雾化金属粉末的制造方法与流程

本发明涉及使用雾化装置的金属粉末(以下，也称为雾化金属粉末)的制造方法，特别涉及提高雾化后的金属粉末的冷却速度的方法。

背景技术：

一直以来，作为制造金属粉末的方法，有雾化法。该雾化法有向熔融金属流喷射高压的水射流得到金属粉末的水雾化法、喷射非活性气体代替水射流的气体雾化法。

在水雾化法中，利用从喷嘴喷射的水射流分离熔融金属流，制成粉末状的金属(金属粉末)，同时还用水射流进行粉末状的金属(金属粉末)的冷却而得到水雾化金属粉末。另一方面，在气体雾化法中，利用从喷嘴喷射的非活性气体将熔融金属流分离，制成粉末状的金属(金属粉末)之后，通常，使粉末状的金属(金属粉末)落到设置在雾化装置之下的水槽或流水的滚筒中，进行粉末状的金属(金属粉末)的冷却，得到雾化金属粉末。

近年来，从节能的观点考虑，例如要求在电动车、混合动力汽车中使用的马达铁芯的低铁损化。以往，马达铁芯一直是层叠电磁钢板而制作的，最近，使用形状设计的自由度高的金属粉末(电磁铁粉)制作的马达铁芯正受到关注。为了实现这样的马达铁芯的低铁损化，需要所使用的金属粉末的低铁损化。认为为了制成低铁损的金属粉末，使金属粉末非晶化(无定形化)是有效的。但是，在雾化法中，为了得到非晶化的金属粉末，需要通过将处于包括熔融状态的高温状态的金属粉末超骤冷来防止结晶化。

因此，提出了几个将金属粉末骤冷的方法。

例如，专利文献1中记载了一种金属粉末的制造方法，在使熔融金属飞散的同时冷却、固化而得到金属粉末时，直到固化为止的冷却速度设为10⁵K/s以上。利用专利文献1中记载的技术，通过使飞散的熔融金属与沿筒状体的内壁面使冷却液旋转而产生的冷却液流接触，从而得到上述的冷却速度。而且，优选使冷却液旋转而产生的冷却液流的流速设为5～100m/s。

另外，专利文献2中记载了一种骤冷凝固金属粉末的制造方法。在专利文献2中记载的技术中，从内周面为圆筒面的冷却容器的圆筒部上端部外周侧自圆周方向供给冷却液，使其沿圆筒部内周面一边旋转一边流下，利用由该旋转产生的离心力，形成中心部具有空洞的层状的旋转冷却液层，向该旋转冷却液层的内周面供给金属熔液使其骤冷凝固。由此，冷却效率良好地得到高品质的骤冷凝固粉末。

另外，专利文献3中记载了一种利用气体雾化法的金属粉末的制造装置，具备用于向流下的熔融金属喷射气体射流来分离成熔滴的气体射流喷嘴、和具有在内周面边旋转边流下的冷却液层的冷却用筒体。利用专利文献3中记载的技术，熔融金属被气体射流喷嘴和旋转的冷却液层分离成二段，得到微细化的骤冷凝固金属粉末。

另外，专利文献4中记载了一种无定形金属微粒的制造方法，向液态的制冷剂中供给熔融金属，在制冷剂中形成覆盖熔融金属的蒸气膜，破坏所形成的蒸气膜而使熔融金属与制冷剂直接接触，因生成自然核而引起沸腾，利用其压力波将熔融金属一边撕碎一边快速冷却而无定形化，制成无定形金属微粒。覆盖熔融金属的蒸气膜的破坏可以如下实现，即，将向制冷剂供给的熔融金属的温度设为在与制冷剂直接接触时界面温度为膜沸腾下限温度以下且为自发成核温度以上的温度，或者进行超声波照射。

另外，专利文献5中记载了一种微粒的制造方法，在将熔融的材料以液滴或喷气流的形式向液体制冷剂中供给时，以与液体制冷剂直接接触时，在液体制冷剂的自发成核温度以上为熔融状态的方式设定熔融的材料的温度，进而，使进入到液体制冷剂流中时的熔融的材料的速度与液体制冷剂流的速度的相对速度差达到10m/s以上，强制破坏在熔融的材料的周围形成的蒸气膜，产生因自发成核所致的沸腾，在微粒化的同时进行冷却固化。由此，即使以往困难的材料，也能够进行微粒化、非晶化。

