一种箱式镀膜设备的制作方法

本发明涉及光电技术领域，具体涉及对基板进行镀膜的镀膜箱。

背景技术：

一般公知，基板(如，镀膜玻璃、反射玻璃)的镀膜在真空腔体内完成。如此，操作人员需打开真空腔体，将待镀膜的基板放入；在基板镀膜完成，操作人员再打开真空腔体，将基板取出。

技术实现要素：

本发明所解决的技术问题：如何方便地将基板放入真空镀膜箱，且方便地从真空镀膜箱中取出。

为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种箱式镀膜设备，包括镀膜箱，镀膜箱的前后两侧开口，镀膜箱的前后两侧开口均设有自动门机构；镀膜箱内的底板上设有对基板进行导向的第一导轨；镀膜箱的前侧开口处设有摆杆机构，摆杆机构包括第一摆杆、驱动第一摆杆摆动固定幅度的第一摆动机构。

按上述技术方案，镀膜箱的外部设有与第一导轨首尾衔接的外部导轨，首尾衔接的外部导轨与第一导轨前后贯穿镀膜箱；操作人员将基板放置在外部导轨上，第一摆杆摆动，作用于基板的前侧面，推动基板，基板沿外部导轨、第一导轨进入镀膜箱；由于第一摆杆的摆动幅度固定，因此，第一摆杆每摆动一次，基板移动的距离一定，基板能够准确地定位在镀膜箱内的镀膜位置；当镀膜箱内的基板镀膜完成时，待镀膜的下一基板放置在外部导轨上，在第一摆杆将待镀膜的基板推入镀膜箱的过程中，待镀膜的基板将已完成镀膜的基板沿第一导轨从另一侧开口推出镀膜箱。

所述自动门机构包括滑条、铰接在滑条上的门板、安装在镀膜箱上的第二摆动机构；所述第二摆动机构包括驱动滑条平移的驱动组件、设有第二摆杆的旋转组件，所述门板的侧面设有横向外伸的凸杆；

当凸杆向下抵在滑条上时，门板水平地躺在镀膜箱开口侧的前方；当旋转组件驱动第二摆杆摆动，第二摆杆作用于凸杆，使门板围绕其与滑条的铰接处向上翻转并倚靠在镀膜箱的开口侧，与此同时，驱动组件驱动滑条向镀膜箱开口侧方向平移。

按上述技术方案，门板的侧面与滑条铰接，具体地，门板的底部侧面与滑条铰接，所述凸杆接近门板的顶部；初始状态，门板平躺在镀膜箱开口侧的前方，与镀膜箱底部齐平，此时，凸杆压在滑条上，以定位门板；当门板需盖合在镀膜箱开口侧时，旋转组件首先驱动第二摆杆摆动，第二摆杆由下而上作用于凸杆，门板接近镀膜箱开口侧的一端被翻起，同步地，驱动组件驱动滑条平移，门板的底部被拉向镀膜箱开口侧，倚靠在镀膜箱开口侧的门板顶部沿镀膜箱开口侧壁上滑；当门板处于竖立状时，门板完全封合住镀膜箱开口侧。

当镀膜箱开口侧需打开时，反向旋转的第二摆杆首先作用于门板的顶部，同步地，驱动组件驱动滑条反向平移，如此，门板顶部沿着镀膜箱开口侧壁向下滑动，直至凸杆抵在滑条上，此时，门板复位，即处于水平状态。

所述第二摆动机构包括与驱动组件和旋转组件配合的锁扣组件。

所述旋转组件包括枢接在基板上的旋转座、固定套设在旋转座外围的制动盘和旋转座齿轮，第二摆杆与旋转座连接。

所述锁扣组件包括固定设置在基板上的基盘、安装在基盘上的一对制动片、滑动设置在基盘上的解锁滑块；一对制动片左右对称设置在制动盘的外围，一对制动片的一端铰接而另一端弹性连接；解锁滑块弹性连接在基盘上，解锁滑块上设有一对滑行杆，一对制动片弹性连接的一端开设一对滑行槽，滑行槽呈弯折状，一对滑行槽左右对称设置，一对滑行杆滑动配合在一对滑行槽内；所述基盘上设有竖立块，竖立块上设有第二伸缩弹簧，第二伸缩弹簧的一端连接竖立块，第二伸缩弹簧的另一端连接解锁滑块。

