真空蒸镀装置的制作方法

本发明涉及OLED显示器的制作领域，尤其涉及一种真空蒸镀装置。

背景技术：

有机发光二级管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于TFT-LCD，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。目前OLED已处于大规模量产的前夜，随着研究的进一步深入，新技术的不断涌现，OLED显示器件必将有一个突破性的发展。

OLED具有依次形成于基板上的阳极、有机发光层和阴极。在OLED的制作工艺中，有机发光层的图案化技术虽有许多方式，但目前量产的使用方式仍是以通过真空蒸镀装置加金属掩模板(Mask)进行真空蒸镀工艺为主，此有机发光层的图案化方法由于可达成良好的屏幕效能，故广为各家所采用。

其中，金属掩模板的作用是使OLED材料蒸镀到设计的位置，因此金属掩模板的开孔位置、形状以及表面平整度都相当重要。如图1所示，通常金属掩模板10由掩模边框(Mask Frame)11、及设于所述掩模边框1上的掩模(Mask Sheet)12所组成，该掩模12上形成有数个间隔排布的掩模单元121，其中，每一掩模单元121与所需要形成的一个OLED产品的形状相对应，其具有均匀分布的数个开孔以定义相应OLED产品上的像素(pixel)区域，从而使蒸镀材料沉积在pixel区域内。

如图2所示，真空蒸镀装置包括蒸镀室、及设置在蒸镀室内的冷却板21、磁板22与驱动机构23；在蒸镀过程中，金属掩模板10用于定义pixel，从而使蒸发的有机材料沉积在pixel区域内，冷却板21贴合在基板30的一侧面，且通过基板30对贴合在基板30另一侧面的金属掩模板10进行冷却；磁板22设置在冷却板21上，在驱动机构23带动下而下压，通过磁力将金属掩模板10的掩模12吸附在基板30的侧面上，从而使掩模12和基板30紧密贴合，减小蒸镀过程中的阴影效应(Shadow Effect)。现行技术中，由于磁板22为整体下压，掩模12的中间和两端部分同时受力，致使掩模12的变形不能完全通过两端的应力缓冲区释放，未释放的变形量造成掩模12的起皱变形(wrinkle)，进而导致产品的混色良率降低。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一真空蒸镀装置，磁板包括相对独立驱动的数个磁板单元，能够有效改善因掩模变形释放不完全而导致的产品混色现象，从而提升OLED产品的良率。

为实现上述目的，本发明提供一种真空蒸镀装置，通过与金属掩模板结合使用对基板进行真空蒸镀；

所述真空蒸镀装置包括冷却板、磁板、及磁板驱动机构；

所述冷却板用于设置在基板上，以对金属掩模板和基板进行冷却；

所述磁板设置在冷却板上方，用于通过磁板的磁力将金属掩模板吸附在基板的下表面上；

所述磁板包括数个分别对应于金属掩模板上不同区域的磁板单元，所述磁板通过磁板单元的磁力将金属掩模板上的相应区域吸附在基板的下表面上；

所述磁板驱动机构包括数个与所述数个磁板单元一一对应连接的驱动单元，所述数个磁板单元独立地在相应的驱动单元的驱动下进行上下移动。

所述磁板包括三个及以上的磁板单元。

所述磁板包括并列排列的三个磁板单元，其中设于中间的磁板单元为中部磁板单元，位于中部磁板单元左右两侧的磁板单元位于中部磁板单元左右两侧的磁板单元为侧部磁板单元；

使用过程中，所述磁板的中部磁板单元、侧部磁板单元在相应的驱动单元的驱动下依次向下移动，从而通过磁力使金属掩模板上对应于中部磁板单元的中间区域、及对应于侧部磁板单元的两侧区域依次吸附在基板的下表面上。

每一驱动单元包括驱动电动机、及设于相应的磁板单元上以允许该磁板单元上升和下降的驱动轴。

每一磁板单元包括填料、及数个被填料包围的磁体。

所述金属掩模板包括掩模框、及设于所述掩模框上的掩模，所述磁板用于通过其磁力将金属掩模板的掩模吸附在基板的下表面上。

所述真空蒸镀装置还包括蒸镀室，所述冷却板、磁板、及磁板驱动机构均设置在蒸镀室内。

所述蒸镀室的顶部设置有基板位置调整单元和基板位置观测单元。

所述蒸镀室的侧部设置有抽真空单元。

所述蒸镀室的底部设置有蒸镀气体发生单元。

本发明的有益效果：本发明提供的一种真空蒸镀装置，包括冷却板、磁板、及磁板驱动机构，通过与金属掩模板结合使用对基板进行真空蒸镀；所述磁板设置在冷却板上方，用于通过磁板的磁力将金属掩模板吸附在基板的下表面上，其中，所述磁板包括数个分别对应于金属掩模板上不同区域的磁板单元，所述磁板驱动机构包括数个与所述数个磁板单元一一对应连接的驱动单元，所述数个磁板单元独立地在相应的驱动单元的驱动下进行上下移动，从而可通过调节数个磁板单元的移动顺序，充分释放金属掩模板的掩模在吸附于基板过程中所产生的应力，降低金属掩模板设计难度，提升产品良率，并且可根据产品的混色情况实时调整相应的磁板单元，提高设备稼动率，可针对产品局部混色情况单独调节金属掩模板上相应区域所受到的磁力。