另外，专利文献6中记载了一种功能部件的制造方法，具备：将在作为母材的材料中添加了功能性添加材料的原料熔融，向液体制冷剂之中供给，在因蒸汽爆炸而微细化的同时进行冷却固化，此时控制冷却速度，由此得到作为无偏析的多晶或非晶的均质的功能性微粒的工序、和使用该功能性微粒和上述母材的微粒作为原料进行固化得到功能部件的工序。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-150587号公报

专利文献2：日本特公平7-107167号公报

专利文献3：日本专利第3932573号公报

专利文献4：日本专利第3461344号公报

专利文献5：日本专利第4793872号公报

专利文献6：日本专利第4784990号公报

技术实现要素：

通常，为了使高温的熔融金属骤冷，即便使熔融金属接触冷却水，也难以使熔融金属表面与冷却水完全接触。这是由于冷却水在与高温的熔融金属表面(被冷却面)接触的瞬间气化，在被冷却面和冷却水之间形成蒸气膜，成为所谓的膜沸腾状态。因此，由于存在蒸气膜而妨碍冷却的促进。

专利文献1～3中记载的技术是向使冷却液旋转形成的冷却液层中供给分离了的熔融金属，要将形成于金属粒子周围的蒸气膜剥掉的技术，但分离了的金属粒子的温度高时在冷却液层中容易成为膜沸腾状态，而且向冷却液层中供给的金属粒子与冷却液层一起移动，因此存在与冷却液层的相对速度差小，难以避免膜沸腾状态的问题。

另外，专利文献4～6中记载的技术，利用连锁地从膜沸腾状态变为核沸腾状态的蒸汽爆炸，使覆盖熔融金属的蒸气膜破坏，实现金属粒子的微细化，进而实现非晶化。利用蒸汽爆炸除去膜沸腾的蒸气膜是有效的方法，但从膜沸腾状态连锁地变为核沸腾状态而产生蒸汽爆炸，因此由图4所示的沸腾曲线可知，至少首先最初需要将金属粒子的表面温度冷却至MHF(最小热通量：Minimum Heat Flux)点以下。图4称为沸腾曲线，是示意地表示制冷剂为水(冷却水)时的冷却能力与被冷却材料的表面温度的关系的说明图。根据图4，金属粒子的表面温度高时，直到MHF点温度为止的冷却成为在膜沸腾区域的冷却，在膜沸腾区域的冷却因为在被冷却面和冷却水之间隔着蒸气膜，所以为弱冷却。因此，出于金属粉末的非晶化的目的而从MHF点以上开始冷却时，存在用于非晶化的冷却速度不足的问题。

本发明的目的在于提供能够解决上述以往技术的问题，能够实现金属粉末的快速冷却，制成非晶状态的金属粉末的雾化金属粉末的制造方法。

本发明人等为了实现上述目的，首先，对影响水喷射冷却中的MHF点的各种重要因素进行深入研究。其结果发现冷却水的温度和喷射压力的影响较大。

首先，对本发明人等进行的基础的实验结果进行说明。

使用SUS304不锈钢钢板(大小：20mm厚度×150mm宽度×150mm长度)作为原材料。应予说明，可以从背面向原材料插入热电偶，测定距表面1mm的位置(宽度中央、长度中央)的温度。然后，将材料装入无氧气氛加热炉中，加热到1200℃以上。将加热了的原材料取出，立即以改变水温、喷射压力的方式从雾化用冷却喷嘴向该原材料喷射冷却水，测定距表面1mm的位置的温度变化。根据所得到的温度数据，由计算推测冷却时的冷却能力。由得到的冷却能力作成沸腾曲线，将冷却能力急剧上升的点判断为从膜沸腾变为过渡沸腾的点，求出MHF点。

将得到的结果示于图1。

由图1可知，将在通常的水雾化法中使用的水温30℃的冷却水以喷射压力1MPa进行喷射时，在喷射冷却水的状态下MHF点为700℃左右。另一方面，将水温2℃～10℃的冷却水以喷射压力5MPa～20MPa进行喷射时，在喷射冷却水的状态下MHF点为1000℃以上。即，发现通过将冷却水的温度(水温)降低为10℃以下，和将喷射压力升高至5MPa以上，从而MHF点上升，从膜沸腾变为过渡沸腾的温度达到高温。

