一种刻蚀机的制作方法与工艺

技术总结
本实用新型公开了一种刻蚀机，包括机体及真空室，所述机体内有六条气管连通至真空室，其中两条气管连通至高压气泵，另外四条气管连通至真空泵；所述气管上均设有电磁阀，连通至真空泵的四条气管上还设有电磁流量计。本实用新型的刻蚀机，采用六路气管，两路气管连通高压气泵，起到清洗气路的作用，另外四路用来抽真空，效率高。

技术研发人员：王君辉;
受保护的技术使用者：江苏锦润光电有限公司;
文档号码：201620388912
技术研发日：2016.05.04
技术公布日：2016.09.14