专利名称：卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及的是克服边框效应机构，具体涉及的是卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构。背景技术：
目前在卷绕镀膜过程，为克服带材的边框效应，常采取的方式是带材绕在一个大直径的托辊上，或者通过气氛补偿的方式来克服边框效应。而采用前种类型克服的方式，卷绕系统体积相对庞大，而且不能设计成卧式卷绕镀膜系统，从而极大的增加了系统的成本；可采用第二种方式，增加了系统内部结构的复杂性，同样带来系统的成本的增加的问题外，还会给后来的使用者带来了诸多的不方便。
发明内容
本发明的一个目的是提供卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，它用于解决现有的克服边框效应的方式成本高、结构复杂的问题。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架、联动挡板、托辊架，托辊架有可上下相对运动的滑动杆，联动挡板的两端各设置一支架，托辊架固定在支架上，托辊则安装在托辊架的滑动杆上端；联动挡板与托辊架之间安装连杆，连杆的上端与联动挡板活动连接，连杆的下端与托辊架的滑动杆活动连接；联动挡板由两片合叶组成，两片合叶由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢。上述方案中托辊架由固定座和滑动杆构成，固定座上设置有滑动孔，滑动杆穿过滑动孔与固定座滑动连接，滑动杆的上端为水平的托辊支撑杆，滑动杆的下端为水平块，所述的连杆对称设置在滑动杆的两侧，并分别与水平块通过小轴活动连接。上述方案中合叶为一框体，框体之间设置有连接杆，连接杆将框体的两个侧边框连接起来，相邻的两个连接杆之间为方形孔，这样合叶上的无效部位掏空后，可减轻合叶整体的重量，使其张开或合拢时更容易。有益效果
I、本发明结构简单，能有效的克服了带材镀膜过程中产生的边框效应，使得卧式磁控溅射镀膜系统的设计简约，容易实现，大大降低了系统的复杂性，从而做到低成本实现卧式磁控溅射镀膜系统。2、本发明联动挡板的两端均设计了托辊架，并且通过对称的连杆将合页与托辊架的滑动杆活动连接在一起，使联动挡板与滑动杆有一个联动关系，且反应灵活，易于将边框效应外移到联动挡板上。四
图I是本发明的结构示意 图2是本发明中合页的结构示意 图3是本发明中支架的结构示意 图4是本发明中联动挡板的结构示意图。I支架，2托辊架，3合叶，4托辊，5连杆，6滑动杆，7联动挡板SHAPE \*MERGEFORMAT 。五具体实施例方式 下面结合附图对本发明做进一步的说明
如图I所示，这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架I、联动挡板7、托辊架2，联动挡板7的两端各设置一支架1，参阅图3，支架I为一底座，支架I的四个角上有螺栓孔，支架I通过螺栓固定，支架I上还设置有托辊架2安装孔；托辊架2固定在支架I上，托辊4则安装在托辊架2的滑动杆6上端，滑动杆6在托辊4的压力下，可向下滑动；联动挡板7与托辊架2之间安装连杆5，连杆5的上端与联动挡板7通过小轴活动连接，连杆5的下端与托辊架的滑动杆6活动连接，横置在托辊架2之间的联动挡板7，通过两端连接的连杆5与托辊架2形成一个联动关系，从而将对带材的边框效应转移到联动挡板7上。如图4所示，联动挡板7由两片合叶3组成，在每块合叶边缘设置有销钉穿孔，当 销钉接入穿孔后，以销钉为旋转中轴的两片合叶合二为一整块联动挡板7，两片合叶的角度可大小变化，
本发明中托辊架2由固定座和滑动杆6构成，固定座上设置有滑动孔，滑动杆6穿过滑动孔与固定座滑动连接，滑动杆6的上端为水平的托辊支撑杆，滑动杆6的下端为水平块，所述的连杆5对称设置在滑动杆6的两侧，并分别与水平块通过小轴活动连接。如图2所示，合叶3为一框体，框体之间设置有连接杆，连接杆将框体的两个侧边框连接起来，相邻的两个连接杆之间为方形孔，这样合叶3上的无效部位掏空后，可减轻合叶3整体的重量。本发明工作时，联动挡板7因卷绕带材(镀膜的基片)收放运动的张力对其有下压力的作用，而张开一定角度，同时带动连杆5运动，最终带动托辊架2往上运动，最终达到一个动态平衡的状态，而联动挡板7则紧贴着运动的带材，使得边框效应外移到联动挡板7上；反之，如果当带材宽度较窄的情况下，带材的张力作用在托辊4上，使得托辊架2有下压的运动，通过连杆5带动联动挡板7合拢，紧贴在运动的带材两边缘上，最终也会达到一个动态平衡的状态，同样使得边框效应外移到联动挡板7上。
权利要求
1.一种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架(I)、联动挡板(7)、托辊架(4)，托辊架(4)有可上下相对运动的滑动杆(6)，联动挡板(7)的两端各设置一支架(1)，托辊架(2)固定在支架(I)上，托辊(4)则安装在托辊架(2)的滑动杆上端；联动挡板(7)与托辊架之间安装连杆(5)，连杆(5)的上端与联动挡板(7)活动连接，连杆(5)的下端与托辊架的滑动杆(6)活动连接；联动挡板(7)由两片合叶(3)组成，两片合叶(3)由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢。
2.根据权利要求I所述的卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于所述的托辊架(2)由固定座和滑动杆(6)构成，固定座上设置有滑动孔，滑动杆(6)穿过滑动孔与固定座滑动连接，滑动杆(6)的上端为水平的托辊支撑杆，滑动杆(6)的下端为水平块，所述的连杆(5)对称设置在滑动杆(6)的两侧，并分别与水平块通过小轴活动连接。
3.根据权利要求I或2所述的卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于所述的合叶(3)为一框体，框体之间设置有连接杆，连接杆将框体的两个侧边框连接起来，相邻的两个连接杆之间为方形孔。
全文摘要
本发明涉及的是卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架、联动挡板、托辊架，托辊架有可上下相对运动的滑动杆，联动挡板的两端各设置一支架，托辊架固定在支架上，托辊则安装在托辊架的滑动杆上端；联动挡板与托辊架之间安装连杆，连杆的上端与联动挡板活动连接，连杆的下端与托辊架的滑动杆活动连接；联动挡板由两片合叶组成，两片合叶由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢。本发明结构简单，能有效的克服了带材镀膜过程中产生的边框效应，使得卧式磁控溅射镀膜系统的设计简约，容易实现，大大降低了系统的复杂性。
文档编号C23C14/35GK102899625SQ20121041661
公开日2013年1月30日 申请日期2012年10月28日 优先权日2012年10月28日
发明者马健伟, 宋亚瑞, 施微, 李芳 , 齐增禄 申请人:东北石油大学