所述驱动组件包括枢接在基板上的圆环，圆环的外侧壁上设有驱动齿环，驱动齿环与驱动齿轮啮合，驱动齿轮安装在基板上；圆环旋转的中心线偏离旋转座旋转的中心线，圆环的内侧壁上设有齿段和解锁模块，齿段可与旋转座齿轮啮合；当解锁模块开始推动解锁滑块向基盘中心方向平移时，旋转座齿轮与齿段开始啮合。

所述滑条上设有传动齿条，传动齿条与驱动齿环啮合。

按上述对第二摆动机构的说明，所述第二摆动机构的工作原理如下：

第一，圆环旋转，圆环带动其上的齿段和解锁模块旋转；

第二，当固定设置的解锁模块开始接触并推动滑动设置的解锁滑块向基盘的中心方向平移时，解锁滑块上的一对滑行杆以一对一的方式在一对滑行槽内平移，由于滑行槽呈弯折状，因此，向基盘中心方向直线平移的一对滑行杆可驱使一对制动片弹性连接的一端张开，如此，旋转座由初始的被一对制动片摩擦制动的状态转变为可自由旋转的状态；

第三，与一对制动片不再制动旋转座同步地，圆环内侧壁上的齿段，即圆环内侧壁上的一段齿，与旋转座齿轮开始啮合，并驱动旋转座齿轮及与其固定连接的旋转座旋转；当旋转座旋转一百八十度时，齿段与旋转座齿轮脱离接触，同时，解锁模块与解锁滑块脱离接触，如此，弹性连接在基盘上的解锁滑块复位，一对滑行杆随之复位，一对制动片弹性连接的一端亦随之复位，一对制动片重新摩擦制动制动盘，进而制动旋转座；

第四，所述第二摆杆随着旋转座的旋转而摆动，第二摆杆首先由下而上作用于凸杆，凸杆带动门板由下而上翻转；同步地，圆环上的驱动齿环通过传动齿条驱动滑条平移，滑条向镀膜箱开口侧方向平移，如此，一端被翻转的门板倚靠在镀膜箱的开口侧壁上；第二摆杆摆动一定幅度，与门板脱离接触，而继续旋转的圆环驱动滑条继续平移，如此，门板贴着镀膜箱开口侧壁翻转，直至门板竖立且完全封盖住镀膜箱开口。

第二摆杆机构的锁扣组件中，所述基盘上设有一支柱，支柱上设有铰接销；所述一对制动片包括位于左侧的第一制动片和位于右侧的第二制动片，第一制动片的左端与第二制动片的左端铰接在铰接销上，第一制动片的右端与第二制动片的右端通过第一伸缩弹簧弹性连接；第一制动片的右端设有第一顶柱，第二制动片的右端设有第二顶柱，第一顶柱和第二顶柱相向设置，第一顶柱和第二顶柱位于第一伸缩弹簧内；所述第一制动片和第二制动片均呈半圆形，第一制动片和第二制动片包围制动盘。按上述说明，第一伸缩弹簧具有使第一制动片和第二制动片合拢的趋势，而第一顶柱和第二顶柱的设置则具有阻挡该种趋势的作用。

第二摆杆机构的锁扣组件中，所述一对滑行槽包括第一滑行槽和第二滑行槽，第一滑行槽开设在第一制动片的右端，第二滑行槽开设在第二制动片的右端，第一滑行槽和第二滑行槽左右对称设置，其中，第一滑行槽包括连通的第一直线型滑行槽和第二直线型滑行槽，第一直线型滑行槽和第二直线型滑行槽之间的夹角界于九十度和一百八十度之间。按上述说明，当解锁滑块向基盘的中心方向直线平移时，在一对滑行槽中滑行的一对滑行杆具有使第一制动片的右端和第二制动片的右端分离的趋势。

