基片装载架与磁导轨的连接结构的制作方法

文档序号:3298596阅读:325来源:国知局
基片装载架与磁导轨的连接结构的制作方法
【专利摘要】本发明公开一种基片装载架与磁导轨的连接结构,包括基片装载架、磁导轨和绝缘块,所述磁导轨上有第一螺纹孔,绝缘块上相应位置有沉孔,沉头螺钉通过沉孔和第一螺纹孔将绝缘块固定在磁导轨上;基片装载架上开有通孔,绝缘块相应位置处有第二螺纹孔,固定螺栓穿过通孔与第二螺纹孔配合,从而将装载架固定在绝缘块上,所述固定螺栓的螺帽与螺纹段之间有挡块,所述挡块的径向长度大于所述通孔的深度,所述固定螺栓的螺纹段径向长度小于第二螺纹孔的深度。本发明选用特定的固定螺栓,保证螺栓不会不接触磁导轨,可以避免因基片装载架短路而影响产品质量,也不会因磁导轨受热变形而影响生产。
【专利说明】基片装载架与磁导轨的连接结构
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种ITO镀膜生产线玻璃基片装载架的控制和导向装置,特别涉及基片装载架与磁导轨的连接结构。
【背景技术】
[0002]目前,ITO镀膜生产线基片装载架采用磁导轨替代齿轮、齿条传动来控制和导向玻璃基片装载架是一种趋势。这些磁导轨均采用排斥式的方法来控制和导向玻璃基片架,这种传动方式是通过基片装载架上部的磁导向磁铁产生的磁场力与箱体上的磁导向磁铁产生相反的磁场力,使基片装载架保持悬浮,与下传动轮一起控制基片装载架在导轨中的行进方向,达到导向的目的。现有的基片装载架与磁导轨采用过紧固定方式,磁导轨上固定绝缘块,基片装载架通过固定螺栓固定在绝缘块上,磁导轨与基片装载架之间有绝缘块隔离。这种固定方式存在以下问题:固定螺栓太长时会穿透绝缘块而与磁导轨接触,造成基片装载架短路,从而影响产品质量;由于连续镀膜生产线需要基片装载架在温度为400 V左右的真空箱体中一直运载,磁导轨会在高温环境中一直烘烤会引起变形,如果固定螺栓的螺帽与基片装载架之间没有间隙,从而造成基片装载架受热变形而卡到真空箱体中影响产量。

【发明内容】

[0003]本发明的要解决的技术问题是提供一种基片装载架与磁导轨的连接结构,即将基片装载架连接到磁导轨上,又避免因基片装载架短路而影响产品质量的目的,也不会因磁导轨受热变形而影响 生产。
[0004]为解决上述技术问题,本发明提供了一种基片装载架与磁导轨的连接结构,包括基片装载架、磁导轨、绝缘块,所述磁导轨上有第一螺纹孔,绝缘块上相应位置有沉孔,沉头螺钉通过沉孔和第一螺纹孔将绝缘块固定在磁导轨上;基片装载架上开有通孔,绝缘块相应位置处有第二螺纹孔,固定螺栓穿过通孔与第二螺纹孔配合,从而将装载架固定在绝缘块上,所述固定螺栓的螺帽与螺纹段之间有挡块,所述挡块的径向长度大于所述通孔的深度,所述固定螺栓的螺纹段径向长度小于第二螺纹孔的深度。
[0005]所述挡块是垫圈、套管。
[0006]所述挡块与固定螺栓一体成型。
[0007]本发明的有益效果是:固定螺栓的螺帽与螺纹段之间有挡块,所述挡块的径向长度大于所述通孔的径向长度,这样就使螺帽与基片装载架之间有间隙,当基片装载架在400°C左右真空箱体中运行使,基片装载架受热膨胀,由于螺帽与基片装载架之间有间隙,就能保证螺帽不会卡在绝缘块的通孔中,保证基片装载架不会因变形卡在箱体中;
固定螺栓的螺纹段径向长度小于第二螺纹孔的深度,就能保证螺栓不会不接触磁导轨,可以避免因基片装载架短路而影响产品质量。【专利附图】

