技术总结
本发明公开了一种用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，包括基片架、基片架驱动装置和扫描小车，所述基片架包括底板和用于承载基片盘的装片层，所述装片层安装于底板上，且与底板之间具有一定间距，所述基片架具有从上至下依次设置的装片工位、待卸片工位和卸片完成工位，所述基片架驱动装置可驱动基片架在装片工位、待卸片工位和卸片完成工位之间切换，所述扫描小车可与装片层对接，并承接和转运装片层上的基片盘。本发明通过扫描小车与基片架的协同作用，实现扫描小车将基片架上的基片盘转运至其他工位，无需使用真空机械手操作，提高了生产效率，降低了成本。
技术研发人员：佘鹏程;陈特超;毛朝斌;陈立宁;范江华;龚俊
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十八研究所
文档号码：201610360066
技术研发日：2016.05.27
技术公布日：2017.02.15