第二摆杆机构的锁扣组件中，所述解锁滑块上设有一对定位销，所述一对定位销包括左右对称设置的第一定位销和第二定位销，所述第一制动片的右端设有第一定位孔，第二制动片的右端设有第二定位孔，在第一伸缩弹簧的弹力下，当第一顶柱与第二顶柱相抵时，平移的解锁滑块上的第一定位销和第二定位销可相应地插入第一定位孔和第二定位孔内；所述一对滑行杆包括第一滑行杆和第二滑行杆，第一滑行杆固定设置在第一定位销的上方，第二滑行杆固定设置在第二定位销的上方，第一滑行杆的中心线与第一定位销的中心线垂直。按上述说明，当解锁模块推动解锁滑块向基盘的中心方向平移时，第一滑行杆首先在第一直线型滑行槽内平移，当第一定位销和第二定位销脱离第一定位孔和第二定位孔时，第二滑行杆才进入第二直线型滑行槽，一对滑行杆将第一制动片的右端和第二制动片的右端张开；在解锁模块随着圆环的旋转而离去后，解锁滑块复位，一对滑行杆随之复位，第一定位销和第二定位销相应地插入第一定位孔和第二定位孔，以锁定一对制动片。

第二摆杆机构的驱动组件中，所述解锁模块包括固定在圆环内侧壁上的径向内凸块、固定在径向内凸块上且指向圆环圆心的径向杆、枢接在径向杆端部的第四齿轮；所述解锁滑块上固定一段可与第四齿轮啮合的弧形齿条，弧形齿条的圆心位于圆环的中心线上。按上述说明，在第四齿轮开始与弧形齿条接触时，第四齿轮即推动解锁滑块向基盘的中心方向直线平移，由于径向杆端部指向圆环的圆心且弧形齿条的圆心位于圆环的中心线上，因此，第四齿轮与弧形齿条接触并啮合后的旋转过程，使解锁滑块与圆环的中心距离保持不变，进而，解锁滑块与基盘中心的距离保持不变，一对制动片保持张开状态，使旋转座自由旋转；在齿段脱离与旋转座齿轮的接触后，第四齿轮即脱离与弧形齿条的接触，之后，解锁滑块复位，一对制动片复位，重新制动旋转座上的制动盘。其中，弧形齿条的长度按以下方式确定：当旋转座旋转固定角度，如一百八十度，且齿段与旋转座齿轮脱离接触时，弧形齿条与第四齿轮脱离接触。

所述第一摆动机构包括固定设置的摆动机构基板、枢接在摆动机构基板上的摆动机构主轴、固定安装在摆动机构主轴外围的主轴齿轮、枢接在摆动机构基板上的驱动圆环、设置在驱动圆环内侧壁上的第二齿段；所述第一摆杆安装在摆动机构主轴上；

所述驱动圆环的旋转中心线偏离摆动机构主轴的旋转中心线；

所述驱动圆环的内侧壁上设有齿环，齿环与圆环驱动齿轮啮合，圆环驱动齿轮枢接在摆动机构基板上，圆环驱动齿轮的齿轮轴连接一手柄；

所述摆动机构基板上固定设有制动基座，所述摆动机构主轴上固定设有制动盘；

所述制动基座上设有制动基板定位销，制动基板定位销上套设有制动上基板和制动下基板，制动上基板和制动下基板之间通过制动基板弹簧连接，制动上基板位于制动盘的上方，制动下基板位于制动盘的下方；在制动基板弹簧的弹力下，制动上基板和制动下基板上下夹紧制动盘；

所述驱动圆环的内侧壁上固定设有楔形卡块，当旋转的驱动圆环上的第二齿段与主轴齿轮啮合时，所述楔形卡块卡入制动上基板的前端和制动下基板的前端之间，当旋转的驱动圆环上的第二齿段脱离主轴齿轮时，楔形卡块脱离与制动上基板和制动下基板的接触。

按上述对第一摆动机构的说明，所述第一摆动机构的工作原理如下：驱动圆环旋转，驱动圆环内侧壁上的第二齿段(一段齿)与主轴齿轮啮合，并驱动主轴齿轮旋转固定角度，摆动机构主轴带动第一摆杆摆动固定角度；之后，第二齿段脱离与主轴齿轮的啮合。