通常，将熔融金属雾化后的金属粉末的温度具有1000～1300℃左右的表面温度，另外为了防止结晶化，对于需要冷却温度范围，需要从约1000℃到第1结晶温度以下的温度范围进行冷却，如果以金属粉末的冷却开始温度高于MHF点的温度开始水喷射冷却，则冷却开始时会成为冷却能力低的膜沸腾区域的冷却。因此，只要以MHF点为需要冷却温度范围以上的水喷射冷却开始冷却，就能够至少从过渡沸腾区域开始金属粉末的冷却，与膜沸腾区域相比促进冷却，能够显著提高金属粉末的冷却速度。可知只要以这样的冷却能力高的冷却对金属粉末进行冷却，就能够容易地实现金属粉末的非晶化所需的结晶温度区域的骤冷。

本发明是基于上述见解，进一步加入研究而完成的。即，本发明的要旨如下。

(1)一种雾化金属粉末的制造方法，其特征在于，是对熔融金属流喷射流体，将该熔融金属流分离而制成金属粉末，对该金属粉末进行冷却的雾化金属粉末的制造方法，使上述流体为液温10℃以下、喷射压力5MPa以上的喷射水，进行上述熔融金属流的分离和上述金属粉末的冷却。

(2)一种雾化金属粉末的制造方法，其特征在于，是对熔融金属流喷射流体，将该熔融金属流分离而制成金属粉末，对该金属粉末进行冷却的雾化金属粉末的制造方法，使上述流体为非活性气体，进行上述熔融金属流的分离，使用液温10℃以下、喷射压力5MPa以上的喷射水进行上述金属粉末的冷却。

(3)根据(2)所述的雾化金属粉末的制造方法，其特征在于，在上述金属粉末的温度达到1000℃以下后，进行上述喷射水的喷射。

(4)根据(1)～(3)中任一项所述的雾化金属粉末的制造方法，其特征在于，上述熔融金属流由Fe-B系合金或Fe-Si-B系合金构成，上述雾化金属粉末为非晶金属粉末。

根据本发明，能够用简便的方法，实现10⁵K/s以上的金属粉末的快速冷却，容易地制成非晶状态的雾化金属粉末，能够容易而且便宜地制造低铁损的压粉磁芯用金属粉末，在产业上起到显著的效果。另外，根据本发明，也有容易制造形状复杂的低铁损的压粉磁芯的效果。

附图说明

图1是表示冷却水的水温、喷射压力对MHF点的影响的图。

图2是示意地表示适合于本发明的实施的水雾化金属粉制造装置的概要构成的说明图。

图3是示意地表示适合于本发明的实施的气体雾化金属粉制造装置的概要构成的说明图。

图4是示意地表示沸腾曲线的概要的说明图。

具体实施方式

在本发明中，首先，将作为原料的金属材料溶解，制成熔融金属。作为用作原材料的金属材料，一直以来以粉末的形式使用的纯金属、合金、生铁等均可应用。例如，可以例示纯铁、低合金钢、不锈钢等铁基合金，Ni、Cr等非铁金属，非铁合金，或作为无定形合金(非晶合金)的Fe-B系合金、Fe-Si-B系合金、Fe-Ni-B合金等。应予说明，这些合金除了标记过的元素以外当然含有杂质。

应予说明，金属材料的溶解方法无需特别限定，电炉、真空熔炼炉、高频熔炼炉等常用的溶解机构均可以应用。

将溶解的熔融金属从熔炼炉移到中间包等容器中，在雾化金属粉制造装置内制成雾化金属粉。将本发明中使用的理想的水雾化金属粉制造装置的例子示于图2。

利用图2对利用水雾化法时的本发明进行说明。

熔融金属1从中间包3等容器介由金属熔液导流嘴4以熔融金属流8的形式流下到腔室9内。应予说明，腔室9内要预先打开非活性气体阀11而成为非活性气体(氮气、氩气等)气氛。

介由配设于喷嘴头5的喷嘴6向流下的熔融金属流8喷射流体7，分离该熔融金属流8制成金属粉末8a。本发明中利用水雾化法时，使用喷射水(水射流)作为流体7。

本发明中，使用喷射水(水射流)作为流体7。使用的喷射水(水射流)为液温10℃以下、喷射压力5MPa以上的喷射水(水射流)。

喷射水的液温(水温)升高超过10℃时，无法成为MHF点变为1000℃左右以上的所希望的MHF点的水喷射冷却，无法确保所希望的冷却速度。因此，喷射水的液温(水温)限定于10℃以下。应予说明，优选为7℃以下。这里所说的“所希望的冷却速度”是指作为能够实现非晶化的最低的冷却速度的从凝固结束的温度到第1结晶温度(例如400～600℃左右)的平均10⁵～10⁶K/s左右的冷却速度。

