一种真空镀膜机的制作方法与工艺

文档序号:13108945阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种真空镀膜机,其特征在于,包括:镀膜罐体(1),所述镀膜罐体(1)的侧壁上开设有多个抽气口(12),多个所述抽气口(12)在所述镀膜罐体(1)的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布;多个抽气装置,每个所述抽气口(12)均通过管道对应连接一个抽气装置。2.根据权利要求1所述一种真空镀膜机,其特征在于,多个所述抽气口(12)中心的连线在同一条直线上。3.根据权利要求2所述一种真空镀膜机,其特征在于,多个所述抽气口(12)中心的连线与镀膜罐体(1)的底部所在平面垂直。4.根据权利要求1所述一种真空镀膜机,其特征在于,多个所述抽气口(12)在所述镀膜罐体(1)的侧壁上沿其高度方向错位布置。5.根据权利要求1至4任一项所述一种真空镀膜机,其特征在于,所述镀膜罐体(1)的侧壁上开设有2个-10个抽气口。6.根据权利要求1至4任一项所述一种真空镀膜机,其特征在于,每个所述抽气口(12)均一体连接有一个抽气管(11),每个所述抽气管(11)上均安装有一个节流阀(13)。7.根据权利要求1所述一种真空镀膜机,其特征在于,所述镀膜罐体(1)上设有多个蒸发源(2),多个所述蒸发源(2)在所述镀膜罐体(1)侧壁上均匀布置。8.根据权利要求1所述一种真空镀膜机,其特征在于,所述镀膜罐体(1)呈圆柱形结构或横截面为多边形的柱状结构。
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1