镀膜箱内的底板上设有第一导轨，所述门板上设有第二导轨；当门板水平地躺在镀膜箱开口侧的前方时，第一导轨与第二导轨首尾衔接。按上述说明，当镀膜箱前侧开口处于打开状态，即门板处于水平状态，门板与镀膜箱底板齐平，其上的第二导轨与第一导轨衔接，待镀膜的基板可沿第二导轨和第一导轨进入镀膜箱。同理，镀膜箱后侧开口处于打开状态，即后侧开口处自动门机构的门板处于水平状态，该门板与镀膜箱底板齐平，其上的第二导轨与第一导轨衔接，位于镀膜箱内的已镀膜的基板可沿第一导轨和第二导轨被推出镀膜箱。

镀膜箱的开口侧(包括前侧开口和后侧开口)设有弹性卡件；随着滑条向镀膜箱开口侧方向平移，倚靠在镀膜箱开口侧的门板沿镀膜箱开口侧上移，所述凸杆逐渐卡入弹性卡件内，当凸杆完全卡入弹性卡件内时，门板呈竖立状且完全封盖住镀膜箱开口侧。

附图说明

下面结合附图对本发明做进一步的说明：

图1为本发明一种箱式镀膜设备的整体结构示意图；

图2为图1中一种箱式镀膜设备另一视角的结构示意图；

图3为图1中镀膜箱10的结构示意图；

图4为图1中门板22的结构示意图；

图5为图1中第二摆动机构60的结构示意图；

图6为图5中驱动组件63的结构示意图；

图7为图5中旋转组件61和锁扣组件62的组合结构示意图；

图8为图7中解锁滑块623的结构示意图；

图9为图7中制动片622的结构示意图；

图10为图1中摆杆机构5的结构示意图；

图11为第一摆动机构50中驱动圆环54的结构示意图；

图12为第一摆动机构50中摆动机构主轴52的结构示意图。

图中符号说明：

10、镀膜箱；100、开口侧；11、第一导轨；12、弹性卡件；

20、自动门机构；21、滑条；210、传动齿条；22、门板；23、凸杆；24、第二导轨；25、铰接件；

5、摆杆机构；50、第一摆动机构；51、摆动机构基板；511、制动基座；512、制动基板定位销；52、摆动机构主轴；521、制动盘；53、主轴齿轮；530、第一摆杆；54、驱动圆环；541、第二齿段；542、齿环；543、楔形卡块；56、圆环驱动齿轮；581、制动上基板；582、制动下基板；583、制动基板弹簧；

60、第二摆动机构；600、基板；61、旋转组件；611、旋转座；612、制动盘；613、旋转座齿轮；614、第二摆杆；62、锁扣组件；621、基盘；622、制动片；6221、第一伸缩弹簧；6222、定位孔；623、解锁滑块；6230、弧形齿条；624、滑行杆；627、定位销；629、滑行槽；6291、第一直线型滑行槽；6292、第二直线型滑行槽；63、驱动组件；631、圆环；632、齿段；633、解锁模块；635、驱动齿环；637、径向内凸块；638、径向杆；639、第四齿轮。

具体实施方式

以下具体实施方式参考图1至图12。

一种箱式镀膜设备，包括镀膜箱，镀膜箱10的前后两侧开口，镀膜箱的前后两侧开口均设有自动门机构20；镀膜箱内的底板上设有对基板进行导向的第一导轨11；镀膜箱的前侧开口处设有摆杆机构5，摆杆机构包括第一摆杆530、驱动第一摆杆摆动固定幅度的第一摆动机构50。

所述自动门机构20包括滑条21、铰接在滑条上的门板22、安装在镀膜箱上的第二摆动机构60；所述第二摆动机构包括驱动滑条平移的驱动组件63、设有第二摆杆614的旋转组件61，所述门板的侧面设有横向外伸的凸杆23。

