一种镀膜基片的镀膜夹具的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种镀膜基片的镀膜夹具，涉及镀膜领域，解决现有技术中基片内圈无遮挡，加工效果差、效率低的技术问题，本发明的镀膜夹具包括上夹板和下夹板，下夹板上设有安装孔，安装孔上设有定位台阶，上夹板和定位台阶间压紧有基片，上夹板上连接有与安装孔相对的保护帽，保护帽包括空心的支柱，支柱的底部设有膨胀套，支柱的顶部连接有注气管，膨胀套充气膨胀后抵靠在基片的底部。本发明应用于基片的镀膜加工。
【专利说明】一种镀膜基片的镀膜夹具
【【技术领域】】
[0001]本发明涉及镀膜领域，尤其是一种镀膜夹具。
【【背景技术】】
[0002]目前，物理蒸镀法(Physics Vapor Deposit1n,简称PVD)是一种应用最为广泛的薄膜制作方法，广泛应用于陶瓷、光学等诸多领域，用于形成金属电极等。该方法是在真空室中，加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，抵达基片(或衬底)表面后，凝结形成固态薄膜的方法。镀膜时，一般需要使用夹具来夹持基片。同时，由于蒸汽在空中是四散的，为使基片上某些不应形成电极的地方，如侧边，不被蒸镀到，夹具还应具有保护功能。
[0003]现有的镀膜夹具至少包括一固持板、一基片放置板及一掩膜板。基片放置板上设有多个定位孔用于容置镀膜基片，掩膜板及固持板分别位于基片放置板的两侧，掩膜板上设有多个与基片放置板上定位孔相对应的掩膜通孔用于保护基片，其直径可视需要而定略小于定位孔的直径，固持板则用于固持基片。然而该镀膜夹具只可对基片外侧边缘进行保护，对于中空的基片，如常用的环形基片，则无法对内侧边缘进行保护。在完成镀膜后，还需对基片内侧打磨，以使基片两面电极不短路。但这种打磨方式，既麻烦又容易改变基片内侧尺寸。
【
【发明内容】
】
[0004]本发明解决的技术问题是提供一种镀膜基片的镀膜夹具，能在镀膜时，对基片的内圈进行保护，并且安装方便。
[0005]为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案:
[0006]一种镀膜基片的镀膜夹具，包括上夹板和下夹板，所述下夹板上设有安装孔，所述安装孔上设有定位台阶，所述上夹板和定位台阶间压紧有基片，所述上夹板上连接有与安装孔相对的保护帽，所述保护帽包括空心的支柱，所述支柱的底部设有膨胀套，所述支柱的顶部连接有注气管，所述膨胀套充气膨胀后抵靠在基片的底部。
[0007]进一步的，所述上夹板上设有连接所述支柱的定位孔，所述支柱与定位孔固定连接。
[0008]进一步的，所述上夹板上设有连接所述支柱的连接孔，所述支柱穿过连接孔固定连接有升降板，所述升降板上连接有驱动件。
[0009]进一步的，所述驱动件为气缸。
[0010]进一步的，所述膨胀套为橡胶套。
[0011]进一步的，所述下夹板上设置若干所述安装孔，所述上夹板上连接若干与安装孔一一对应的所述保护帽。
[0012]本发明的有益效果:
[0013]本发明的镀膜基片的镀膜夹具，包括上夹板和下夹板，下夹板上设有安装孔，安装孔上设有定位台阶，上夹板和定位台阶压紧有基片，上夹板上连接有与安装孔对应的保护帽，保护帽包括空心的支柱，支柱穿过基片的内孔，支柱的底部设有膨胀套，支柱上连接有注气管，膨胀套充气膨胀后抵靠在基片的底部，因此基片的内外侧均被遮挡，蒸镀过程中，能对基片内外侧的同时保护，并且安装方便，工作效率高。
[0014]本发明的这些特点和优点将会在下面的【具体实施方式】、附图中详细的揭露。
【【专利附图】
【附图说明】】
[0015]下面结合附图对本发明做进一步的说明:
[0016]图1为本发明的结构示意图；
[0017]图2为本发明中膨胀套充气膨胀状态下的结构示意图；
