一种镀膜箱设备的制作方法

文档序号:12110024阅读:312来源:国知局
一种镀膜箱设备的制作方法与工艺

本发明涉及光电技术领域,具体涉及对基板进行镀膜的镀膜箱。



背景技术:

一般公知,基板(如,镀膜玻璃、反射玻璃)的镀膜在真空腔体内完成。如此,操作人员需打开真空腔体,将待镀膜的基板放入;在基板镀膜完成,操作人员再打开真空腔体,将基板取出。



技术实现要素:

本发明的目的是克服现有技术的不足,提供一种镀膜箱设备,它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。

本发明解决所述技术问题的方案是:

一种镀膜箱设备,包括镀膜箱、自动门机构和自动门驱动机构,所述镀膜箱的前侧开口,镀膜箱的开口侧安装有自动门机构,自动门驱动机构安装在镀膜箱的右侧壁上,自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接;

所述自动门机构包括门板、一对直角滑轨和升降齿条,一对直角滑轨分别固定在镀膜箱的左右两侧,门板与直角滑轨活动配合连接,门板的上部铰接在升降齿条上,升降齿条套接在右侧的直角滑轨上;

所述自动门驱动机构包括升降驱动齿轮,升降驱动齿轮的内部中空部分固定有齿圈,齿圈与传动齿轮啮合,传动齿轮固定在连接轴的一端,连接轴的另一端固定有第二传动齿轮并铰接在驱动机构支架的延伸臂上,第二传动齿轮与驱动齿轮啮合,驱动齿轮的下端设有弹性导向装置,驱动齿轮的上端圆柱凸起套接在延伸臂的通孔内,驱动手柄穿过通孔固定在圆柱凸起上;驱动手柄的传动臂套接在驱动机构支架的通槽上,驱动机构支架固定在镀膜箱的右侧;

所述升降驱动齿轮铰接在镀膜箱的右侧壁上,升降齿条与升降驱动齿轮啮合。

所述门板的上底面固定有第一导轨,门板的前后端的外侧固定有横向外伸的凸杆,镀膜箱的底板上设有第二导轨,第一导轨与第二导轨首尾衔接。

所述直角滑轨成型有直向滑道和横向滑道,直向滑道和横向滑道连接形成直角滑道,所述门板的前端的凸杆套接在横向滑道上,门板的后端的凸杆套接在直向滑道上,固定在镀膜箱右侧的直角滑轨的后侧固定有导向三角立柱;

所述升降齿条的齿段的后面成型有导向开口三角槽,齿条的外侧壁上固定有铰接臂,铰接臂的前端成型有铰接孔,门板的后端的右侧凸杆套接在铰接孔内,所述导向三角立柱套接在导向开口三角槽内。

所述弹性导向装置包括导向杆、一对推力轴承和弹簧,一对推力轴承套接在导向杆上,一对推力轴承之间固定连接有弹簧,弹簧套接在导向杆上,左端的推力轴承的左端压靠在镀膜箱上,右端的推力轴承的右端压靠在驱动齿轮上,导向杆固定在镀膜箱上。

所述通槽的两端向右各成型有一个限位凹槽,所述传动臂可套接在限位凹槽内;

所述圆柱凸起上套接有第二推力轴承,第二推力轴承的左端压靠在驱动齿轮上,第二推力轴承的右端面与延伸臂之间形成的空隙的间隙a小于升动齿轮的齿厚。

与现有技术相比,它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。

附图说明:

图1为本发明的结构示意图;

图2为本发明的部分剖视图。

具体实施方式:

实施例,见如图1至图2所示,一种镀膜箱设备,包括镀膜箱1、自动门机构2和自动门驱动机构3,所述镀膜箱1的前侧开口,镀膜箱1的开口侧安装有自动门机构2,自动门驱动机构3安装在镀膜箱1的右侧壁上,自动门驱动机构3与自动门机构2之间通过齿轮齿条啮合连接;