关于自动门机构20，当凸杆向下抵在滑条上时，门板水平地躺在镀膜箱开口侧的前方；当旋转组件驱动第二摆杆摆动，第二摆杆作用于凸杆，使门板围绕其与滑条的铰接处向上翻转并倚靠在镀膜箱的开口侧，与此同时，驱动组件驱动滑条向镀膜箱开口侧方向平移。

关于自动门机构20，所述第二摆动机构60包括与驱动组件63和旋转组件61配合的锁扣组件62。所述旋转组件包括枢接在基板600上的旋转座611、固定套设在旋转座外围的制动盘612和旋转座齿轮613，第二摆杆614与旋转座连接。

关于自动门机构20，所述锁扣组件包括固定设置在基板600上的基盘621、安装在基盘上的一对制动片622、滑动设置在基盘上的解锁滑块623；一对制动片左右对称设置在制动盘的外围，一对制动片的一端铰接而另一端弹性连接；解锁滑块弹性连接在基盘上，解锁滑块上设有一对滑行杆624，一对制动片弹性连接的一端开设一对滑行槽629，滑行槽呈弯折状，一对滑行槽左右对称设置，一对滑行杆滑动配合在一对滑行槽内。

关于自动门机构20，所述基盘621上设有竖立块，竖立块上设有第二伸缩弹簧，第二伸缩弹簧的一端连接竖立块，第二伸缩弹簧的另一端连接解锁滑块623。

关于自动门机构20，所述驱动组件包括枢接在基板上的圆环631，圆环的外侧壁上设有驱动齿环635，驱动齿环与驱动齿轮啮合，驱动齿轮安装在基板600上；圆环旋转的中心线偏离旋转座旋转的中心线，圆环的内侧壁上设有齿段632和解锁模块633，齿段可与旋转座齿轮啮合；当解锁模块开始推动解锁滑块向基盘中心方向平移时，旋转座齿轮与齿段开始啮合。

关于自动门机构20，所述解锁模块633包括固定在圆环631内侧壁上的径向内凸块637、固定在径向内凸块上且指向圆环圆心的径向杆638、枢接在径向杆端部的第四齿轮639；所述解锁滑块623上固定一段可与第四齿轮啮合的弧形齿条6230，弧形齿条的圆心位于圆环的中心线上。

关于自动门机构20，所述滑条上设有传动齿条210，传动齿条与驱动齿环啮合。

关于自动门机构20，锁扣组件62中，所述基盘621上设有一支柱626，支柱上设有铰接销；所述一对制动片622包括位于左侧的第一制动片和位于右侧的第二制动片，第一制动片的左端与第二制动片的左端铰接在铰接销上，第一制动片的右端与第二制动片的右端通过第一伸缩弹簧弹性6221连接；第一制动片的右端设有第一顶柱，第二制动片的右端设有第二顶柱，第一顶柱和第二顶柱相向设置，第一顶柱和第二顶柱位于第一伸缩弹簧内；所述第一制动片和第二制动片均呈半圆形，第一制动片和第二制动片包围制动盘612。

关于自动门机构20，锁扣组件62中，所述一对滑行槽629包括第一滑行槽和第二滑行槽，第一滑行槽开设在第一制动片的右端，第二滑行槽开设在第二制动片的右端，第一滑行槽和第二滑行槽左右对称设置，其中，第一滑行槽包括连通的第一直线型滑行槽6291和第二直线型滑行槽6292，第一直线型滑行槽和第二直线型滑行槽之间的夹角界于九十度和一百八十度之间。

关于自动门机构20，锁扣组件62中，所述解锁滑块623上设有一对定位销627，所述一对定位销包括左右对称设置的第一定位销和第二定位销，所述第一制动片的右端设有第一定位孔6222，第二制动片的右端设有第二定位孔，在第一伸缩弹簧6221的弹力下，当第一顶柱与第二顶柱相抵时，平移的解锁滑块上的第一定位销和第二定位销可相应地插入第一定位孔和第二定位孔内；所述一对滑行杆包括第一滑行杆和第二滑行杆，第一滑行杆固定设置在第一定位销的上方，第二滑行杆固定设置在第二定位销的上方，第一滑行杆的中心线与第一定位销的中心线垂直。