另外，喷射水(水射流)的喷射压力小于5MPa时，即使冷却水的水温为10℃以下，也无法成为MHF点达到所希望的温度以上的水喷射冷却，无法确保所希望的骤冷(所希望的冷却速度)。因此，喷射水的喷射压力限定在5MPa以上。应予说明，即使超过10MPa地升高喷射压力，MHF点的上升也饱和，因此喷射压力优选为10MPa以下。

在利用本发明的水雾化进行的金属粉末的制造中，向熔融金属流喷射如上所述调整了水温和喷射压力的喷射水，同时进行熔融金属流的分离和分离了的金属粉末(也包括熔融状态的金属粉末)的冷却、固化。

应予说明，对于喷射水所使用的冷却水，优选预先利用将冷却水冷却为低温的冷水机16等热交换器制成低水温的冷却水并储藏在设置于水雾化金属粉制造装置14的外部的冷却水箱15(隔热结构)中。应予说明，在一般的冷却水制造机中，因热交换器内冻结而难以生成低于3～4℃的冷却水，因此可以设置利用制冰机向箱内补给冰的机构。但是，0℃以下的冷却水容易变成冰，因此优选制成超过0℃的冷却水。此外，当然可以在冷却水箱15配设对冷却水进行升压·送水的高压泵17、从高压泵向喷嘴头5供给冷却水的配管18。

在本发明中，可以用利用了非活性气体22a作为流体7的气体雾化法进行熔融金属流的分离。此时，在本发明中，对分离了的金属粉末进一步利用喷射水实施冷却。即，在利用本发明的气体雾化法的金属粉末的制造中，向熔融金属流喷射非活性气体，进行熔融金属流的分离，以喷射压力5MPa以上、水温10℃以下的喷射水进行分离了的金属粉末(也包括熔融状态的金属粉末)的冷却。将在本发明中使用的理想的气体雾化金属粉制造装置的例子示于图3。

利用图3对利用气体雾化法时的本发明进行说明。

将溶解的熔融金属1从熔炼炉2移到中间包3等容器中，从该容器介由气体雾化金属粉制造装置19的金属熔液导流嘴4以熔融金属流8的形式流下到腔室9内。应予说明，腔室9内要预先打开非活性气体阀11而成为非活性气体气氛。

介由配设于气体喷嘴头21的气体喷射喷嘴22向流下的熔融金属流8喷射非活性气体22a，将该熔融金属流8分离制成金属粉末8a。然后，在得到的金属粉末8a的温度优选成为需要冷却温度范围的约1000℃的位置，喷射喷射水25a冷却金属粉末8a。喷射水25a为喷射压力5MPa以上、水温10℃以下的喷射水。

通过用喷射压力5MPa以上、水温10℃以下的喷射水冷却，从而使MHF点上升到1000℃左右。因此，在本发明中，优选对1000℃左右以下的温度的金属粉末应用利用喷射压力5MPa以上、水温10℃以下的喷射水进行的冷却。由此，从冷却开始时成为在过渡沸腾区域的冷却，促进冷却，能够容易地确保所希望的冷却速度。应予说明，金属粉的温度调节可以通过改变从气体雾化点到喷射水的喷射开始的距离来实现。

应予说明，在利用喷射水开始冷却时，金属粉末8a的温度为超过1000℃的高温的情况下，即使将喷射水的水温设为小于5℃，也成为基于膜沸腾状态的冷却，与在1000℃以下开始冷却的过渡沸腾状态下的冷却相比冷却能力降低，但与喷射压力小于5MPa、水温在10℃以上进行的通常的膜沸腾状态的冷却相比冷却能力高，能够缩短膜沸腾状态的时间。另外，通过进一步降低水温，提高喷射压力，能够使MHF点上升，得到的金属粉末的非晶性提高。例如，通过使水温为5℃以下，喷射压力为10MPa以上，能够使MHF点上升到1030℃左右。另外，由此，粒径大的金属粉末也能够实现非晶化。

如上所述，在本发明中，利用气体雾化法将熔融金属流分离后，利用喷射压力5MPa以上、水温10℃以下的喷射水进行冷却。金属粉末的温度为MHF点以下的情况下，只要在上述条件下实施水喷射冷却，就能够进一步提高冷却速度。