所述自动门机构2包括门板21、一对直角滑轨22和升降齿条23,一对直角滑轨22分别固定在镀膜箱1的左右两侧,门板21与直角滑轨22活动配合连接,门板21的上部铰接在升降齿条23上,升降齿条23套接在右侧的直角滑轨22上;

所述自动门驱动机构3包括升降驱动齿轮31,升降驱动齿轮31的内部中空部分固定有齿圈32,齿圈32与传动齿轮33啮合,传动齿轮33固定在连接轴34的一端,连接轴34的另一端固定有第二传动齿轮35并铰接在驱动机构支架39的延伸臂391上,第二传动齿轮35与驱动齿轮36啮合,驱动齿轮36的下端设有弹性导向装置37,驱动齿轮36的上端圆柱凸起361套接在延伸臂391的通孔3911内,驱动手柄38穿过通孔3911固定在圆柱凸起361上;驱动手柄38的传动臂381套接在驱动机构支架39的通槽392上,驱动机构支架39固定在镀膜箱1的右侧;

所述升降驱动齿轮31铰接在镀膜箱1的右侧壁上,升降齿条23与升降驱动齿轮31啮合。

更进一步地说,所述门板21的上底面固定有第一导轨211,门板21的前后端的外侧固定有横向外伸的凸杆212,镀膜箱1的底板上设有第二导轨101,第一导轨211与第二导轨101首尾衔接。

更进一步地说,所述直角滑轨22成型有直向滑道2201和横向滑道2202,直向滑道2201和横向滑道2202连接形成直角滑道,所述门板21的前端的凸杆212套接在横向滑道2202上,门板21的后端的凸杆212套接在直向滑道2201上,固定在镀膜箱1右侧的直角滑轨22的后侧固定有导向三角立柱222;

所述升降齿条23的齿段的后面成型有导向开口三角槽231,齿条23的外侧壁上固定有铰接臂232,铰接臂232的前端成型有铰接孔,门板21的后端的右侧凸杆212套接在铰接孔内,所述导向三角立柱222套接在导向开口三角槽231内。

更进一步地说,所述弹性导向装置37包括导向杆371、一对推力轴承372和弹簧373,一对推力轴承372套接在导向杆371上,一对推力轴承372之间固定连接有弹簧373,弹簧373套接在导向杆371上,左端的推力轴承372的左端压靠在镀膜箱1上,右端的推力轴承372的右端压靠在驱动齿轮36上,导向杆371固定在镀膜箱1上。

更进一步地说,所述通槽392的两端向右各成型有一个限位凹槽3921,所述传动臂381可套接在限位凹槽3921内;

所述圆柱凸起361上套接有第二推力轴承,第二推力轴承的左端压靠在驱动齿轮36上,第二推力轴承的右端面与延伸臂391之间形成的空隙的间隙a小于升动齿轮36的齿厚。

更进一步地说,所述门板21升到最高点时,门板21与镀膜箱1的前侧紧紧贴合,所述门板21降到最低点时,门板21与镀膜箱1的底部平齐。

工作原理:镀膜箱1前侧的自动门机构2开启,门板21平躺在镀膜箱1的前侧;将待镀膜的基板放入第一导轨211向镀膜箱1推进,待基板完全进入镀膜箱1后,自动门驱动机构3开启;将驱动手柄38向镀膜箱侧按压,传动臂381退出一端的限位凹槽3921沿着通槽392向另一端转动进入另一端的限位凹槽3921,在驱动齿轮36、第二传动齿轮35、连接轴34、传动齿轮33、齿圈32、升降驱动齿轮31和升降齿条23的联动作用下,门板21的后端由最低点移到最高点,门板21从平躺状态变为直立状态与镀膜箱1紧紧贴合;镀膜箱1内的基板开始镀膜;镀膜完成后,按下驱动手柄38,驱动手柄38回到初始位置,取走镀膜后的基板。

最后,以上实施方式仅用于说明本发明,而并非对本发明的限制,有关技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,还可以做出各种变化和变型,因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴,本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

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