一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法与流程

本发明涉及一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法，尤其是一种一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法，属于半导体薄膜沉积技术领域。

背景技术：

气相沉积控制元件的模块化安装形式，是半导体行业设备的重要组成部分。模块组合安装完成后，工艺气体通过此装置，分配不同量的工艺气体或液体或固体进入反应腔室，参与气相沉积，形成薄膜。半导体设备需要工艺气体分配模块输送气体，在组成工艺气体模块的过程中，需要按照原理图进行设计、组装。但由于外购元件尺寸上有出入，机加件尺寸上也有出入，所以在组装的过程中，会发现按照设计的孔位制作出的机加件与外购元件的组合上不匹配，常常是需要修配，甚至是重新制作，对产品的整体里程碑也是拖延。

气体模块的组成，由一条条工艺模块组成，有时会需要两条模块之间配合，所以也需要留出足够的余量组装，经常会发生在设计时位置非常好，设计也留出了足够的空间，可实际在装配时，不匹配，无法安装的情况。导致机加件修配或重新加工，或者工艺管路重新焊接的情况的发生。

为了解决以上的矛盾，设计和生产一种新的气相沉积控制元件的 模块化安装形式迫在眉睫。

技术实现要素：

为了解决上述现有技术的不足，本发明提供了一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法，采用了通长的豁口，里面下入方形的螺纹块(避免在螺栓旋紧的过程中，螺纹块旋转，无法固定)，在上面的元件安装好后，再把之字板把合固定住。每条工艺模块安装适合后，在把两条模块固定在基板上，最后把基板固定在基座上，即完成了整个模块的安装。

本发明的有益效果及特点：结构合理，操作简单、方便，可在任意位置安装和固定元件，可实现傻瓜式的安装方式。在各个元件连接过程中，省去了为了按照孔位安装费力的寻找螺孔。在全部都安装好后，在把模块基座和基板上的螺钉旋紧固定，即完成了模块组合安装，本发明可满足不同元件在同一个模块上安装的要求。

附图说明

图1是采用本方法安装好的模块示意图。

图2是气相沉积控制元件模块的爆炸图。

图中：1、元件；2、之字板；3、螺纹块；4、基座；5、基板；6、管路。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方 案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1和图2所示，一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法，采用了通长的豁口，里面下入方形的螺纹块3(避免在螺栓旋紧的过程中，螺纹块旋转，无法固定)，在上面的元件1安装好后，再把之字板2把合固定住。每条工艺模块安装适合后，在把两条模块固定在基板5上，最后把基板5固定在基座6上，即完成了整个模块的安装。两条气体模块中间需要工艺管路6相连接，那么就把工艺管路6连接好，再把整理放在基板5上，把固定螺钉旋紧固定。以此类推，逐个都安装固定好，此时，即完成了气相沉积控制元件的模块化安装。