应予说明，喷射水所使用的冷却水与水雾化法的情况同样地，优选预先利用将冷却水冷却为低温的冷水机16等热交换器制成低水温的冷却水并储藏在设置于气体雾化金属粉制造装置19的外部的冷却水箱15(隔热结构)。另外，可以设置利用制冰机向箱内补给冰的机构。当然可以在气体喷嘴头21介由配管28配设储气瓶27。进而，在冷却水箱15配设对冷却水进行升压·送水的高压泵17、从高压泵向冷却水喷射喷嘴25供给冷却水的配管18当然与水雾化金属粉制造装置是相同的。

为了将金属粉末制成非晶状态的粉末，需要对结晶温度区域进行快速冷却。作为用于实现非晶化的临界冷却速度，因合金系而变化，例如可例示Fe-B系合金(Fe₈₃B₁₇)时为1.0×10⁶K/_s、Fe-Si-B系合金(Fe₇₉Si₁₀B₁₁)时为1.8×10⁵K/s(日本机械学会：沸腾热传递和冷却，P208，1989年，日本工业出版)。此外，对于Fe系、Ni系的代表性的无定形合金，非晶化的临界冷却速度为10⁵～10⁶K/s左右。像本发明中那样，从最初开始冷却时避开膜沸腾区域，在过渡沸腾区域或核沸腾区域进行冷却，采用金属粉末的制造方法，能够确保上述程度的冷却速度。实施例

(实施例1)

使用图2所示的水雾化金属粉制造装置制造金属粉末。

以at％计，以成为79％Fe-10％Si-11％B的组成(Fe₇₉Si₁₀B₁₁)的方式配合原料(无法避免一部分含有杂质)，在熔炼炉2中以约1550℃进行溶解，得到熔融金属约50kgf。在熔炼炉2中缓慢冷却至1350℃后，注入到中间包3。应予说明，腔室9内通过预先打开非活性气体阀11而成为氮气氛。另外，在将熔融金属注入到中间包3前，预先运转高压泵17，从冷却水箱15(容量：10m³)向喷嘴头5供给冷却水，成为从水喷射喷嘴6喷射喷射水(流体)7的状态。应予说明，熔融金属流8与喷射水(流体)7接触的位置设置在与金属熔液导流嘴4相距200mm的位置。

介由金属熔液导流嘴4将注入到中间包3的熔融金属1以熔融金属流8的形式流下到腔室9内，与如表1所示改变了水温和喷射压力的喷射水(流体)7接触，分离制成金属粉，同时一边与冷却水混合一边进行冷却，从具备金属粉回收阀13的回收口以金属粉末的形式回收。

对得到的金属粉末，除去金属粉末以外的灰尘后，取样进行X射线衍射测定，由衍射X射线的积分强度之比调查结晶率，从1减去结晶率(1-结晶率＝)，由此求出非晶率。将得到的结果示于表1。非晶率90％以上为合格。应予说明，得到的金属粉末有时含有作为杂质的化合物，作为杂质含有的化合物小于1质量％。

[表1]

可以确认本发明例的结晶率小于10％，大部分成为非晶的金属粉末。另一方面，确认偏离本发明的范围的比较例均看到10％以上的结晶化，没有成为非晶的金属粉末。认为所使用的合金组成(Fe₇₉Si₁₀B₁₁)用于实现非晶化的临界冷却速度为1.8×10⁵K/s，由此推测，本发明例得到了1.8×10⁵K/s以上的冷却速度。

(实施例2)

使用图3所示的气体雾化金属粉制造装置制造金属粉末。

以at％计，以成为79％Fe-10％Si-11％B的组成(Fe₇₉Si₁₀B₁₁)的方式配合原料(无法避免一部分含有杂质)，在熔炼炉2中以约1550℃进行溶解，得到熔融金属约10kgf。在熔炼炉中缓慢冷却至1400℃后，注入到中间包3中。应予说明，腔室9内通过预先打开非活性气体阀11而成为氮气氛。另外，在将熔融金属注入到中间包3前，预先运转高压泵17，从冷却水箱15(容量：10m³)向水喷射喷嘴25供给冷却水，成为从水喷射喷嘴25喷射喷射水(流体)25a的状态。

介由金属熔液导流嘴4将注入到中间包3中的熔融金属1以熔融金属流8的形式流下到腔室9内，与从气体喷嘴22以喷射压力5MPa喷射的氩气(流体)22a接触，分离制成金属粉末8a。分离了的金属粉末在热辐射和气氛气体的作用下，一边固化一边冷却，在冷却到1000℃左右的时刻，即在距离气体雾化点(熔融金属流8和氩气22a的接触点)350mm(一部分为250mm)的位置，对金属粉末实施利用表2所示的喷射压力和水温的喷射水的冷却，从具备金属粉回收阀13的回收口以金属粉末的形式回收。