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。

附图中，

图1为现有的金属掩模板的结构示意图；

图2为现有的真空蒸镀装置的结构示意图；

图3为本发明的真空蒸镀装置的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图3，本发明提供一种真空蒸镀装置，通过与金属掩模板200结合使用对基板300进行真空蒸镀；

所述真空蒸镀装置包括冷却板110、磁板120、及磁板驱动机构130；

所述冷却板110用于设置在基板300上，以对金属掩模板200和基板300进行冷却；

所述磁板120设置在冷却板110上方，用于通过磁板120的磁力将金属掩模板200吸附在基板300的下表面上；

所述磁板120包括数个分别对应于金属掩模板200上不同区域的磁板单元121，所述磁板120通过磁板单元121的磁力将金属掩模板200上的相应区域吸附在基板300的下表面上，所述磁板驱动机构130包括数个与所述数个磁板单元121一一对应连接的驱动单元131，所述数个磁板单元121独立地在相应的驱动单元131的驱动下进行上下移动，从而可单独控制数个磁板单元121对金属掩模板200上相应区域的磁力。

具体地，所述金属掩模板200包括掩模框、及设于所述掩模框上的掩模，所述磁板120在磁板驱动机构130的驱动下向下移动，通过其磁力将金属材质的掩模拉向基板300，使掩模吸附在基板300的下表面上。

具体地，所述磁板单元121在相应的驱动单元131的驱动下向下移动，通过其磁力将掩模的对应区域拉向基板300，使掩模的对应区域吸附在基板300的下表面上。

本发明的真空蒸镀装置，将磁板120设计为包括数个可相对独立控制的磁板单元121，从而可通过调节数个磁板单元121的移动顺序，充分释放金属掩模板200的掩模在吸附于基板300过程中所产生的应力，降低金属掩模板200的设计难度，提升产品良率，并且可针对产品局部混色情况单独调节金属掩模板200上相应区域所受到对应磁板单元121的磁力，根据产品的混色情况实时调整相应的磁板单元121，提高设备稼动率。

具体地，所述磁板120包括三个及以上的磁板单元121。

优选地，所述磁板120包括并列排列的三个磁板单元121，其中设于中间的磁板单元121为中部磁板单元，位于中部磁板单元左右两侧的磁板单元121为侧部磁板单元；

使用过程中，所述磁板120的中部磁板单元、侧部磁板单元在相应的驱动单元131的驱动下依次向下移动，从而通过磁力使金属掩模板200上对应于中部磁板单元的中间区域、及对应于侧部磁板单元的两侧区域依次吸附在基板300的下表面上。相较于现行技术中通过磁板整体下压而使得掩模的中间和两端部分同时受力而吸附于基板上的方案，本发明可通过调节数个磁板单元121的移动顺序，充分释放金属掩模板200的掩模在吸附于基板300过程中所产生的应力，降低金属掩模板200的设计难度，提升产品良率。

具体地，每一驱动单元131包括驱动电动机、及设于相应的磁板单元121上以允许该磁板单元121上升和下降的驱动轴。

具体地，每一磁板单元121包括填料、及数个被填料包围的磁体。

具体地，本发明的真空蒸镀装置还包括蒸镀室，所述冷却板110、磁板120、及磁板驱动机构130均设置在蒸镀室内，对基板300的蒸镀发生在蒸镀室内。

具体地，所述蒸镀室的顶部设置有基板位置调整单元和基板位置观测单元，以观察和调整基板300的位置，实现与金属掩模板200的准确对位。

具体地，所述蒸镀室的侧部设置有抽真空单元，以实现真空环境下的蒸镀。

具体地，所述蒸镀室的底部设置有蒸镀气体发生单元，以产生蒸镀气体。

综上所述，本发明的真空蒸镀装置，包括冷却板、磁板、及磁板驱动机构，通过与金属掩模板结合使用对基板进行真空蒸镀；所述磁板设置在冷却板上方，用于通过磁板的磁力将金属掩模板吸附在基板的下表面上，其中，所述磁板包括数个分别对应于金属掩模板上不同区域的磁板单元，所述磁板驱动机构包括数个与所述数个磁板单元一一对应连接的驱动单元，所述数个磁板单元独立地在相应的驱动单元的驱动下进行上下移动，从而可通过调节数个磁板单元的移动顺序，充分释放金属掩模板的掩模在吸附于基板过程中所产生的应力，降低金属掩模板设计难度，提升产品良率，并且可根据产品的混色情况实时调整相应的磁板单元，提高设备稼动率，可针对产品局部混色情况单独调节金属掩模板上相应区域所受到的磁力。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。