非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法与流程

文档序号:11126682阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法,其特征在于该吸气剂包括调节层和气体吸收层,调节层沉积在非制冷焦平面探测器窗口上,气体吸收层沉积在调节层上,调节层为Ti、Zr、AL、Cr、Cu、Fe、Pt或Ru中的任意一种金属,吸收层为Zr与Co两种材料,以及Y、La、Ce中的至少一种材料形成的多元合金;调节层与窗口之间形成一致密的过度层,过度层厚度为20~50nm,调节层厚度为1~2μm,吸收层厚度为2~5μm。

2.如权利要求1所述的非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法,其特征在于所述的薄膜吸气剂,通过以下步骤进行制备:

1)探测器窗口采用甲苯、丙酮和无水乙醇等三种清洗溶液,通过超声波进行清洗,每种清洗溶液清洗时间为15min,之后再用等离子清洗机清洗10min;

2)将步骤1中清洗干净的探测器窗口装配到蒸镀所用的工装夹具里,并安装到双枪电子束设备的蒸发样品台上;

3)将样品台真空抽到至少0.0001Pa,25O℃烘烤30min~60min,采用电子枪蒸发一层调节层,然后采用双电子枪同时蒸发调节层和NaCl,多孔结构的大小由NaCl蒸发速率控制;

4)将步骤3中得到样件放到纯水中浸泡60min,并采用超声波清洗机纯水超声清洗三遍,每遍15min左右,然后用无水乙醇进行脱水;

5)将步骤4中得到的样件放到箱式镀膜机内,真空小于0.001Pa时开始烘烤加热,加热至150~250℃烘烤60min~120min;

6)步骤5完成后,当系统真空小于0.0001Pa时,采用电子束蒸发气体吸收层,在薄膜沉积以前需要对靶材预沉积5min左右,然后开始沉积,沉积时间在50min~250min,样品台转动速度为30~60r/min,之后样品台自热冷却,即可得到制备完成的带有吸气剂的探测器窗口。

3.如权利要求1所述的非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法,其特征在于所述的气体吸收层,其Zr含量为70 wt%~80wt%,Co含量为10 wt%~25 wt%,Y、La、Ce含量占1 wt%~10 wt%。

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