对得到的金属粉末，在除去金属粉末以外的灰尘后，取样进行X射线衍射测定，根据衍射X射线的积分强度之比调查结晶率，从1减去结晶率(1-结晶率＝)，由此求出非晶率。将得到的结果示于表2。非晶率90％以上为合格。应予说明，有时得到的金属粉末中含有作为杂质的化合物，但作为杂质含有的化合物小于1质量％。

可以确认本发明例的结晶率小于10％，大部分成为非晶的金属粉末。应予说明，可以确认使用本发明范围的喷射水进行冷却的粉末No.B4的冷却开始时的粉末的平均温度为1046℃，但由于喷射压力为20MPa，水温为4℃，使MHF点上升到1050℃，所以大部分成为非晶的金属粉末。

另一方面，确认偏离本发明的范围的比较例均看到10％以上的结晶化，均没有成为非晶的金属粉末。认为使用的合金组成(Fe₇₉Si₁₀B₁₁)用于实现非晶化的临界冷却速度为1.8×10⁵K/s，由此推断，本发明例得到了1.8×10⁵K/s以上的冷却速度。

(实施例3)

使用图3所示的气体雾化金属粉制造装置制造金属粉末。

以at％计，以成为83％Fe-17％B的组成(Fe₈₃B₁₇)的方式配合原料(无法避免一部分含有杂质)，在熔炼炉2中以约1550℃进行溶解，得到熔融金属约10kgf。在熔炼炉中缓慢冷却至1500℃后，注入到中间包3中。应予说明，腔室9内通过预先打开非活性气体阀11而成为氮气氛。另外，在将熔融金属注入到中间包3前，预先运转高压泵17，从冷却水箱15(容量：10m³)向水喷射喷嘴25供给冷却水，成为从水喷射喷嘴25喷射喷射水(流体)25a的状态。

介由金属熔液导流嘴4将注入到中间包3的熔融金属1以熔融金属流8的形式流下到腔室9内，与从气体喷嘴22以喷射压力5MPa喷射的氩气(流体)22a接触，分离制成金属粉末8a。分离了的金属粉末在热辐射和气氛气体的作用下，一边固化一边冷却，在冷却至1000℃左右的时刻，即在距气体雾化点450mm(一部分为250mm)的位置，对金属粉末实施利用表3所示的喷射压力和水温的喷射水的冷却，从回收口13以金属粉末形式回收。对得到的金属粉末，除去金属粉末以外的灰尘后，取样进行X射线衍射测定，根据衍射X射线的积分强度之比调查结晶率，从1减去结晶率(1-结晶率＝)，由此求出非晶率。将得到的结果示于表3。非晶率90％以上为合格。应予说明，得到的金属粉末有时含有作为杂质的化合物，但作为杂质含有的化合物小于1质量％。

可以确认本发明例的结晶率小于10％，大部分成为非晶的金属粉末。应予说明，可以确认使用本发明范围的喷射水冷却的粉末No.C4的冷却开始时的粉末的平均温度为1047℃，但由于喷射压力为20MPa，水温为4℃，使MHF点上升到1050℃附近进行冷却，所以成为非晶的金属粉末。

另一方面，确认偏离本发明的范围的比较例均看到10％以上的结晶化，均没有成为非晶的金属粉末。认为所使用的合金组成(Fe₈₃B₁₇)用于实现非晶化的临界冷却速度为1.0×10⁶K/s，由此推测，本发明例得到了1.0×10⁶K/s以上的冷却速度。

符号说明

1 熔融金属(金属熔液)

2 熔炼炉

3 中间包

4 金属熔液导流嘴

5 喷嘴头

6 喷嘴(水喷射喷嘴)

7 流体(喷射水)

8 熔融金属流

8a 金属粉末

9 腔室

10 料斗

11 非活性气体阀

12 溢流阀

13 金属粉回收阀

14 水雾化金属粉制造装置

15 冷却水箱

16 冷水机(低温冷却水制造装置)

17 高压泵

18 冷却水配管

19 气体雾化金属粉制造装置

21 喷嘴头(气体喷嘴头)

22 气体喷嘴

24 总管阀

25 冷却水喷射喷嘴

25a 喷射水

26 冷却水用阀

27 气体雾化用储气瓶

28 高压气体配管