[0018]图3为本发明中升降板抬升状态下的结构示意图。
【【具体实施方式】】
[0019]下面结合本发明实施例的附图对本发明实施例的技术方案进行解释和说明，但下述实施例仅仅为本发明的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本发明的保护范围。
[0020]参考图1和图2，所示的一种镀膜基片的镀膜夹具，包括上夹板2和下夹板1，下夹板I上设有安装孔11，安装孔11上设有定位台阶12，基片6通过上夹板2压紧在定位台阶12上，遮挡住基片6的外圈，在上夹板2上连接有保护帽，保护帽包括空心的支柱41，支柱41的底部设有膨胀套42，支柱41上连接有注气管5，安装时，支柱41穿过基片6的内圈，膨胀套42充气膨胀后抵靠在基片6的底部，遮挡住基片6的内圈，完成镀膜后，膨胀套42收缩，上夹板2可带着保护帽穿出基片6，方便基片6的取出。
[0021]本发明的下夹板I上设有若干安装孔11，上夹板2上连接若干与安装孔11 一一对应的保护帽，在下夹板I的安装孔11中放置基片6，下夹板I连接上夹板2后，保护帽对应的穿过基片6，安装方便，可同时加工多块基片6。
[0022]参考图1、图2和图3，在上夹板2上设有连接支柱41的连接孔21，支柱41穿过连接孔21连接有升降板3，升降板3上连接有驱动件；或者上夹板上设有连接支柱的定位孔，支柱与定位孔固定连接。但是通过驱动件驱动升降板3带动所有的保护帽抬升，保护帽的底面高于连接孔21的底面，此时可在定位台阶12上放置圆形无内孔的基片6，因此可应用于两者不同基片6的镀膜加工，适应的范围更大。
[0023]采用的驱动件为气缸，气缸驱动升降板带动保护帽完成位置的变化。
[0024]另外，膨胀套42为橡胶套，注气管5进气，通过支柱41后使得橡胶套膨胀变大，停止进气后，橡胶套回缩。
[0025]通过上述实施例，本发明的目的已经被完全有效的达到了。熟悉该项技术的人士应该明白本发明包括但不限于附图和上面【具体实施方式】中描述的内容。任何不偏离本发明的功能和结构原理的修改都将包括在权利要求书的范围中。
【权利要求】
1.一种镀膜基片的镀膜夹具，包括上夹板和下夹板，所述下夹板上设有安装孔，所述安装孔上设有定位台阶，所述上夹板和定位台阶间压紧有基片，其特征在于:所述上夹板上连接有与安装孔相对的保护帽，所述保护帽包括空心的支柱，所述支柱的底部设有膨胀套，所述支柱的顶部连接有注气管，所述膨胀套充气膨胀后抵靠在基片的底部。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜基片的镀膜夹具，其特征在于:所述上夹板上设有连接所述支柱的定位孔，所述支柱与定位孔固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种镀膜基片的镀膜夹具，其特征在于:所述上夹板上设有连接所述支柱的连接孔，所述支柱穿过连接孔固定连接有升降板，所述升降板上连接有驱动件。
4.根据权利要求3所述的一种镀膜基片的镀膜夹具，其特征在于:所述驱动件为气缸。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜基片的镀膜夹具，其特征在于:所述膨胀套为橡胶套。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种镀膜基片的镀膜夹具，其特征在于:所述下夹板上设置若干所述安装孔，所述上夹板上连接若干与安装孔一一对应的所述保护帽。
【文档编号】C23C14/50GK104313547SQ201410504081
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年9月26日 优先权日:2014年9月26日
【发明者】董新妹 申请人:董新妹