真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置的制作方法

文档序号:11126692阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置,包括保压箱本体,所述保压箱本体的前段为过度室,在所述保压箱本体的过度室的顶面分布有至少两个进气口,在进气口上安装空气管,所述空气管上设置有空气自动流量调节阀,进气筒的一端封闭,另一端开口,所述空气管与进气筒的开口端相连,所述进气筒的筒壁上分布有若干进气孔,所述进气筒内周向分布有若干过滤筒,所述过滤筒由过滤棉围成,所述过滤筒沿进气筒的轴线延伸;所述保压箱本体的侧面设置有抽气管,所述抽气管与抽气泵相连。能实现快速换气的同时提高玻璃镀膜的质量。

技术研发人员:邓君;崔伏球
受保护的技术使用者:重庆物华天宝镀膜科技有限公司
文档号码:201610982195
技术研发日:2016.11.08
技术公布日:2017.02.15

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