或收卷室，当需要在放卷室或收卷室内更换材料时，关闭本气动真空锁可隔绝放卷室或收卷室与其它真空室，保持其它真空室内的真空气氛。根据实际的工艺需要，也可在其他真空室的通孔处增设本气动真空锁，其应用较广。
图I为本真空锁实施例I的结构示意图。图2为图I的A向视图。图3为图I的B-B视图。图4为本真空锁实施例2的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。实施例I本实施例一种镀膜装置用的真空锁，其结构如图I 3所示，包括定块I、上滑组件和下滑组件，定块I中部开有与真空室通孔相对应的定块通孔2，上滑组件和下滑组件分别与定块连接，上滑组件和下滑组件对称设于真空室通孔的上下两侧，上滑组件设于真空室通孔的上方，下滑组件设于真空室通孔的下方；上滑组件包括上滑块3、上导向块4和上气缸5，上滑块3 —侧与定块I滑动连接，上滑块3另一侧与上导向块4滑动连接，上导向块4为倒L形结构，上导向块4顶部与定块I顶面固定连接，上气缸5输出端与上滑块3顶部固定连接。[0028]定块I为中部开有定块通孔的长方体结构，定块与设有真空室通孔的真空室内壁固定连接。上滑块3为长方体结构，上滑块的长度大于定块通孔的长度，上滑块的高度小于定块高度的1/2。上导向块4有2个，分别设于定块通孔两端处，各上导向块顶部分别通过螺栓与定块顶面固定连接。如图3所示，定块I与上滑块3相接触的一面设有滑轮6，上滑块上相应设有滑槽7 ;上导向块4的侧面底部设有滚轮8，上滑块与滚轮相接触。为配合不同产品的需要，下滑组件可以有多种形式，本实施例中，下滑组件的结构与上滑组件对称，包括下滑块9、下导向块10和下气缸11，下滑块9与上滑块3对称设于真空室通孔的上下两侧，下滑块9 一侧与定块I滑动连接，下滑块9另一侧与下导向块10滑 动连接，下导向块10为L形结构，下导向块10底部与定块I底面固定连接，下气缸11输出 端与下滑块9底部固定连接。该结构使用时由于上滑组件和下滑组件同时动作，其密封效果更好，可适用于薄膜加工，也可适用于薄片铜板的加工。本镀膜装置用的真空锁主要用于线式卷绕真空镀膜装置的放卷室或收卷室，当需要在放卷室或收卷室内更换材料时，关闭本气动真空锁可隔绝放卷室或收卷室与其它真空室，保持其它真空室内的真空气氛。本气动真空锁使用时，其原理是上气缸动作，驱使上滑块向下滑动，定块上的滑轮与上滑块上的滑槽相配合，定块上的滑轮和上导向块上的滚轮同时对上滑块其导向作用；下滑组件的运动原理与上滑组件相同，下滑块的运动方向与上滑块相反，上滑块的底面与下滑块的顶面相接触时实现锁紧密封。实施例2本实施例一种镀膜装置用的真空锁，其结构如图4所示，与实施例I相比较，其不同之处在于下滑组件包括下调整块12，下调整块12与定块I连接并设于真空室通孔的下方。通过下调整块与定块的滑动连接，可根据实际需要对下调整块的位置进行调节，下调整块上设置锁紧螺钉，下调整块的位置调节完成后，通过锁紧螺钉将其固定于定块上。该结构较为简单，可用于薄膜加工，但不适用于薄片铜板的加工。本镀膜装置用的真空锁主要用于线式卷绕真空镀膜装置的放卷室或收卷室，当需要在放卷室或收卷室内更换材料时，关闭本气动真空锁可隔绝放卷室或收卷室与其它真空室，保持其它真空室内的真空气氛。本气动真空锁使用时，其原理是上气缸动作，驱使上滑块向下滑动，定块上的滑轮与上滑块上的滑槽相配合，定块上的滑轮和上导向块上的滚轮同时对上滑块其导向作用；下滑组件固定不动，上滑块下滑至其底面与下调整块相接触时实现锁紧密封。如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
权利要求1.镀膜装置用的真空锁，其特征在于，包括定块、上滑组件和下滑组件，定块中部开有与真空室通孔相对应的定块通孔，上滑组件和下滑组件分别与定块连接，上滑组件和下滑组件对称设于真空室通孔的上下两侧，上滑组件设于真空室通孔的上方，下滑组件设于真空室通孔的下方；上滑组件包括上滑块、上导向块和上驱动元件，上滑块一侧与定块滑动连接，上滑块另一侧与上导向块滑动连接，上导向块为倒L形结构，上导向块顶部与定块顶面固定连接，上驱动元件输出端与上滑块顶部固定连接。
2.根据权利要求I所述镀膜装置用的真空锁，其特征在于，所述定块为中部开有定块通孔的长方体结构，定块与设有真空室通孔的真空室内壁固定连接。
3.根据权利要求I所述镀膜装置用的真空锁，其特征在于，所述上滑块为长方体结构， 上滑块的长度大于定块通孔的长度，上滑块的高度小于定块高度的1/2。
4.根据权利要求I所述镀膜装置用的真空锁，其特征在于，所述上导向块有2个，分别设于定块通孔两端处，各上导向块顶部分别通过螺栓与定块顶面固定连接。
5.根据权利要求I所述镀膜装置用的真空锁，其特征在于，所述定块与上滑块相接触的一面设有滑轮，上滑块上相应设有滑槽；上导向块的侧面底部设有滚轮，上滑块与滚轮相接触。
6.根据权利要求I 5任一项所述镀膜装置用的真空锁，其特征在于，所述下滑组件包括下调整块，下调整块与定块连接并设于真空室通孔的下方。
7.根据权利要求I 5任一项所述镀膜装置用的真空锁，其特征在于，所述下滑组件的结构与上滑组件对称，包括下滑块、下导向块和下驱动元件，下滑块与上滑块对称设于真空室通孔的上下两侧，下滑块一侧与定块滑动连接，下滑块另一侧与下导向块滑动连接，下导向块为L形结构，下导向块底部与定块底面固定连接，下驱动元件输出端与下滑块底部固定连接。
专利摘要本实用新型公开一种镀膜装置用的真空锁，包括定块、上滑组件和下滑组件，定块中部开有与真空室通孔相对应的定块通孔，上滑组件和下滑组件分别与定块连接，上滑组件和下滑组件对称设于真空室通孔的上下两侧，上滑组件设于真空室通孔的上方，下滑组件设于真空室通孔的下方；上滑组件包括上滑块、上导向块和上驱动元件，上滑块一侧与定块滑动连接，上滑块另一侧与上导向块滑动连接，上导向块为倒L形结构，上导向块顶部与定块顶面固定连接，上驱动元件输出端与上滑块顶部固定连接。本镀膜装置用的真空锁是针对线式的卷绕真空镀膜装置而设，可适用于薄膜或薄片铜板的卷绕镀膜加工，其密封效果好，原理简单，使用也方便。
文档编号C23C14/56GK202465858SQ20112057625
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者朱刚劲, 朱刚毅, 朱文廓 申请人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司