【附图说明】
[0008]图1是本发明【具体实施方式】的示意图。
[0009]图2是图1的M部放大图。
[0010]图3是本发明中固定螺栓的示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
[0012]实施例1
如图1~图2所示,基片装载架与磁导轨的连接结构,包括基片装载架1、磁导轨2和绝缘块3,所述磁导轨2上有第一螺纹孔,绝缘块3上相应位置有沉孔,沉头螺钉4通过沉孔和第一螺纹孔将绝缘块3固定在磁导轨2上;基片装载架I上开有通孔11,绝缘块3相应位置处有第二螺纹孔32,固定螺栓5穿过通孔11与第二螺纹孔32配合,从而将基片装载架I固定在绝缘块3上。
[0013]固定螺栓5的结构示意图如图3所示,固定螺栓5的螺帽51与螺纹段53之间有挡块52,所述挡块52是垫圈,垫圈套在螺纹段53上,垫圈与固定螺栓5 —体成型,垫圈在固定螺栓上形成台阶,螺纹段53上挡块52的径向长度大于所述通孔11的深度,从而使螺帽51位于通孔11外,螺帽51与基片装载架I的间隙为d,从而当基片装载架I受热时,螺帽51不会卡在通孔11中;所述固定螺栓5的螺纹段53径向长度小于第二螺纹孔32的深度,从而避免固定螺栓5与磁导轨2接触,防止基片装载架I短路。
[0014]实施例2
如图1~图2所示,基片装载架与磁导轨的连接结构,包括基片装载架1、磁导轨2和绝缘块3,所述磁导轨2上有第一螺纹孔,绝缘块3上相应位置有沉孔,沉头螺钉4通过沉孔和第一螺纹孔将绝缘块3固定在磁导轨2上;基片装载架I上开有通孔11,绝缘块3相应位置处有第二螺纹孔32,固定螺栓5穿过通孔11与第二螺纹孔32配合,从而将基片装载架I固定在绝缘块3上。
[0015]固定螺栓5的结构示意图如图3所示,固定螺栓5的螺帽51与螺纹段53之间有挡块52,所述挡块52是套管,套管是耐高温材料,套管套在螺纹段53上,挡块52的径向长度大于所述通孔11的深度,从而使螺帽51位于通孔11外,螺帽51与基片装载架I的间隙为d,从而当基片装载架I受热时,螺帽51不会卡在通孔11中;所述固定螺栓5的螺纹段53径向长度小于第二螺纹孔32的深度,从而避免固定螺栓5与磁导轨2接触,防止基片装载架I短路。
【权利要求】
1.基片装载架与磁导轨的连接结构,包括基片装载架、磁导轨、绝缘块,所述磁导轨上有第一螺纹孔,绝缘块上相应位置有沉孔,沉头螺钉通过沉孔和第一螺纹孔将绝缘块固定在磁导轨上;基片装载架上开有通孔,绝缘块相应位置处有第二螺纹孔,固定螺栓穿过通孔与第二螺纹孔配合,从而将装载架固定在绝缘块上,其特征在于:所述固定螺栓的螺帽与螺纹段之间有挡块,所述挡块的径向长度大于所述通孔的深度,所述固定螺栓的螺纹段径向长度小于第二螺纹孔的深度。
2.如权利要求1所述的基片装载架与磁导轨的连接结构,其特征在于:所述挡块是垫圈、套管。
3.如权利要求1或2所述的基片装载架与磁导轨的连接结构,其特征在于:所述挡块与固定螺栓一体成型。`
【文档编号】C23C14/56GK103695861SQ201310708858
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年12月20日 优先权日:2013年12月20日
【发明者】任丹, 刘月豹, 王共志, 杨向东 申请人:安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司
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