具有埃(*)厚的表面氧化物层的铜键合丝的制作方法

文档序号:11109874阅读:来源:国知局

技术特征:

1.具有10至80微米的直径的铜丝,其中铜丝本体材料是≥ 99.99重量%纯铜或由10至1000重量ppm银和/或0.1至3重量%钯及补足100重量%的作为余量的铜构成的铜合金,其特征在于所述铜丝具有0.5至< 6纳米的氧化铜薄周向表面层。

2.权利要求1的铜丝,其特征在于其表现出从丝外表面起在垂直方向上经0.6至5纳米的深度的游离碳浓度梯度。

3.前述权利要求任一项的铜丝,其可通过包括下列步骤的方法获得:

(a) 提供≥ 99.99重量%纯铜或铜合金的铜前体,

(b) 拉制所述前体直至达到10至80微米的丝的最终直径;

(c) 在90至96体积%惰性气体: 4至10体积%氢气气氛中将经拉制的丝在570至750℃的目标温度下退火0.2至0.4秒,和

(d) 将经退火的丝在水中淬火,

其中体积%合计为100体积%。

4.权利要求3的铜丝,

其中所述铜丝本体材料是≥ 99.99重量%纯铜且目标温度为570至630℃。

5.权利要求3的铜丝,

其中所述铜丝本体材料是铜合金且目标温度为620至750℃。

6.权利要求3至5任一项的铜丝,

其中惰性气体 : 氢气的体积比为95 : 5。

7.权利要求3至6任一项的铜丝,

其中所述惰性气体是氮气和/或氩气。

8.权利要求3至7任一项的铜丝,

其中通过将所述丝拉过用惰性气体/氢气混合物以位于43至125 min-1范围内的气体交换速率吹扫的退火炉来完成退火。

9.权利要求8的铜丝,

其中所述气体交换速率为43至75 min-1,优选50至63 min-1

10.用于制造权利要求1或2的铜丝的方法,其包括以下步骤:

(a) 提供≥ 99.99重量%纯铜或铜合金的铜前体,

(b) 拉制所述前体直至达到10至80微米的丝的最终直径;

(c) 在90至96体积%惰性气体: 4至10体积%氢气气氛中将经拉制的丝在570至750℃的目标温度下退火0.2至0.4秒,和

(d) 将经退火的丝在水中淬火,

其中体积%合计为100体积%。

11.权利要求10的方法,

其中所述铜丝本体材料是≥ 99.99重量%纯铜且目标温度为570至630℃。

12.权利要求10的方法,

其中所述铜丝本体材料是铜合金且目标温度为620至750℃。

13.权利要求10至12任一项的方法,

其中惰性气体 : 氢气的体积比为95 : 5。

14.权利要求10至13任一项的方法,

其中所述惰性气体是氮气和/或氩气。

15.权利要求10至14任一项的方法,

其中通过将所述丝拉过用惰性气体/氢气混合物以位于43至125 min-1范围内的气体交换速率吹扫的退火炉来完成退火。

16.权利要求15的方法,

其中所述气体交换速率为43至75 min-1,优选50至63 min-1

17.根据权利要求1至9任一项的或通过根据权利要求10至16任一项的方法制成的铜丝在引线键合中的用途。

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