一种刻蚀机的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种刻蚀机，包括机体（1）及真空室（2），其特征在于：所述机体（1）内有六条气管（3）连通至真空室（2），其中两条气管（3）连通至高压气泵（4），另外四条气管（3）连通至真空泵（5）；所述气管（3）上均设有电磁阀（6），连通至真空泵（5）的四条气管（3）上还设有电磁流量计（7）。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机，其特征在于：所述气管（3）为合金气管。