关于自动门机构20，所述门板22上设有第二导轨24；当门板水平地躺在镀膜箱开口侧的前方时，第一导轨与第二导轨首尾衔接。

关于自动门机构20，镀膜箱10的开口侧设有弹性卡件12；随着滑条21向镀膜箱开口侧方向平移，倚靠在镀膜箱开口侧的门板22沿镀膜箱开口侧上移，所述凸杆23逐渐卡入弹性卡件内，当凸杆完全卡入弹性卡件内时，门板呈竖立状且完全封盖住镀膜箱开口侧。

关于摆杆机构5，所述第一摆动机构50包括固定设置的摆动机构基板51、枢接在摆动机构基板上的摆动机构主轴52、固定安装在摆动机构主轴外围的主轴齿轮53、枢接在摆动机构基板上的驱动圆环54、设置在驱动圆环内侧壁上的第二齿段541；所述第一摆杆530安装在摆动机构主轴上。

关于摆杆机构5，所述驱动圆环的旋转中心线偏离摆动机构主轴的旋转中心线。

关于摆杆机构5，所述驱动圆环54的内侧壁上设有齿环542，齿环与圆环驱动齿轮56啮合，圆环驱动齿轮枢接在摆动机构基板51上，圆环驱动齿轮的齿轮轴连接一手柄。

关于摆杆机构5，所述摆动机构基板51上固定设有制动基座511，所述摆动机构主轴上固定设有制动盘521。

关于摆杆机构5，所述制动基座上设有制动基板定位销512，制动基板定位销上套设有制动上基板581和制动下基板582，制动上基板和制动下基板之间通过制动基板弹簧583连接，制动上基板位于制动盘的上方，制动下基板位于制动盘的下方；在制动基板弹簧的弹力下，制动上基板和制动下基板上下夹紧制动盘。

关于摆杆机构5，所述驱动圆环54的内侧壁上固定设有楔形卡块543，当旋转的驱动圆环上的第二齿段541与主轴齿轮53啮合时，所述楔形卡块卡入制动上基板的前端和制动下基板的前端之间，当旋转的驱动圆环上的第二齿段脱离主轴齿轮时，楔形卡块脱离与制动上基板和制动下基板的接触。

实际操作中，本发明所述一种箱式镀膜设备的工作流程如下：

第一，镀膜箱10前侧开口处的自动门机构开启，门板22平躺在镀膜箱前侧开口侧100的前方，与镀膜箱10底部齐平，此时，凸杆23压在滑条上，以定位门板，保证门板22的水平状态。

第二，镀膜箱10后侧开口处的自动门机构处于关闭状态。

第三，待镀膜的基板放置在第二导轨24上；摆杆机构5动作，电动或手动所述手柄，圆环驱动齿轮56通过齿环542驱动所述驱动圆环54旋转，驱动圆环内侧壁上的第二齿段541与主轴齿轮53啮合，并驱动主轴齿轮旋转固定角度，摆动机构主轴52带动第一摆杆530旋转固定角度；之后，第二齿段脱离与主轴齿轮的啮合。第一摆杆530驱使基板准确定位在镀膜箱10内的第一导轨11上。

第四，摆杆机构5复位。

第五，镀膜箱10前侧开口处的自动门机构关闭，具体地，第二摆动机构60中，旋转组件61首先驱动第二摆杆614摆动，第二摆杆由下而上作用于凸杆23，门板22接近镀膜箱开口侧100的一端被翻起，同步地，驱动组件62中的驱动齿环635驱动滑条21平移，门板底部被拉向镀膜箱开口侧100，倚靠在镀膜箱开口侧的门板顶部沿镀膜箱开口侧壁上滑，直至门板顶部卡入弹性卡件12，那时，门板22处于竖立状时，门板22完全封合住镀膜箱前侧的开口侧100。

第六，镀膜箱10内的基板被镀膜。

第七，镀膜箱10前侧开口和后侧开口均被打开，待镀膜的基板放置在前侧开口处的第二导轨24上，摆杆机构5驱使其直线移入镀膜箱内，同时，待镀膜的基板将镀膜箱内第一导轨11上已镀膜的基板挤出镀膜箱10。