一种镀膜的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种镀膜设备，尤其涉及一种玻璃镀膜机。本实用新型为一种镀膜机，其主要包括溅射室、阳极遮挡板、溅射靶，溅射靶旁边安装有辅助阳极，溅射靶在周围覆盖一层阳极遮挡板，所述的溅射室两侧分别设置气口，气口分别安装设置有流量控制器，在气口通过输送管连接储气管，溅射室内壁同样安装有阳极遮挡板。本实用新型的有益效果是：有效避免二次污染，提高了产品合格率和生产量，最大程度优化镀膜效果，并且可实现气体流量的微调，降低了人工成本。
【专利说明】一种镀膜机
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种镀膜设备，尤其涉及一种玻璃镀膜机。
【背景技术】
[0002] 传统的镀膜机在镀膜过程中，容易沾染灰尘或者其他杂质，使之受到二次污染；导 致淋漆时，油漆和镜片之间的粘合度不牢固，图层附着力差，镀膜厚度不均，稳定度不足，容 易产生掉漆，甚至出现斑纹。
[0003] 本 申请人:有见于上述习知现有技术存在的不足之处，秉持研究创新、精益求精的 精神，结合生产得出的实践经验，利用专业科学的方法，提出一个省时有效的解决方案，因 此提出本案申请。
【发明内容】
[0004] 本实用新型的目的在于针对已有的技术现状，提供镀膜质量好、精度高的镀膜机。
[0005] 为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
[0006] 本实用新型为一种镀膜机，其主要包括溅射室1、阳极遮挡板3、溅射靶4,溅射靶4 旁边安装有辅助阳极2,溅射靶4在周围覆盖一层阳极遮挡板3。
[0007] 所述的溅射室1两侧分别设置气口 5,气口 5分别安装设置有流量控制器61。 [0008] 所述的气口 5通过输送管51连接储气管6。
[0009] 所述的溅射室1内壁8同样安装有阳极遮挡板3。
[0010] 所述的溅射靶4采用铝合金靶作为材质。
[0011] 所述的溅射室1上还安装有温度控制装置7。
[0012] 本实用新型的有益效果是：有效避免二次污染，提高了产品合格率和生产量，最大 程度优化镀膜效果，并且可实现气体流量的微调，降低了人工成本。
【专利附图】
【附图说明】 [0013] ：
[0014] 附图1为实用新型之结构示意图。
【具体实施方式】 [0015] ：
[0016] 为了使审查委员能对本实用新型之目的、特征及功能有更进一步了解，兹举较佳 实施例并配合图式详细说明如下：
[0017] 图1所示，本实用新型一种镀膜机，其主要包括溅射室1、阳极遮挡板3、溅射靶4， 溅射靶4旁边安装有辅助阳极2,溅射靶4在周围覆盖一层阳极遮挡板3。辅助阳极2和 阳极遮挡板3保证惰性气体在磁场和电场中电离效果，当惰性气体被电离成正离子和电子 后，使得电子与工作气体的电离几率增大，一般情况下所述的气体为氩气。阳极遮挡板3的 设置保证了灰尘或者其他杂质与镀膜发生污染或者变质，使得膜层更加均匀、稳定，避免斑 纹的出现。
[0018] 所述的溅射室1两侧分别设置气口 5,气口 5分别安装设置有流量控制器61。所 述的气口 5通过输送管51连接储气管6,通过流量控制器61控制气体的流量进行定压调 节，以适应镀膜要求。
[0019] 作为优选的技术方案：所述的溅射室1内壁8同样安装有阳极遮挡板3。而溅射 靶4采用铝合金靶作为材质，铝材反射率、亮度、透明高，因此实际使用效果较佳。所述的溅 射室1上还安装有温度控制装置7用于监测溅射室1的温度。
[0020] 当然，以上图示仅为本实用新型较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的使用 范围，故，凡是在本实用新型原理上做等效改变均应包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1. 一种镀膜机，其主要包括溅射室（1 )、阳极遮挡板（3)、溅射靶（4)，溅射靶（4)旁边安 装有辅助阳极（2)，其特征在于：溅射靶（4)在周围覆盖一层阳极遮挡板（3);溅射室（1)两 侧分别设置气口（5)，气口（5)分别安装设置有流量控制器（61)，气口 5通过输送管（51)连 接储气管（6);溅射室（1)内壁（8)同样安装有阳极遮挡板（3)。
2. 根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：溅射靶（4)采用铝合金靶作为材 质。
3. 根据权利要求1或2所述的一种镀膜机，其特征在于：溅射室1上还安装有温度控 制装置（7)。
【文档编号】C23C14/18GK203999793SQ201420169053
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年4月9日 优先权日:2014年4月9日
【发明者】林楚兴 申请人:广东光耀玻璃有限公司