真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置的制作方法

文档序号:11126692
真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置的制造方法

本发明涉及一种真空磁控溅射镀膜生产线的真空保压箱过渡室快速换气装置,属于机械设备领域。



背景技术:

真空磁控溅射镀膜生产线包括上片装置、清洗装置、烘干装置、清洗干净后的玻璃烘干后需要进入真空保压箱,然后再进入真空镀膜室镀膜。在真空保压箱的前段为过度室,在玻璃进入过度室时,需要将过度室内充满空气,以保持和外界的气压平衡,使得玻璃顺利进入。当玻璃进入后,又需要抽真空,以保持和真空保压箱后段的气压平衡,使得玻璃能顺利的进入和出去(输送线穿过真空保压箱)。目前,换气主要是靠设置在其侧面的换气管直接换气。速度慢,且无法保证进入的空气的质量,空气中的灰尘等杂物进入落在玻璃上,将会对玻璃镀膜的质量有较大的影响。



技术实现要素:

为了解决上述技术问题,本发明提供一种真空磁控溅射镀膜生产线真空保压箱,通过对空气过滤,保证进入的空气质量,能快速换气。

为了实现上述目的,本发明的技术方案如下:一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置,包括保压箱本体,所述保压箱本体的前段为过度室,其特征在于:在所述保压箱本体的过度室的顶面分布有至少两个进气口,在进气口上安装空气管,所述空气管上设置有空气自动流量调节阀,进气筒的一端封闭,另一端开口,所述空气管与进气筒的开口端相连,所述进气筒的筒壁上分布有若干进气孔,所述进气筒内周向分布有若干过滤筒,所述过滤筒由过滤棉围成,所述过滤筒沿进气筒的轴线延伸;所述保压箱本体的侧面设置有抽气管,所述抽气管与抽气泵相连。

优选:所述保压箱本体的顶面设置有四个进气口,四个进气口上均安装有有空气管。

采用上述方案,需要置换空气时,打开空气自动流量调节阀,启动抽气泵,空气通过进气孔进入进气筒,经过过滤筒过滤,然后进入过度室,此时过渡室进口的门打开,吹干的玻璃进来。然后关闭过渡室进口的门,同时关闭空气自动流量调节阀,打开抽气泵抽真空,然后打开过渡室出口的门,玻璃进入真空保压箱。

有益效果:本发明的快速换气装置能实现快速换气的同时保证进入的空气的质量,提高玻璃的镀膜质量。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为进气筒的截面图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明:

实施例1,如图1-2所示:本发明的真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置由保压箱本体1、空气管2、进气筒3、过滤筒4、空气自动流量调节阀5、抽气管6与抽气泵7等部件组成。

保压箱本体1的前段为过度室,过渡室的进口端和出口端分别设置闸门,出口端连接保压箱本体1的后段,此为现有技术,在此不做赘述。在保压箱本体1的过度室的顶面分布有至少两个进气口,优选为四个,图中仅画出两个。在进气口上安装空气管2,空气管2上设置有空气自动流量调节阀5,空气管2的端部连接进气筒3,进气筒3的一端封闭,另一端开口,进气筒3通过其开口端与空气管2相连,进气筒3的筒壁上分布有若干进气孔3a,进气筒3内周向分布有若干过滤筒4,过滤筒4由过滤棉围成,过滤筒4沿进气筒3的轴线延伸;保压箱本体1的侧面设置有抽气管6,抽气管6与抽气泵7相连。

本发明不局限于上述具体实施例,应当理解,本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思做出诸多修改和变化。总之,凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案,皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

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