一种用于提高镀膜均匀性的行星机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型属于真空镀膜设备领域，是一种用于提高镀膜均匀性的行星机构。所述用于提高镀膜均匀性的行星机构包括无油脂润滑轴承、自转盘、公转盘、转动轴、工件孔、小齿轮、输出轴、固定大齿轮。其中，所述固定大齿轮固定在离子溅射镀膜机的转动机构固定轴上，所述公转盘一端通过小齿轮与固定大齿轮啮合，另一端与转动轴固定，所述自转盘通过输出轴与小齿轮相连，工件孔按圆周均匀分布在自转盘上。本实用新型结构简单，与原有高速盘可方便互换，位于真空室内的各转动机构（系统）不使用油脂润滑，保证了真空室内干净无引入污染，同时改善了SPECTOR离子溅射镀膜机高速盘机构制备薄膜的均匀性，特别适用于对光学薄膜有高精度要求的用户。
【专利说明】—种用于提高镀膜均匀性的行星机构
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜设备领域，是一种用于提高镀膜均匀性的行星机构。
【背景技术】
[0002]目前，随着光学薄膜性能指标的不断提高，传统的热蒸发镀膜方式已经不适用于某些高精光学薄膜制备，离子束溅射镀膜方式已经越来越多地应用与高精度光学薄膜行业。对于某些要求精准控制薄膜厚度和均匀性的用户，选择使用美国veeco公司的SPECT0R离子溅射镀膜机配备的高速旋转工件盘制备的光学薄膜也并不一定能够达到用户要求，这是由于该类设备本身固有缺陷——存在沿工件盘中心射线方向的不均匀性，导致零件膜面各向异性参数偏差。尽管有修正板修正，但精度仍不能满足高精度用户使用要求。但如果选择veeco公司的行星盘机构就不能选择高速盘机构，它们两种系统不能在一台设备上兼容、互换使用。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是:为了克服现有技术SPECT0R离子溅射镀膜机行星盘机构与高速盘机构不兼容问题而提出一种在不破环设备原高速盘旋转机构的行星机构，使工件盘由原来的一个自由度增加为两个自由度，以此改善膜面均匀性，同时又可以与高速盘装置方便快捷地互换。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种用于提高镀膜均匀性的行星机构，其包括无油脂润滑轴承、自转盘、公转盘、转动轴、工件孔、小齿轮、输出轴、固定大齿轮，其中，所述固定大齿轮固定在离子溅射镀膜机的转动机构固定轴上，所述公转盘一端通过小齿轮与固定大齿轮啮合，另一端与转动轴固定，所述自转盘通过输出轴与小齿轮相连，工件孔按圆周均匀分布在自转盘上。
[0005]所述公转盘竖立在真空室内。
[0006]所述自转盘通过螺钉固定在输出轴一端，输出轴由设置在公转盘上的无油脂润滑轴承固定。
[0007]所述固定大齿轮通过螺钉固定在SPECT0R离子溅射镀膜机的转动机构固定轴上。
[0008]本实用新型技术效果是:本实用新型不破坏设备原有转动系统及空间、密封系统。结构简单，与原有高速盘可方便互换，位于真空室内的各转动机构(系统)不使用油脂润滑，保证了真空室内干净无引入污染，同时改善了 veeco公司SPECT0R离子溅射镀膜机高速盘机构制备薄膜的均匀性。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的整体结构示意图。
[0010]图中:1为无油脂润滑轴承；2为自转盘；3为螺钉；4为公转盘；5为螺母；6为转动轴；7为工件孔；8为小齿轮；9为输出轴；10为螺钉；11为固定大齿轮；12为螺钉。【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步说明。本实用新型的保护范围不仅局限于下列内容的表述。
[0012]参见图1所示，本实用新型用于提高镀膜均匀性的行星机构包括无油脂润滑轴承1、自转盘2、螺钉3、公转盘4、螺母5、转动轴6、工件孔7、小齿轮8、输出轴9、螺钉10、固定大齿轮11、螺钉12。所述固定大齿轮11通过所述螺钉12固定在SPECT0R离子溅射镀膜机的转动机构固定轴上，不可活动。所述公转盘4竖立在真空室内，一端通过所述小齿轮8与所述固定大齿轮11啮合，另一端通过所述螺母5与所述转动轴6固定，所述公转盘4可随所述转动轴6 —起转动。所述自转盘2通过所述输出轴9、无油脂润滑轴承I以及螺钉3与所述小齿轮8相连，可随所述公转盘4 一起转动。所述工件孔7按圆周均匀分布在自转盘2上，用于装载各种镀膜基片。
[0013]本实用新型行星机构在镀膜过程中处于竖立式，转动时不但公转盘围绕着中心的转动轴转动，而且自转盘还能围绕着输出轴转动，从而能够有效提高镀膜过程膜层沉积的均匀性。
[0014]本实用新型行星机构在不破环任何veeco公司SPECT0R离子溅射镀膜机设备硬件和真空密封情况下，可根据需求方便快捷地与原配高速盘互换，特别适用于对光学薄膜有高精度要求的用户。
[0015]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于提高镀膜均匀性的行星机构，其特征在于:包括无油脂润滑轴承、自转盘、公转盘、转动轴、工件孔、小齿轮、输出轴、固定大齿轮，其中，所述固定大齿轮固定在离子溅射镀膜机的转动机构固定轴上，所述公转盘一端通过小齿轮与固定大齿轮啮合，另一端与转动轴固定，所述自转盘通过输出轴与小齿轮相连，工件孔按圆周均匀分布在自转盘上。
2.根据权利要求1所述的用于提高镀膜均匀性的行星机构，其特征在于:所述公转盘竖立在真空室内。
3.根据权利要求2所述的用于提高镀膜均匀性的行星机构，其特征在于:所述自转盘通过螺钉固定在输出轴一端，输出轴由设置在公转盘上的无油脂润滑轴承固定。
4.根据权利要求3所述的用于提高镀膜均匀性的行星机构，其特征在于:所述固定大齿轮通过螺钉固定在SPECTOR离子溅射镀膜机的转动机构固定轴上。
【文档编号】C23C14/34GK203487225SQ201320651561
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年10月21日 优先权日:2013年10月21日
【发明者】刘新, 单凡, 任旭升, 张波, 陈帛雄 申请人:中国航空工业第六一八研究所